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公開番号2024160514
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-14
出願番号2023075605
出願日2023-05-01
発明の名称蒸着マスクのためのマスクフレーム
出願人株式会社ブイ・イー・ティー
代理人弁理士法人鈴榮特許綜合事務所
主分類C23C 14/04 20060101AFI20241107BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】輸送に適した蒸着マスクのためのマスクフレームを提供する。
【解決手段】蒸着マスクのためのマスクフレームは、第1のフレームと、第2のフレームと、第3のフレームとを備えている。第1のフレームは、蒸着マスクが接合される第1の開口を有する。第2のフレームは、蒸着マスクが接合された第1のフレームが設置される第2の開口を有する。第2のフレームには、第2の開口の面内方向における第2のフレームに対する第1のフレームの位置を調整する位置調整機構が設けられている。第3のフレームは、第1のフレームが設置された第2のフレームが設置される第3の開口を有する。
【選択図】図1B
特許請求の範囲【請求項１】
蒸着マスクが接合される第１の開口を有する第１のフレームと、
前記蒸着マスクが接合された前記第１のフレームが設置される第２の開口を有する第２のフレームであって、前記第２の開口の面内方向における前記第２のフレームに対する前記第１のフレームの位置を調整する位置調整機構が設けられた第２のフレームと、
前記第１のフレームが設置された前記第２のフレームが設置される第３の開口を有する第３のフレームと、
を備えた蒸着マスクのためのマスクフレーム。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１のフレームと、前記第２のフレームと、前記第３のフレームの各辺とには、被蒸着基板の搬送のための複数の切り欠き部が等間隔で形成され、
前記位置調整機構は、前記第２のフレームの前記切り欠き部の間の位置に設けられている、
請求項１に記載のマスクフレーム。
【請求項３】
前記第３のフレームは、前記第１のフレームと前記第２のフレームに比べて幅広、かつ、厚肉に形成されている、
請求項１に記載のマスクフレーム。
【請求項４】
前記第２のフレームには前記第１のフレームが設置されたときに前記第１のフレームと係合する凸部が形成され、
前記凸部の形成位置は、前記蒸着マスクが前記第１のフレームに接合されたときに前記第１のフレームが前記蒸着マスクから受ける応力の発生基点から応力の発生方向側の位置である、
請求項１に記載のマスクフレーム。
【請求項５】
蒸着マスクが接合される複数の棒状フレームと、
前記蒸着マスクが接合された前記棒状フレームが設置される第１の開口を有する第２のフレームであって、前記第１の開口の面内方向における前記第２のフレームに対する前記棒状フレームの位置を調整する位置調整機構が設けられた第２のフレームと、
前記棒状フレームが設置された前記第２のフレームが設置される第２の開口を有する第３のフレームと、
を備えた蒸着マスクのためのマスクフレーム。
【請求項６】
前記第２のフレームと、前記第３のフレームの各辺とには、被蒸着基板の搬送のための複数の切り欠き部が等間隔で形成され、
前記位置調整機構は、前記第２のフレームの前記切り欠き部の間の位置に設けられている、
請求項５に記載のマスクフレーム。
【請求項７】
前記第３のフレームは、前記第２のフレームに比べて幅広、かつ、厚肉に形成されている、
請求項５に記載のマスクフレーム。
【請求項８】
前記第２のフレームには前記棒状フレームが設置されたときに前記棒状フレームと係合する凸部が形成され、
前記凸部の形成位置は、前記蒸着マスクが前記棒状フレームに接合されたときに前記棒状フレームが前記蒸着マスクから受ける応力の発生基点から応力の発生方向側の位置である、
請求項５に記載のマスクフレーム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
