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公開番号2024175421
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-18
出願番号2023093200
出願日2023-06-06
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241211BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板に加えられる支持力のバランスを保ち、基板の撓みを抑制することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100に形成された複数のシールリング150と、誘電体基板100に形成された複数のドット160と、を備える。複数のシールリング150のうち、第1シールリング151及び第2シールリング152はいずれも、非円形部分151A、152Aを有する。複数のドット160は、第1シールリング151の内側において、第1シールリング151の形状に沿って並ぶように配置された第1ドット群と、第2シールリング152の内側において、第2シールリング152の形状に沿って並ぶように配置された第2ドット群と、を含む。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に形成された環状の突起であって、その先端面が前記載置面の一部となっている複数のシールリングと、
前記誘電体基板に形成された突起であって、その先端面が前記載置面の一部となっている複数のドットと、を備え、
複数の前記シールリングは、
前記載置面のうち最も外周端となる位置に配置された第１シールリングと、
前記第１シールリングとの間に他の前記シールリングを挟むことなく、前記第１シールリングの内側となる位置に配置された第２シールリングと、を含み、
前記第１シールリング及び前記第２シールリングはいずれも、前記載置面に対し垂直な方向から見た場合の形状が円形から外れている部分、である非円形部分を有し、
複数の前記ドットは、
前記第１シールリングの内側において、前記第１シールリングの形状に沿って並ぶように配置された複数の前記ドット、である第１ドット群と、
前記第２シールリングの内側において、前記第２シールリングの形状に沿って並ぶように配置された複数の前記ドット、である第２ドット群と、を含むことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 550 文字）【請求項２】
前記第１ドット群に含まれるそれぞれの前記ドットは、前記第１シールリングまでの距離において互いに同じであることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記第２ドット群に含まれるそれぞれの前記ドットは、前記第２シールリングまでの距離において互いに同じであることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記第１シールリングと前記第２シールリングとの間に設けられた複数の前記ドットは、いずれも前記第１ドット群に含まれものであり、一列に並ぶよう配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記第１ドット群に含まれるそれぞれの前記ドットは等間隔で並ぶように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記第２ドット群に含まれるそれぞれの前記ドットは等間隔で並ぶように配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項７】
前記非円形部分は、前記載置面に対し垂直な方向から見た場合の形状が直線状となっていることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばＣＶＤ装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板を備える。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
下記特許文献１に記載されているように、誘電体基板と基板との間の空間には、処理中における基板の温度調整等を目的として、ヘリウム等の不活性ガスが供給される。不活性ガスは、誘電体基板に形成されたガス穴を通じて上記空間に供給される。
【０００４】
誘電体基板と基板との間で上記空間を確保するために、誘電体基板のうち基板側の面には、環状の突起であるシールリングが形成される。上記空間を複数に分けておき、各部における不活性ガスの圧力を個別に調整し得るように、上記のシールリングは複数設けられるのが一般的である。また、誘電体基板のうち基板側の面には、上記のシールリングに加えて、基板を支持するための微小な突起であるドットも複数形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１２－２３４９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
載置面に対し垂直な方向から見た場合のシールリングの形状は、全体において円形とされることもあるが、例えばシリコンウェハのオリフラやノッチと対応する部分のみを直線状とするなど、一部においては非円形の形状とされることもある。このような非円形部分は、最外周に配置されたシールリングのみならず、その１つ内側に配置されたシールリングにも設けられる。
【０００７】
一方、ドットは、上記の非円形部分を考慮することなく、例えば互いに等間隔に並ぶよう載置面の全体において規則的に配置される。このため、シールリングのうち上記の非円形部分の近傍となる位置においては、ドットとシールリングとの間が局所的に狭くなってしまったり、逆に広くなってしまったりすることがある。
【０００８】
非円形部分の近傍におけるドットの配置によっては、基板に加えられる支持力のバランスが崩れてしまい、基板の撓み量が大きくなってしまう可能性が有る。基板の撓みは、基板における局所的な温度上昇や温度低下等の原因となり得るため、好ましくない。
【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板に加えられる支持力のバランスを保ち、基板の撓みを抑制することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板に形成された環状の突起であって、その先端面が載置面の一部となっている複数のシールリングと、誘電体基板に形成された突起であって、その先端面が載置面の一部となっている複数のドットと、を備える。複数のシールリングは、載置面のうち最も外周端となる位置に配置された第１シールリングと、第１シールリングとの間に他のシールリングを挟むことなく、第１シールリングの内側となる位置に配置された第２シールリングと、を含む。第１シールリング及び第２シールリングはいずれも、載置面に対し垂直な方向から見た場合の形状が円形から外れている部分、である非円形部分を有する。複数のドットは、第１シールリングの内側において、第１シールリングの形状に沿って並ぶように配置された複数のドット、である第１ドット群と、第２シールリングの内側において、第２シールリングの形状に沿って並ぶように配置された複数のドット、である第２ドット群と、を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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