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公開番号2024179196
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023097849
出願日2023-06-14
発明の名称アライメント方法および外観検査方法
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人
主分類G02B 7/00 20210101AFI20241219BHJP(光学)
要約【課題】簡単な構成で、被検レンズの傾斜角を適切に調整することができる技術を提供する。
【解決手段】アライメント方法は、被検レンズ9に第1照明41から出射された第1スポット光411を照射する工程と、被検レンズ9で反射した第1スポット光411の第1反射光413を、Z軸カメラ21で撮像した第1画像M1を取得する工程と、Z軸カメラ21によって得られた画像における第1反射光413の位置を用いて、被検レンズ9の、Z軸カメラ21の撮像軸211と交差するX軸まわりの傾斜角Rxを調整する工程と、を含む。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
被検レンズのアライメント方法であって、
ａ）被検レンズに第１照明から出射された第１スポット光を照射する工程と、
ｂ）前記被検レンズで反射した前記第１スポット光の第１反射光を、第１カメラで撮像した画像を取得する工程と、
ｃ）前記第１カメラによって得られた画像における前記第１反射光の位置を用いて、前記被検レンズの、前記第１カメラの撮像軸と交差する第１軸まわりの傾斜角を調整する工程と、
を含む、アライメント方法。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
請求項１に記載のアライメント方法であって、
前記工程ｂ）は、前記撮像軸と、前記被検レンズの中心と、前記第１スポット光と、前記第１軸とが同一平面上に位置する状態で、前記第１カメラが前記第１反射光を撮像する工程を含み、
前記工程ｃ）は、前記被検レンズの前記第１軸まわりの傾斜角を調整する工程を含む、アライメント方法。
【請求項３】
請求項２に記載のアライメント方法であって、
前記工程ａ）は、
ａ１）前記被検レンズの、前記第１軸まわりの角度を第１角度とした状態で、前記被検レンズに前記第１スポット光を照射する工程と、
ａ２）前記被検レンズの、前記第１軸まわりの角度を第２角度とした状態で、前記被検レンズに前記第１スポット光を照射する工程と、
を含み、
前記工程ｂ）は、
ｂ１）前記第１角度の前記被検レンズで反射した前記第１反射光を、前記第１カメラで撮像した第１画像を取得する工程と、
ｂ２）前記第２角度の前記被検レンズで反射した前記第１反射光を、前記第１カメラで撮像した第２画像を取得する工程と、
を含み、
前記工程ｃ）は、
前記第１画像における前記第１反射光の位置、および、前記第２画像における前記第１反射光の位置を用いて、前記被検レンズの前記第１軸まわりの傾斜角を調整する工程を含む、アライメント方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のアライメント方法であって、
前記工程ｂ）は、前記撮像軸と、前記被検レンズの中心と、前記第１スポット光と、前記撮像軸および前記第１軸と交差する第２軸とが同一平面上に位置する状態で、前記第１カメラが前記第１反射光を撮像する工程を含み、
前記工程ｃ）は、前記被検レンズの前記第２軸まわりの傾斜角を調整する工程を含む、アライメント方法。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載のアライメント方法であって、
ｄ）前記被検レンズに第２照明から出射された第２スポット光を照射する工程と、
ｅ）前記被検レンズで反射した前記第２スポット光の第２反射光を、前記第１カメラで撮像した画像を取得する工程と、
をさらに含み、
前記工程ｃ）は、
前記第１カメラによって得られた画像における、前記第１反射光の位置、および、前記第２反射光の位置を用いて、前記被検レンズの前記傾斜角を調整する工程を含む、アライメント方法。
【請求項６】
請求項５に記載のアライメント方法であって、
ｆ）前記撮像軸および前記第１軸と交差する第２軸まわりにおける前記被検レンズの角度が適正角度であるときの、前記第１反射光および前記第２反射光の適正位置関係を取得する工程、
をさらに含み、