実施形態は、蒸着マスクのためのマスクフレームに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（electro-luminescence）ディスプレイの製造工程の１つである真空蒸着工程では、有機物等の蒸着物質を蒸着させる際に蒸着マスクが使用される。蒸着マスクのずれは、成膜位置のずれにつながる。したがって、通常、蒸着マスクは、マスクフレームによって保持された状態で使用される。ここで、プロセス温度によってはマスクフレーム及び蒸着マスクが熱膨張を起こし、これによってアライメントのずれ及びサイズのずれが生じることがある。したがって、マスクフレームは、熱膨張率の小さい材料によって製造される。また、同時に蒸着マスクの変形防止策として、蒸着マスクを架張してマスクフレームに溶接することで接合する方法が用いられている。この場合、マスクフレームには、蒸着マスクの架張時の応力に耐えうる剛性が求められる。このような剛性を得るために、マスクフレームは、幅広、かつ、厚肉となる。したがって、マスクフレームは、通常、高重量である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６１６０３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、蒸着マスクのマスクフレームへの接合と、蒸着マスクが接合されたマスクフレームの利用とが別の場所で行われることがある。この場合、蒸着マスクが接合されたマスクフレームを所定の場所まで輸送する必要が生じる。しかしながら、前述したようにマスクフレームは、高重量のため、輸送のためのコストがかかりやすい。
【０００５】
実施形態は、輸送に適した蒸着マスクのためのマスクフレームを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一態様の蒸着マスクのためのマスクフレームは、第１のフレームと、第２のフレームと、第３のフレームとを備えている。第１のフレームは、蒸着マスクが接合される第１の開口を有する。第２のフレームは、蒸着マスクが接合された第１のフレームが設置される第２の開口を有する。第２のフレームには、第２の開口の面内方向における第２のフレームに対する第１のフレームの位置を調整する位置調整機構が設けられている。第３のフレームは、第１のフレームが設置された第２のフレームが設置される第３の開口を有する。
【発明の効果】
【０００７】
実施形態は、輸送に適した蒸着マスクのためのマスクフレームを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１Ａは、実施形態におけるマスクフレームの構成を示す斜視図である。
図１Ｂは、マスクフレームの構成を示す分解斜視図である。
図２は、位置調整機構について説明するための、第２のフレームのＩＩＩ－ＩＩＩ線断面図である。
図３は、一例の蒸着マスクの構成を示す正面図である。
図４は、実施形態に係るマスクアセンブリの製造方法を示すフローチャートである。
図５Ａは、蒸着マスクが接合された第１のフレームを示す図である。
図５Ｂは、図５ＡのＶＢ－ＶＢ線断面図である。
図６Ａは、第１のフレームの位置調整がされた後の第２のフレームを示す図である。
図６Ｂは、図６ＡのＶＩＢ－ＶＩＢ線断面図である。
図７Ａは、第２のフレームの設置された後の第３のフレームを示す図である。
図７Ｂは、図７ＡのＶＩＩＢ－ＶＩＩＢ線断面図である。
図８は、変形例１のマスクフレームの構成を示す分解斜視図である。
図９は、変形例２における図６ＡのＶＩＢ－ＶＩＢ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
１．実施形態
実施形態に係るマスクフレームについて説明する。実施形態に係るマスクフレームは、有機ＥＬパネルの製造工程において被蒸着基板に蒸着パターンを形成するために使用される蒸着マスクを保持するためのフレームである。蒸着マスクと接合されることによって、被蒸着基板に対する蒸着マスクの正確な位置決めを行えるようにする。実施形態におけるマスクフレームでは、蒸着マスクが接合された状態での位置調整がされ得る。
【００１０】
なお、有機ＥＬパネルの表示方式としては、各々が独立に蒸着された赤、青、緑の３原色の有機ＥＬ層を個別に発光させて有色表示する方式と、一面に蒸着された白色の有機ＥＬ層の白色発光を、カラーフィルタを介して有色表示する方式と、があり得る。実施形態に係るマスクフレームは、上述したいずれの表示方式の有機ＥＬパネルの製造工程においても、適用可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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