特許ウォッチ

公開番号2024178738
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-25
出願番号2023097111
出願日2023-06-13
発明の名称表示装置、表示装置の製造方法および製造装置
出願人株式会社ジャパンディスプレイ
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類H10K 59/122 20230101AFI20241218BHJP()
要約【課題】表示領域に設けられた配線と表示素子の上電極を良好に接続可能な構成を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、表示装置は、基板と、基板の上方に配置された下電極と、下電極と重なる画素開口を有するリブと、リブの上に配置された導電性の下部および下部の側面から突出した上部を有する隔壁と、画素開口を通じて前記下電極に接触した有機層と、有機層を覆い、隔壁の前記下部に接触する上電極とを備える。隔壁は、画素開口を挟むように配置された第1隔壁および第2隔壁を有する。第1隔壁の上部は、有機層および上電極と重なる第1端部を有する。第2隔壁の上部は、有機層および上電極と重なる第2端部を有する。第1端部の直下における有機層の厚さは、第2端部の直下における有機層の厚さよりも小さい。第1端部の直下における上電極の厚さは、第2端部の直下における上電極の厚さよりも大きい。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板の上方に配置された下電極と、
前記下電極と重なる画素開口を有するリブと、
前記リブの上に配置された導電性の下部および前記下部の側面から突出した上部を有する隔壁と、
前記画素開口を通じて前記下電極に接触し、電圧の印加に応じて発光する有機層と、
前記有機層を覆い、前記隔壁の前記下部に接触する上電極と、
を備え、
前記隔壁は、前記画素開口を挟むように配置された第１隔壁および第２隔壁を有し、
前記第１隔壁の前記上部は、前記有機層および前記上電極と重なる第１端部を有し、
前記第２隔壁の前記上部は、前記有機層および前記上電極と重なる第２端部を有し、
前記第１端部の直下における前記有機層の厚さは、前記第２端部の直下における前記有機層の厚さよりも小さく、
前記第１端部の直下における前記上電極の厚さは、前記第２端部の直下における前記上電極の厚さよりも大きい、
表示装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第１隔壁の前記下部と前記有機層との接触面積は、前記第２隔壁の前記下部と前記有機層との接触面積よりも小さい、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記第１隔壁の前記下部と前記上電極との接触面積は、前記第２隔壁の前記下部と前記上電極との接触面積よりも大きい、
請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記有機層は、第１層と、前記第１層の上の第２層とを有し、
前記第１層は、前記第１隔壁および前記第２隔壁の前記下部と離間しており、
前記第２層は、少なくとも前記第２隔壁の前記下部と接触している、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第１層は、正孔注入層を含み、
前記第２層は、発光層を含む、
請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
前記上電極を覆うキャップ層をさらに備える、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項７】
前記キャップ層、前記第１隔壁および前記第２隔壁を連続的に覆う封止層をさらに備える、
請求項６に記載の表示装置。
【請求項８】
前記下部は、
前記リブの上に配置された導電性のボトム層と、
前記ボトム層の上に配置された軸層と、
を含み、
前記上電極は、少なくとも前記第１隔壁の前記下部の前記ボトム層に接触している、
請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項９】
前記ボトム層の端部は、前記軸層の側面から突出している、
請求項８に記載の表示装置。
【請求項１０】
下電極と、前記下電極と重なる画素開口を有するリブと、前記リブの上に配置された導電性の下部および前記下部の側面から突出した上部を有する隔壁と、を含む基板を用意し、
前記画素開口を通じて前記下電極に接触し、電圧の印加に応じて発光する有機層を蒸着によって形成し、
前記有機層を覆い、前記隔壁の前記下部に接触する上電極を蒸着によって形成する、
ことを含み、
前記有機層は、第１薄膜を含み、
前記第１薄膜の形成に用いられる第１蒸着源が気化された材料を放出する第１蒸着方向は、前記基板の法線方向に対して傾斜しており、