前記工程ｃ）は、前記第１カメラによって得られた画像における前記第１反射光の位置、および、前記第２反射光の位置と、前記適正位置関係とを用いて、前記第２軸まわりの前記被検レンズの角度を調整する、アライメント方法。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載のアライメント方法であって、
ｇ）第２カメラによって前記被検レンズを撮像した画像において、前記被検レンズのエッジを抽出する工程と、
ｈ）抽出された前記エッジの傾きを用いて、前記被検レンズの前記第１軸と交差する第２軸まわりの傾斜角を調整する工程と、
をさらに含む、アライメント方法。
【請求項８】
外観検査方法であって、
Ａ）請求項１または請求項２のアライメント方法によってアライメントされた前記被検レンズを、カメラで撮像する工程と、
Ｂ）前記カメラにより得られた画像に基づいて、前記被検レンズの外観を検査する工程と、
を含む、外観検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書で開示される主題は、アライメント方法および外観検査方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、被検レンズをカメラで撮像し、得られた画像に基づいて、被検レンズの外観検査をする外観検査装置が知られている。この種の外観検査装置では、被検レンズが検査に適した姿勢となるように、検査前に被検レンズの位置合わせ（アライメント）が行われる場合がある。
【０００３】
例えば、特許文献１では、被検レンズの位置、回転角度および傾斜角を調整するため、変位センサ（レーザ変位計）を用いてレンズ固定用具の水平位置が検出されるとともに、オートコリメータを用いてレンズ固定用具の傾きが検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－０２６９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術の場合、検査用の第１カメラ以外に対象物の位置、回転角度および傾斜角度を測定するための装置を設ける必要があるため、装置が複雑化してしまう。この場合、装置コストが増大してしまうおそれがあった。
【０００６】
本発明の目的は、簡単な構成で、被検レンズの傾斜角を適切に調整することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、第１態様は、被検レンズのアライメント方法であって、ａ）被検レンズに第１照明から出射された第１スポット光を照射する工程と、ｂ）前記被検レンズで反射した前記第１スポット光の第１反射光を、第１カメラで撮像した画像を取得する工程と、ｃ）前記第１カメラによって得られた画像における前記第１反射光の位置を用いて、前記被検レンズの、前記第１カメラの撮像軸と交差する第１軸まわりの傾斜角を調整する工程と、を含む。
【０００８】
第２態様は、第１態様に記載のアライメント方法であって、前記工程ｂ）は、前記撮像軸と、前記被検レンズの中心と、前記スポット光と、前記第１軸とが同一平面上に位置する状態で、前記第１カメラが前記第１反射光を撮像する工程を含み、前記工程ｃ）は、前記被検レンズの前記第１軸まわりの傾斜角を調整する工程を含む。
【０００９】
第３態様は、第２態様に記載のアライメント方法であって、前記工程ａ）は、ａ１）前記被検レンズの、前記第１軸まわりの角度を第１角度とした状態で、前記被検レンズに前記第１スポット光を照射する工程と、ａ２）前記被検レンズの、前記第１軸まわりの角度を第２角度とした状態で、前記被検レンズに前記第１スポット光を照射する工程と、を含み、前記工程ｂ）は、ｂ１）前記第１角度の前記被検レンズで反射した前記第１反射光を、前記第１カメラで撮像した第１画像を取得する工程と、ｂ２）前記第２角度の前記被検レンズで反射した前記第１反射光を、前記第１カメラで撮像した第２画像を取得する工程と、を含み、前記工程ｃ）は、前記第１画像における前記第１反射光の位置、および、前記第２画像における前記第１反射光の位置を用いて、前記被検レンズの前記第１軸まわりの傾斜角を調整する工程を含む。
【００１０】
第４態様は、第１態様または第２態様に記載のアライメント方法であって、前記工程ｂ）は、前記撮像軸と、前記被検レンズの中心と、前記第１スポット光と、前記撮像軸および前記第１軸と交差する第２軸とが同一平面上に位置する状態で、前記第１カメラが前記第１反射光を撮像する工程を含み、前記工程ｃ）は、前記被検レンズの前記第２軸まわりの傾斜角を調整する工程を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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