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公開番号
2025008247
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-01-20
出願番号
2023110240
出願日
2023-07-04
発明の名称
ネガ型感光性樹脂組成物
出願人
DIC株式会社
代理人
弁理士法人平和国際特許事務所
主分類
G03F
7/032 20060101AFI20250109BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約
【課題】カーボンブラック等の着色剤を低減しても高い可視光遮蔽性を有する、硬化膜が得られる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記の成分(A)~(E)を含有する、ネガ型感光性樹脂組成物。(A)m-クレゾールから誘導される構造単位(a1)、カテコールから誘導される構造単位(a2)、ベンズアルデヒドから誘導される構造単位(a3)、及びサリチルアルデヒドから誘導される構造単位(a4)のモル比[(a1):(a2):(a3):(a4)]が、1:0.25~4.0:0.25~4.0:0.25~4.0であるノボラック型フェノール樹脂:(B)エチレン性不飽和基含有ポリイミド、エチレン性不飽和基含有ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和基含有ポリベンゾオキサゾール及びエチレン性不飽和基含有ポリベンゾオキサゾール前駆体から選ばれる1種以上の樹脂:(C)ラジカル重合性化合物:(D)光重合開始剤:(E)有機溶剤
【選択図】なし
特許請求の範囲
【請求項1】
下記の成分(A)~(E)を含有する、ネガ型感光性樹脂組成物。
(A)m-クレゾールから誘導される構造単位(a1)、カテコールから誘導される構造単位(a2)、ベンズアルデヒドから誘導される構造単位(a3)、及びサリチルアルデヒドから誘導される構造単位(a4)のモル比[(a1):(a2):(a3):(a4)]が、1:0.25~4.0:0.25~4.0:0.25~4.0であるノボラック型フェノール樹脂
(B)エチレン性不飽和基含有ポリイミド、エチレン性不飽和基含有ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和基含有ポリベンゾオキサゾール及びエチレン性不飽和基含有ポリベンゾオキサゾール前駆体から選ばれる1種以上の樹脂
(C)ラジカル重合性化合物
(D)光重合開始剤
(E)有機溶剤
続きを表示(約 600 文字)
【請求項2】
前記成分(A)が、m-クレゾール、カテコール、ベンズアルデヒド、及びサリチルアルデヒドを、有機溶媒中、モル比でm-クレゾール:カテコール:ベンズアルデヒド:サリチルアルデヒド=1:0.25~4.0:0.25~4.0:0.25~4.0の範囲において、酸触媒で重縮合させて得られるノボラック型フェノール樹脂である、請求項1に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項3】
前記成分(A)における、m-クレゾールから誘導される構造単位(a1)、カテコールから誘導される構造単位(a2)、ベンズアルデヒドから誘導される構造単位(a3)、及びサリチルアルデヒドから誘導される構造単位(a4)の含有量の合計が30質量%以上である、請求項1又は2に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項4】
前記成分(A)の重量平均分子量が1,000以上7,000以下である、請求項1又は2に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項5】
着色剤を、前記ネガ型感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対し0~30質量部含む、請求項1又は2に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項6】
請求項1又は2に記載のネガ型感光性樹脂組成物から得られる硬化膜。
【請求項7】
請求項1又は2に記載のネガ型感光性樹脂組成物から得られるレジスト膜。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、及びレジスト膜に関する。
続きを表示(約 1,800 文字)
【背景技術】
【0002】
次世代フラットパネルディスプレイとして、有機ELディスプレイが注目を集めている。有機ELディスプレイは、有機化合物による電界発光を利用した自己発光型の表示装置であって、高角視野及び高速応答の画像表示が可能である。また、薄型化及び軽量化が可能である。近年、有機ELディスプレイの高精細化に伴い、発光素子の更なる小型化が求められている。
【0003】
有機ELディスプレイは、陰極から注入された電子と陽極から注入された正孔が再結合するエネルギーを用いて、素子が発光する。そのため、電子と正孔の再結合を阻害するエネルギー準位を形成する物質が存在すると、発光素子の発光効率が低下し、有機ELディスプレイの寿命が低下する。一方で、一般的に発光素子の画素間を分割するために、画素分割層という絶縁層が、光取出し側の透明電極と反対側の金属電極の間に形成される。この画素分割層は発光素子に隣接する位置に形成されるため、画素分割層からの脱ガスやイオン成分の流出は、有機ELディスプレイの寿命低下の一因となり得る。このため、画素分割層には耐熱性及び耐久性が要求される。
【0004】
高耐熱性の観点から、画素分割層の材料にはポリイミド樹脂やポリベンゾオキサゾール樹脂を用いた感光性樹脂組成物が用いられている(例えば、特許文献1)。画素分割層には黒色が求められるため、上記感光性樹脂組成物は、固形分中に20%程度のカーボンブラック等の着色剤を添加している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
国際公開第2022/070946号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
微細パターン作製においては、感光性樹脂組成物に配合した着色剤が、現像時に残渣となることがある。また、カーボンブラックは導電性を有するため、硬化膜の絶縁性向上のためにも使用量は少ない方が好ましい。有機ELディスプレイの高精細化にともない、より微細な画素分割層を残渣の発生なしに作製可能とするため、着色剤の添加量を低減しても、高い可視光遮蔽能力を有する感光性樹脂組成物が求められている。
本発明の目的は、着色剤の添加量を低減しても、高い可視光遮蔽能力を有する硬化膜が得られる感光性樹脂組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討した結果、特定の構造単位を有するノボラック型フェノール樹脂組成物と、エチレン性不飽和基含有ポリイミド及びエチレン性不飽和基含有ポリベンゾオキサゾールの少なくとも一方とを、組み合わせて使用したネガ型感光性樹脂組成物から得られる硬化膜が、着色剤の使用量を低減しても高い可視光遮蔽性を有することを見出し、本発明を完成させた。
【0008】
すなわち、本発明は下記の成分(A)~(E)を含有する、ネガ型感光性樹脂組成物に関する。
(A)m-クレゾールから誘導される構造単位(a1)、カテコールから誘導される構造単位(a2)、ベンズアルデヒドから誘導される構造単位(a3)、及びサリチルアルデヒドから誘導される構造単位(a4)のモル比[(a1):(a2):(a3):(a4)]が、1:0.25~4.0:0.25~4.0:0.25~4.0であるノボラック型フェノール樹脂
(B)エチレン性不飽和基含有ポリイミド、エチレン性不飽和基含有ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和基含有ポリベンゾオキサゾール及びエチレン性不飽和基含有ポリベンゾオキサゾール前駆体から選ばれる1種以上の樹脂
(C)ラジカル重合性化合物
(D)光重合開始剤
(E)有機溶剤
【0009】
本発明はさらに、前記ネガ型感光性樹脂組成物から得られる硬化膜に関する。
本発明はさらに、前記ネガ型感光性樹脂組成物から得られるレジスト膜に関する。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、着色剤の添加量を低減しても、高い可視光遮蔽能力を有する硬化膜が得られる感光性樹脂組成物を提供できる。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)
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