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公開番号2025011278
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2024182032,2023107613
出願日2024-10-17,2023-06-30
発明の名称ウェハ
出願人環球晶圓股ふん有限公司,Global Wafers Co.,Ltd.
代理人個人
主分類C30B 29/36 20060101AFI20250116BHJP(結晶成長)
要約【課題】好ましい品質を有するウェハを提供する。
【解決手段】ウェハ本体を含み、ウェハ本体の直径が、150mm以上であり、ウェハ本体の基底面転位が、1000ea/cm²以下であり、ウェハ本体のバー積層欠陥が、100ea/wf以下であるウェハとする。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
結晶成長炉内に種結晶を提供し、複数の時間点の後に第１方向に沿って前記種結晶上に結晶を形成することを含み、前記結晶が、前記第１方向に沿って積層された複数のサブ結晶を含み、各前記時間点において前記サブ結晶のうちの対応する１つが形成され、前記サブ結晶が、前記種結晶から離れた複数の端面を含み、前記端面のうちの任意の２つの最大温度の差値が、２０度以下である結晶成長方法。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記端面のうちの任意の２つの前記最大温度の前記差値が、１５度以下である請求項１に記載の結晶成長方法。
【請求項３】
前記端面のうちの少なくとも２つの前記最大温度の前記差値が、１０度以下である請求項１に記載の結晶成長方法。
【請求項４】
前記端面のうちの少なくとも２つの前記最大温度の前記差値が、５度以下である請求項１に記載の結晶成長方法。
【請求項５】
前記端面のうちの少なくとも２つの前記最大温度の前記差値が、２度以下である請求項１に記載の結晶成長方法。
【請求項６】
各前記端面が、中心および辺縁を含み、前記中心と前記辺縁の温度の差値が、２０度以下である請求項１に記載の結晶成長方法。
【請求項７】
ウェハ本体を含み、前記ウェハ本体の直径が、１５０ｍｍ以上であり、前記ウェハ本体の基底面転位が、１０００ｅａ／ｃｍ
２
以下であり、前記ウェハ本体のバー積層欠陥が、１００ｅａ／ｗｆ以下であるウェハ。
【請求項８】
前記ウェハ本体の前記基底面転位が、５００ｅａ／ｃｍ
２
、３００ｅａ／ｃｍ
２
、または２００ｅａ／ｃｍ
２
以下である請求項７に記載のウェハ。
【請求項９】
前記ウェハ本体の前記バー積層欠陥が、５０ｅａ／ｗｆ、３０ｅａ／ｗｆ、または１０ｅａ／ｗｆ以下である請求項７に記載のウェハ。
【請求項１０】
前記ウェハ本体の湾曲が、プラスマイナス１５μｍ、プラスマイナス３０μｍ、またはプラスマイナス５０μｍの間である請求項７に記載のウェハ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、結晶成長方法およびウェハに関するものであり、特に、厚さが厚く、サイズが大きく、好ましい品質を有する結晶を形成することのできる結晶成長方法、および好ましい品質を有するウェハに関するものである。
続きを表示（約 960 文字）【背景技術】
【０００２】
従来の結晶成長方法における結晶の形成過程において、結晶成長炉の温度場内の結晶は、結晶の位置によって温度が異なりやすい。例えば、結晶の最上端と最下端の面の間の温度差は、約１００度にもなることがある。結晶の両端面の間の温度が不均一になる問題によって、結晶の両端面の間に大きな応力差が生じるため、それにより、結晶の厚さ、サイズ、および品質に影響を与える。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の結晶成長方法で形成された結晶を処理した後に得られるインゴット（ingot）は、厚さが薄く、大きいサイズに製造するのが困難であり、品質も悪い。また、インゴットを切断、研削、研磨加工した後に得られるウェハも、品質が悪い。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、結晶の両端面の間の応力差を低減させることにより、結晶の厚さやサイズを増やし、品質を向上させることのできる結晶成長方法を提供する。
【０００５】
本発明は、好ましい品質を有するウェハを提供する。
【０００６】
本発明の結晶成長方法は、結晶成長炉内に種結晶を提供し、複数の時間点の後に第１方向に沿って種結晶上に結晶を形成することを含む。この結晶は、第１方向に沿って積層された複数のサブ結晶を含み、各時間点においてサブ結晶のうちの対応する１つが形成され、サブ結晶は、種結晶から離れた複数の端面を含み、端面のうちの任意の２つの最大温度の差値は、２０度以下である。
【０００７】
本発明の１つの実施形態において、端面のうちの任意の２つの最大温度の差値は、１５度以下である。
【０００８】
本発明の１つの実施形態において、端面のうちの少なくとも２つの最大温度の差値は、１０度以下である。
【０００９】
本発明の１つの実施形態において、端面のうちの少なくとも２つの最大温度の差値は、５度以下である。
【００１０】
本発明の１つの実施形態において、端面のうちの少なくとも２つの最大温度の差値は、２度以下である。
（【００１１】以降は省略されています）

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