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公開番号2024157869
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023072493
出願日2023-04-26
発明の名称弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサ
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類H03H 9/145 20060101AFI20241031BHJP(基本電子回路)
要約【課題】共振周波数よりも低周波側における反射損失の増加を抑制する。
【解決手段】弾性波素子10は、圧電体層100の両主面のそれぞれに形成されたIDT電極と、両主面のそれぞれに形成された複数の反射器と、を備える。IDT電極は、第1方向d1と交差する第2方向d2に延びるように配置された複数の電極指を有する。反射器は、第2方向d2に延びるように配置された複数の反射電極指を有する。第1方向d1に沿って配列された複数の電極指の配列ピッチをPiとし、第1方向d1に沿って配列された複数の反射電極指の配列ピッチをPrとし、複数の電極指のうち反射器に最近接する電極指の中心と複数の反射電極指のうちIDT電極に最近接する反射電極指の中心との第1方向d1における距離であるIDT-反射器ギャップをGとした場合に、圧電体層100の厚みは、Piの2倍以下であり、G<Pr、および、Pr>Piで示される関係を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
圧電体層と、
前記圧電体層の両主面のそれぞれに形成されたＩＤＴ電極と、
前記両主面のそれぞれに形成された複数の反射器と、
を備える弾性波素子であって、
前記ＩＤＴ電極は、対向する一対の櫛歯状電極を有し、
前記一対の櫛歯状電極を構成する各々の櫛歯状電極は、前記圧電体層の主面に沿う方向において第１方向と交差する第２方向に延びるように配置された複数の電極指と、前記複数の電極指のそれぞれの一端同士を接続するバスバー電極と、を有し、
前記複数の反射器は、前記第１方向において前記ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の反射電極指を有し、
前記第１方向に沿って配列された前記複数の電極指の配列ピッチをＰｉとし、
前記第１方向に沿って配列された前記複数の反射電極指の配列ピッチをＰｒとし、
前記複数の電極指のうち前記反射器に最近接する電極指の中心と前記複数の反射電極指のうち前記ＩＤＴ電極に最近接する反射電極指の中心との前記第１方向における距離であるＩＤＴ－反射器ギャップをＧとした場合に、
前記圧電体層の厚みは、Ｐｉの２倍以下であり、
Ｇ＜Ｐｒ、および、Ｐｒ＞Ｐｉで示される関係を有する
弾性波素子。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
Ｇ／Ｐｒは、０．５５以上０．８８以下である
請求項１に記載の弾性波素子。
【請求項３】
前記圧電体層は、前記両主面の一方である第１主面、および、他方である第２主面を有し、
前記圧電体層の両主面のそれぞれに形成されたＩＤＴ電極は、前記第１主面に形成された第１のＩＤＴ電極、および、前記第２主面に形成された第２のＩＤＴ電極によって構成され、
前記複数の反射器は、前記第１方向において前記第１のＩＤＴ電極の両外側に配置された複数の第１の反射器、および、前記第１方向において前記第２のＩＤＴ電極の両外側に配置された複数の第２の反射器によって構成され、
前記第１のＩＤＴ電極に含まれる一方の櫛歯状電極と前記第２のＩＤＴ電極に含まれる一方の櫛歯状電極とは、電気的に接続され、
前記第１のＩＤＴ電極に含まれる他方の櫛歯状電極と前記第２のＩＤＴ電極に含まれる他方の櫛歯状電極とは、電気的に接続されている
請求項１に記載の弾性波素子。
【請求項４】
さらに、
前記圧電体層を伝搬する弾性波音速よりも、伝搬するバルク波音速が高速である高音速支持基板と、
前記高音速支持基板と前記圧電体層との間に配置され、前記圧電体層を伝搬する弾性波音速よりも、伝搬するバルク波音速が低速である低音速層と、
を備え、
前記低音速層は、前記第２のＩＤＴ電極を覆うように前記第２主面に設けられている
請求項３に記載の弾性波素子。
【請求項５】
さらに、前記第１のＩＤＴ電極を覆うように前記第１主面に設けられた保護膜を備える
請求項４に記載の弾性波素子。
【請求項６】
請求項１～５のいずれか１項に記載の弾性波素子を含む
弾性波フィルタ装置。
【請求項７】
請求項６に記載の弾性波フィルタ装置を含む複数のフィルタを備え、
前記複数のフィルタのそれぞれの入出力端子および入出力端子の一方は、共通端子に直接的または間接的に接続され、
前記弾性波フィルタ装置を除く前記複数のフィルタの少なくとも１つは、前記弾性波フィルタ装置の通過帯域の周波数より低い通過帯域を有する
マルチプレクサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話のデータ伝送速度を向上させるために、マルチバンドシステムが用いられている。その際、複数の周波数帯域の送受信を行う場合があるため、携帯電話のフロントエンド回路には、異なる周波数帯域の高周波信号を通過させる複数のフィルタ装置が配置される。この場合、上記複数のフィルタ装置には、隣接バンドとの高アイソレーションおよび通過帯域の低損失性が要求される。
【０００３】
特許文献１には、圧電層内の構造の一部内に音響波が閉じ込められる導波デバイスが開示され、導波デバイスの一例として、圧電層と、圧電層の上側表面に形成されるＩＤＴ電極と、下側表面に形成されるＩＤＴ電極と、を備える弾性波共振子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－４４８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された弾性波共振子では、ＩＤＴ電極内の反射が大きくなるため、弾性表面波共振子の共振周波数よりも低周波側で発生するスプリアスの影響で、通過特性が劣化するという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、弾性波共振子の共振周波数よりも低周波側における反射損失の増加を抑制できる弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波素子は、圧電体層と、前記圧電体層の両主面のそれぞれに形成されたＩＤＴ電極と、前記両主面のそれぞれに形成された複数の反射器と、を備える弾性波素子であって、前記ＩＤＴ電極は、対向する一対の櫛歯状電極を有し、前記一対の櫛歯状電極を構成する各々の櫛歯状電極は、前記圧電体層の主面に沿う方向において第１方向と交差する第２方向に延びるように配置された複数の電極指と、前記複数の電極指のそれぞれの一端同士を接続するバスバー電極と、を有し、前記複数の反射器は、前記第１方向において前記ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の反射電極指を有し、前記第１方向に沿って配列された前記複数の電極指の配列ピッチをＰｉとし、前記第１方向に沿って配列された前記複数の反射電極指の配列ピッチをＰｒとし、前記複数の電極指のうち前記反射器に最近接する電極指の中心と前記複数の反射電極指のうち前記ＩＤＴ電極に最近接する反射電極指の中心との前記第１方向における距離であるＩＤＴ－反射器ギャップをＧとした場合に、前記圧電体層の厚みは、Ｐｉの２倍以下であり、Ｇ＜Ｐｒ、および、Ｐｒ＞Ｐｉで示される関係を有する弾性波素子。
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタ装置は、上記の弾性波素子を含む。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るマルチプレクサは、上記の弾性波フィルタ装置を含む複数のフィルタを備え、前記複数のフィルタのそれぞれの入出力端子および入出力端子の一方は、共通端子に直接的または間接的に接続され、前記弾性波フィルタ装置を除く前記複数のフィルタの少なくとも１つは、前記弾性波フィルタ装置の通過帯域の周波数より低い通過帯域を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサによれば、弾性波素子の共振周波数よりも低周波側における反射損失の増加を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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