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公開番号2025010769
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023112967
出願日2023-07-10
発明の名称クライオポンプの再生方法、および、クライオシステム
出願人アルバック・クライオ株式会社
代理人個人,個人
主分類F04B 37/08 20060101AFI20250116BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】露点に対するポンプケースの表面における温度の乖離を抑えることを可能としたクライオポンプの再生方法、および、クライオシステムに関する。
【解決手段】クライオポンプ10の再生方法は、クライオポンプ10が備えるポンプケース12内を加熱することが可能に構成された加熱部13によってポンプケース12内を加熱すること、および、加熱部13によるポンプケース12内の加熱を開始した後に、ポンプケース12内にパージガスを導入することを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
クライオポンプが備えるポンプケース内を加熱することが可能に構成された加熱部によって前記ポンプケース内を加熱すること、および、
前記加熱部による前記ポンプケース内の加熱を開始した後に、前記ポンプケース内にパージガスを導入すること、を含む
クライオポンプの再生方法。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記ポンプケース内を加熱することは、前記ポンプケース内への前記パージガスの導入を開始した後に、前記加熱部による前記ポンプケース内の加熱を停止することを含む
請求項１に記載のクライオポンプの再生方法。
【請求項３】
前記ポンプケース内を加熱することは、前記クライオポンプの冷凍機が備える第１ステージと第２ステージとを加熱することによって、前記ポンプケース内を加熱することを含む
請求項１または２に記載のクライオポンプの再生方法。
【請求項４】
前記ポンプケース内を加熱することは、前記冷凍機が備えるモーターを用いて前記ポンプケース内を加熱することを含む
請求項３に記載のクライオポンプの再生方法。
【請求項５】
前記ポンプケース内を加熱することは、前記パージガスを導入する前に前記加熱部によって前記ポンプケース内を加熱する第１期間が、前記パージガスを導入する第２期間よりも長いことを含む
請求項１または２に記載のクライオポンプの再生方法。
【請求項６】
冷凍機と、前記冷凍機を収容するポンプケースと、前記ポンプケース内を加熱することが可能に構成された加熱部と、前記ポンプケースに接続されたパージガス導入部と、を備えるクライオポンプと、
前記加熱部の駆動および前記パージガス導入部の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記加熱部による前記ポンプケース内の加熱を開始した後に、前記ポンプケース内にパージガスを導入するように、前記加熱部の駆動および前記パージガス導入部の駆動を制御することが可能に構成される
クライオシステム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、クライオポンプの再生方法、および、クライオシステムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
クライオポンプは、ポンプケース、冷凍機、熱シールド、および、クライオパネルを備えている。冷凍機は、第１温度に冷却される第１ステージと、第１温度よりも低い第２温度に冷却される第２ステージとを備えている。熱シールドは第１ステージに接続されることによって、第１温度まで冷却される。クライオパネルは、熱シールド内に位置し、かつ、第２ステージに接続されることによって、第２温度まで冷却される。ポンプケースは、冷凍機の第１ステージおよび第２ステージ、熱シールド、および、クライオパネルを収容している。クライオポンプでは、極低温に冷却されたクライオパネルが真空槽内の気体を凝縮させることによって、真空槽内の気体が排気される（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０９２３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
クライオポンプは、凝縮した気体をクライオパネルに貯め込む。そのため、クライオポンプには、クライオパネルに貯め込んだ気体を放出する処理である再生処理が必要である。再生処理では、クライオポンプの昇温と同時に、昇温速度を高める観点から、ポンプケース内へのパージガスの導入が開始される。パージガスの導入は、ポンプケース内の温度における昇温速度を高める一方で、ポンプケースの表面における温度の低下を生じさせる。これにより、ポンプケースの表面における温度が、クライオポンプが設置された環境の露点を下回ることによって、ポンプケースの表面において結露が生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するためのクライオポンプの再生方法は、クライオポンプが備えるポンプケース内を加熱することが可能に構成された加熱部によって前記ポンプケース内を加熱すること、および、前記加熱部による前記ポンプケース内の加熱を開始した後に、前記ポンプケース内にパージガスを導入すること、を含む。
【０００６】
上記課題を解決するためのクライオシステムは、冷凍機と、前記冷凍機を収容するポンプケースと、前記ポンプケース内を加熱することが可能に構成された加熱部と、前記ポンプケースに接続されたパージガス導入部と、を備えるクライオポンプと、前記加熱部の駆動および前記パージガス導入部の駆動を制御する制御部と、を備える。前記制御部は、前記加熱部による前記ポンプケース内の加熱を開始した後に、前記ポンプケース内にパージガスを導入するように、前記加熱部の駆動および前記パージガス導入部の駆動を制御することが可能に構成される。
【０００７】
上記クライオポンプの再生方法、および、クライオシステムによれば、加熱部によって加熱されたポンプケース内にパージガスが導入されるから、パージガスの導入によってポンプケースの表面における温度が下がりにくくなる。そのため、露点に対するポンプケースの表面における温度の乖離が抑えられるから、ポンプケースの表面における結露が抑えられる。
【０００８】
上記クライオポンプの再生方法において、前記ポンプケース内を加熱することは、前記ポンプケース内への前記パージガスの導入を開始した後に、前記加熱部による前記ポンプケース内の加熱を停止することを含んでもよい。
【０００９】
上記クライオポンプの再生方法によれば、ポンプケース内へのパージガスの導入と、加熱部によるポンプケース内の加熱との両方が行われる期間を含むから、ポンプケース内の温度が高まりやすくなる。
【００１０】
上記クライオポンプの再生方法において、前記ポンプケース内を加熱することは、前記クライオポンプの冷凍機が備える第１ステージと第２ステージとを加熱することによって、前記ポンプケース内を加熱することを含んでもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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