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公開番号2025010886
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023113177
出願日2023-07-10
発明の名称弾性波デバイスおよび通信装置
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類H03H 9/145 20060101AFI20250116BHJP(基本電子回路)
要約【課題】弾性波デバイスの周波数特性を改善する。
【解決手段】第1電極指は、第1電極指の先端部に位置する細身部と、細身部よりも第1電極指の根元側に位置する非細部と、を含んでおり、誘電体層は、平面視において細身部の少なくとも一部と重なっている第1領域を含み、平面視において非細部の少なくとも一部と重なっていない。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
圧電体と、
第１電極指、前記第１電極指と隣り合う第２電極指、および前記第２電極指と電気的に接続されたバスバーを有しており、前記圧電体よりも上層に位置しているＩＤＴ電極と、
前記ＩＤＴ電極よりも上層に位置している誘電体層と、を備えており、
前記圧電体の厚みは、前記第１電極指および前記第２電極指のピッチの２倍以下であり、
前記第１電極指は、
前記第１電極指の先端部に位置する細身部と、
前記細身部よりも前記第１電極指の根元側に位置する非細部と、を含んでおり、
前記誘電体層は、平面視において前記細身部の少なくとも一部と重なっている第１領域を含み、前記平面視において前記非細部の少なくとも一部と重なっていない、弾性波デバイス。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記平面視において、前記誘電体層は、前記第１電極指および前記バスバーのギャップと重なっている第２領域と、前記バスバーと重なっている第３領域と、を含んでいる、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記誘電体層は、高音速誘電体材料およびＴａ
２
Ｏ
５
のうちの少なくとも一方を含んでいる、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記高音速誘電体材料は、ＳｉＯ
２
、ＡｌＮ、ＳｉＮ、Ａｌ
２
Ｏ
３
、およびＴｉＯ
２
のいずれかである、請求項３に記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記誘電体層の厚みは、前記圧電体の厚みの０．０１５倍以上かつ０．１倍以下である、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
前記第１電極指の長手方向における前記先端部の長さは、前記圧電体の厚み以上、かつ前記圧電体の厚みの５倍以下である、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項７】
前記細身部を含み、前記第１電極指の配列方向に延在する領域をエッジ領域とし、
前記非細部を含み、前記第１電極指および前記第２電極指の交差領域のうち、前記エッジ領域より内側に位置する領域を内側領域としたとき、
前記内側領域における前記第１電極指および前記第２電極指のＤｕｔｙと前記エッジ領域における前記第１電極指および前記第２電極指のＤｕｔｙとの差は、０．０３以上かつ０．３以下である、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項８】
前記圧電体よりも下層に位置している、低音響インピーダンス層および高音響インピーダンス層を備えている、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項９】
前記圧電体は、ＬｉＴａＯ
３
およびＬｉＮｂＯ
３
のうちの少なくとも一方を含んでいる、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項１０】
前記細身部を含み、前記第１電極指の配列方向に延在する領域をエッジ領域とし、
前記非細部を含み、前記第１電極指および前記第２電極指の交差領域のうち、前記エッジ領域より内側に位置する領域を内側領域としたとき、
前記内側領域内の音速に対する前記エッジ領域内の音速の変化率の絶対値は、１％以下である、請求項１に記載の弾性波デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、弾性波デバイスおよび通信装置に関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ＩＤＴ電極の第１の電極指上および第２の電極指上に質量付加膜が設けられた構成が開示されている。ＩＤＴは、interdigital transducerの略である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－９２０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
共振周波数付近におけるエネルギー損失を小さくして、弾性波デバイスの周波数特性を改善することが期待されている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様に係る弾性波デバイスは、圧電体と、第１電極指、前記第１電極指と隣り合う第２電極指、および前記第２電極指と電気的に接続されたバスバーを有しており、前記圧電体よりも上層に位置しているＩＤＴ電極と、前記ＩＤＴ電極よりも上層に位置している誘電体層と、を備えており、前記圧電体の厚みは、前記第１電極指および前記第２電極指のピッチの２倍以下であり、前記第１電極指は、前記第１電極指の先端部に位置する細身部と、前記細身部よりも前記第１電極指の根元側に位置する非細部と、を含んでおり、前記誘電体層は、平面視において前記細身部の少なくとも一部と重なっている第１領域を含み、前記平面視において前記非細部の少なくとも一部と重なっていない。
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一態様によれば、弾性波デバイスの周波数特性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本開示の実施形態１に係る弾性波デバイスの概略構成を示す平面図である。
本開示の実施形態１に係る弾性波デバイスの概略構成を示すＡ－Ａ断面図である。
本開示の実施形態１に係る弾性波デバイスの変形例の概略構成を示す平面図である。
ＬＴモデルにおける初期シミュレーション条件を示す表である。
ＬＮモデルにおける初期シミュレーション条件を示す表である。
１０１モデルに対して適用した、誘電体層の構成リストを示す表である。
ＬＴモデルにおいて、良好な周波数特性が得られた条件を列挙した表である。
ＬＮモデルにおいて、良好な周波数特性が得られた条件を列挙した表である。
誘電体層を設けることによる、比較例に係る弾性波デバイスの周波数特性の改善効果を説明する図である。
誘電体層を設けることによる、比較例に係る弾性波デバイスの周波数特性の改善効果を説明する図である。
誘電体層を設けることによる、比較例に係る弾性波デバイスの周波数特性の改善効果を説明する図である。
内側領域における第１電極指および第２電極指のＤｕｔｙとエッジ領域における第１電極指および第２電極指のＤｕｔｙとの差に対する周波数特性を示すグラフである。
１０１モデルにおける、誘電体層の厚みに対するエッジ領域および内側領域内の音速の変化を説明するグラフである。
１０１モデルにおける、誘電体層の厚みに対するエッジ領域および内側領域内の音速の変化を説明するグラフである。
１０１モデルにおける、誘電体層の厚みに対するエッジ領域および内側領域内の音速の変化を説明するグラフである。
１０１モデルにおける、誘電体層の厚みに対するエッジ領域および内側領域内の音速の変化を説明するグラフである。
１０１モデルにおける、誘電体層の厚みに対するエッジ領域および内側領域内の音速の変化を説明するグラフである。
ＬＴモデルにおける、良好な周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルにおける、良好な周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルにおける、良好な周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルにおける、良好な周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＴモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
ＬＮモデルの周波数特性を示すグラフである。
本開示の実施形態２に係る弾性波デバイスの概略構成を示す断面図である。
本開示の実施形態３に係る通信装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本開示を実施するための形態について説明する。説明の便宜上、先に説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない場合がある。
【０００９】
〔実施形態１〕
図１は、本開示の実施形態１に係る弾性波デバイス１０１の概略構成を示す平面図である。図２は、本開示の実施形態１に係る弾性波デバイス１０１の概略構成を示すＡ－Ａ断面図である。
【００１０】
弾性波デバイス１０１は、圧電体１、ＩＤＴ電極２、誘電体層３、複数の多層反射膜４、および支持基板５を備えている。支持基板５、複数の多層反射膜４、圧電体１、ＩＤＴ電極２、および誘電体層３は、この順に積層されている。複数の多層反射膜４それぞれは、圧電体１側から順に、低音響インピーダンス層６および高音響インピーダンス層７を有している。一例として、弾性波デバイス１０１において、多層反射膜４の数は４である。
（【００１１】以降は省略されています）

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