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公開番号2024176851
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023095687
出願日2023-06-09
発明の名称リニアエンコーダ及びリニア搬送システム
出願人THK株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01D 5/245 20060101AFI20241212BHJP(測定;試験)
要約【課題】位置検出センサとリニアスケールとのギャップ寸法を精度良く管理できるリニアエンコーダ及びリニア搬送システムの提供を目的とする。
【解決手段】リニアエンコーダ60は、センサ基板65と、センサ基板65の一方の面65Aに設けられた位置検出センサ64と、位置検出センサ64に対向する部分に、窓部62bが設けられた位置決めプレート62と、位置決めプレート62にセンサ基板65を固定する固定部80と、を備え、複数の位置検出センサ64は、センサ基板65の一方の面65Aが位置決めプレート62に当接した状態で、窓部62b内に配置されている。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
センサ基板と、
前記センサ基板の一方の面に設けられた複数の位置検出センサと、
前記複数の位置検出センサに対向する部分に、複数の窓部が設けられた位置決めプレートと、
前記位置決めプレートに前記センサ基板を固定する固定部と、を備え、
前記複数の位置検出センサは、前記センサ基板の前記一方の面が前記位置決めプレートに当接した状態で、前記複数の窓部内に配置されている、
リニアエンコーダ。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
前記固定部は、前記複数の位置検出センサの各々の両側に設けられている、
請求項１に記載のリニアエンコーダ。
【請求項３】
前記固定部は、
前記位置決めプレートに設けられた支柱部材と、
前記支柱部材に沿って移動可能なカラー部材と、
前記カラー部材を前記支柱部材に締結固定する締結部材と、を備え、
前記センサ基板には、前記一方の面から他方の面に貫通し、前記支柱部材が挿入される貫通孔が形成され、
前記カラー部材は、前記支柱部材に締結固定された状態で、前記センサ基板の前記他方の面に当接している、
請求項１または２に記載のリニアエンコーダ。
【請求項４】
前記支柱部材は、前記位置決めプレートに対してカシメにより固定されている、
請求項３に記載のリニアエンコーダ。
【請求項５】
リニアスケールを備える移動体と、
前記移動体を案内する軌道体、及び、前記軌道体に沿って配置され、前記リニアスケールに対向可能なリニアエンコーダを備える搬送ユニットと、を備え、
前記搬送ユニットは、前記軌道体が連続するように複数台連結可能であり、
前記リニアエンコーダとして、請求項１または２に記載のリニアエンコーダを備える、
リニア搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアエンコーダ及びリニア搬送システムに関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、誘導型位置トランスデューサ素子を用いた電子スケールが開示されている。この電子スケールは、第一部材と、前記第一部材が移動可能な測定軸を有する細長いビーム部材と、駆動信号に応答し、磁束域内で変動磁束を発生する少なくとも１つの磁場発生器と、前記磁束域内に配置でき、その近傍の変調域内で前記変動磁束を変更可能な少なくとも１つの磁束変調器と、前記磁束域内に配置され、前記磁束域内の変動磁束を検出し、その検出された磁束に基づいて、それと前記少なくとも１つの磁束変調器との間の相対位置を示す出力信号を生成する少なくとも１つの磁束センサと、を含み、前記各磁場発生器および前記各磁束センサは、連続的な空間的に変調された誘導結合を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平９－３２５００２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなリニアエンコーダにおいて、高精度の測定を行うためには、位置検出センサとリニアスケールとのギャップ寸法を精度良く管理する必要がある。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、位置検出センサとリニアスケールとのギャップ寸法を精度良く管理できるリニアエンコーダ及びリニア搬送システムの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るリニアエンコーダは、センサ基板と、前記センサ基板の一方の面に設けられた複数の位置検出センサと、前記複数の位置検出センサに対向する部分に、複数の窓部が設けられた位置決めプレートと、前記位置決めプレートに前記センサ基板を固定する固定部と、を備え、前記複数の位置検出センサは、前記センサ基板の前記一方の面が前記位置決めプレートに当接した状態で、前記複数の窓部内に配置されている。
【０００７】
また、本発明の一態様に係るリニア搬送システムは、リニアスケールを備える移動体と、前記移動体を案内する軌道体、及び、前記軌道体に沿って配置され、前記リニアスケールに対向可能なリニアエンコーダを備える搬送ユニットと、を備え、前記搬送ユニットは、前記軌道体が連続するように複数台連結可能であり、前記リニアエンコーダとして、先に記載のリニアエンコーダを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様によれば、位置検出センサとリニアスケールとのギャップ寸法を精度良く管理できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一実施形態に係るリニア搬送システムの全体図である。
一実施形態に係る移動体及び搬送ユニットの斜視図である。
一実施形態に係る移動体及び搬送ユニットをＸ軸方向から視た図である。
一実施形態に係る搬送ユニットをＹ軸方向から視た図である。
一実施形態に係るリニアエンコーダの背面側斜視図である。
一実施形態に係る取付ベース及び位置決めプレートの背面側斜視図である。
図４に示す矢視ＶＩＩ－ＶＩＩ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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