前記上電極の形成に用いられる第２蒸着源が気化された材料を放出する第２蒸着方向は、前記法線方向に対して前記第１蒸着方向とは逆向きに傾斜している、
表示装置の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置、表示装置の製造方法および製造装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を適用した表示装置が実用化されている。この表示素子は、下電極と、下電極を覆う有機層と、有機層を覆う上電極とを備えている。各表示素子の上電極には、表示領域に配置された配線を通じて共通電圧が印加される。
【０００３】
有機層および上電極は、上記配線が設けられた基板に対して蒸着によって形成される。この場合において、先に形成される有機層により、上電極と配線の接続が阻害される可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－１９５６７７号公報
特開２００４－２０７２１７号公報
特開２００８－１３５３２５号公報
特開２００９－３２６７３号公報
特開２０１０－１１８１９１号公報
国際公開第２０１８／１７９３０８号
米国特許出願公開第２０２２／００７７２５１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、表示領域に設けられた配線と表示素子の上電極を良好に接続可能な表示装置、表示装置の製造方法および製造装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
概して、実施形態によれば、表示装置は、基板と、前記基板の上方に配置された下電極と、前記下電極と重なる画素開口を有するリブと、前記リブの上に配置された導電性の下部および前記下部の側面から突出した上部を有する隔壁と、前記画素開口を通じて前記下電極に接触し、電圧の印加に応じて発光する有機層と、前記有機層を覆い、前記隔壁の前記下部に接触する上電極と、を備えている。前記隔壁は、前記画素開口を挟むように配置された第１隔壁および第２隔壁を有している。前記第１隔壁の前記上部は、前記有機層および前記上電極と重なる第１端部を有している。前記第２隔壁の前記上部は、前記有機層および前記上電極と重なる第２端部を有している。前記第１端部の直下における前記有機層の厚さは、前記第２端部の直下における前記有機層の厚さよりも小さい。さらに、前記第１端部の直下における前記上電極の厚さは、前記第２端部の直下における前記上電極の厚さよりも大きい。
【０００７】
また、実施形態によれば、表示装置の製造方法は、下電極、前記下電極と重なる画素開口を有するリブ、および、前記リブの上に配置された導電性の下部および前記下部の側面から突出した上部を有する隔壁を含む基板を用意し、前記画素開口を通じて前記下電極に接触し、電圧の印加に応じて発光する有機層を蒸着によって形成し、前記有機層を覆い、前記隔壁の前記下部に接触する上電極を蒸着によって形成する、ことを含む。さらに、前記有機層は、第１薄膜を含む。
【０００８】
実施形態の一つの観点によれば、前記第１薄膜の形成に用いられる第１蒸着源が気化された材料を放出する第１蒸着方向は、前記基板の法線方向に対して傾斜している。さらに、前記上電極の形成に用いられる第２蒸着源が気化された材料を放出する第２蒸着方向は、前記法線方向に対して前記第１蒸着方向とは逆向きに傾斜している。
【０００９】
実施形態の他の観点によれば、前記第１薄膜の形成に用いられる第１蒸着源は、第１蒸着方向に気化された材料を放出する第１ノズルと、前記第１ノズルよりも突出した第１シールドと、を備えている。前記上電極の形成に用いられる第２蒸着源は、第２蒸着方向に気化された材料を放出する第２ノズルを備えている。前記第２蒸着方向は、前記基板の法線方向に対して第１側方に傾斜している。さらに、前記第１シールドは、前記第１ノズルの前記第１側方における高さが、前記第１側方の反対側の第２側方における高さよりも大きい形状を有している。
【００１０】
また、実施形態によれば、表示装置の製造装置は、下電極、前記下電極と重なる画素開口を有するリブ、および、前記リブの上に配置された導電性の下部および前記下部の側面から突出した上部を有する隔壁を含む基板に対し、前記画素開口を通じて前記下電極に接触するとともに電圧の印加に応じて発光する有機層を形成する第１蒸着装置と、前記有機層を覆うとともに前記隔壁の前記下部に接触する上電極を前記基板に対して形成する第２蒸着装置と、を備えている。前記有機層は、第１薄膜を含む。前記第１蒸着装置は、前記第１薄膜の形成に用いられる第１蒸着源を備えている。前記第２蒸着装置は、前記上電極の形成に用いられる第２蒸着源を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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