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公開番号2024175422
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-18
出願番号2023093201
出願日2023-06-06
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241211BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】接合層を介したガスの漏出を抑制することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100に形成された環状の突起であるシールリング151と、を備える。シールリング151は非円形部分151Aを有する。誘電体基板100には、シールリング151の内側の空間SPにガスを供給するための複数のガス穴140が形成されている。複数のガス穴140は、シールリング151の形状に沿って環状に並ぶように配置された環状ガス穴群を含む。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に形成された環状の突起であって、その先端面が前記載置面の一部となっているシールリングと、を備え、
前記シールリングは、前記載置面に対し垂直な方向から見た場合の形状が円形から外れている部分、である非円形部分を有し、
前記誘電体基板には、前記シールリングの内側の空間にガスを供給するための複数のガス穴が形成されており、
複数の前記ガス穴は、前記シールリングの形状に沿って環状に並ぶように配置された複数の前記ガス穴、である環状ガス穴群を含むことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記環状ガス穴群に含まれるそれぞれの前記ガス穴は、等間隔で並ぶように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記環状ガス穴群に含まれるそれぞれの前記ガス穴は、前記シールリングまでの距離において互いに同じであることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記環状ガス穴群に含まれる複数の前記ガス穴には、前記非円形部分に対し隣り合う位置に形成されたものが含まれることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記非円形部分は、前記載置面に対し垂直な方向から見た場合の形状が直線状となっていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばＣＶＤ装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
下記特許文献１に記載されているように、誘電体基板と基板との間の空間には、処理中における基板の温度調整等を目的として、ヘリウム等の不活性ガスが供給される。誘電体基板と基板との間で上記空間を確保するために、誘電体基板のうち基板側の面には、環状の突起であるシールリングが形成される。不活性ガスは、誘電体基板に形成された複数のガス穴を通じて上記空間に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－８６６６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
載置面に対し垂直な方向から見た場合のシールリングの形状は、全体において円形とされることもあるが、例えばシリコンウェハのオリフラやノッチと対応する部分のみを直線状とするなど、一部においては非円形の形状とされることもある。
【０００６】
一方、ガス穴は、主に上記空間における圧力分布を均等にすることを考慮し、上記の非円形部分とは無関係に配置されるのが一般的であった。このため、シールリングのうち特に非円形部分の近傍となる位置においては、ガス穴とシールリングとの間が局所的に狭くなってしまう可能性があった。
【０００７】
誘電体基板に設けられたそれぞれのガス穴は、接合層及びベースプレートのそれぞれを貫くように形成されたガス流路に繋がっている。このため、一部のガス穴がシールリングに接近し過ぎている場合には、ガス流路のうち接合層を通る部分から、静電チャックの外周面側に向けてガスが漏出してしまう可能性がある。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、接合層を介したガスの漏出を抑制することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板に形成された環状の突起であって、その先端面が載置面の一部となっているシールリングと、を備える。シールリングは、載置面に対し垂直な方向から見た場合の形状が円形から外れている部分、である非円形部分を有する。誘電体基板には、シールリングの内側の空間にガスを供給するための複数のガス穴が形成されている。複数のガス穴は、シールリングの形状に沿って環状に並ぶように配置された複数のガス穴、である環状ガス穴群を含む。
【００１０】
このような構成の静電チャックでは、シールリングが、例えば基板のオリフラ等に対応する非円形部分を有している。また、シールリングの内側では、非円形部分を含むシールリングの形状に沿って並ぶように環状ガス穴群が配置されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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