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公開番号2024154678
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023068638
出願日2023-04-19
発明の名称排ガス処理システムのための制御装置および制御方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/31 20060101AFI20241024BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本発明は、複数の処理器を有する排ガス処理システムの動作を制御する制御装置の共通化を実現することができる制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】制御装置6は、複数の処理器2A～2Cを有する排ガス処理システム1の動作を制御する制御装置6であって、複数の処理器2A～2Cに対応し、複数の処理器2A～2Cの動作を個別に制御する複数の副制御装置8A～8Cと、複数の副制御装置8A～8Cに電気的に接続された主制御装置7を備え、主制御装置7は、複数の副制御装置8A～8Cに電力を供給する電源10と、複数の処理器2A～2Cの動作を統括的に制御する統括制御部11を備え、複数の副制御装置8A～8Cのそれぞれは、対応する処理器2A～2Cを動作させるための機器3,4に電気的に接続された個別制御部13を備えている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の処理器を有する排ガス処理システムの動作を制御する制御装置であって、
前記複数の処理器に対応し、前記複数の処理器の動作を個別に制御する複数の副制御装置と、
前記複数の副制御装置に電気的に接続された主制御装置を備え、
前記主制御装置は、
前記複数の副制御装置に電力を供給する電源と、
前記複数の処理器の動作を統括的に制御する統括制御部を備え、
前記複数の副制御装置のそれぞれは、対応する処理器を動作させるための機器に電気的に接続された個別制御部を備えている、制御装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記機器は、前記対応する処理器に連結された運転用バルブである、請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記機器は、前記対応する処理器から物理量を検出し、前記物理量を表す信号を出力する運転用センサである、請求項１に記載の制御装置。
【請求項４】
前記複数の副制御装置のそれぞれは、前記複数の処理器のうちの少なくとも１つに異常が発生した場合に、前記異常が発生した処理器に連結された緊急遮断バルブを閉じるインターロック動作を行うインターロック部をさらに備え、
前記インターロック部は、前記緊急遮断バルブ、および前記少なくとも１つの処理器に設けられたインターロック用センサに電気的に接続されており、
前記インターロック部は、前記インターロック用センサが前記少なくとも１つの処理器に異常が発生したことを検出したときに、前記緊急遮断バルブを閉じるように構成されている、請求項１に記載の制御装置。
【請求項５】
前記個別制御部は、前記インターロック部を通じて、前記緊急遮断バルブに電気的に接続されており、
前記緊急遮断バルブは、前記個別制御部と前記緊急遮断バルブとの電気的な接続が遮断されたときに閉じるように構成されており、
前記インターロック部は、前記個別制御部と前記緊急遮断バルブとの間に配置された個別リレースイッチを備え、
前記個別リレースイッチは、前記インターロック用センサが前記少なくとも１つの処理器に異常が発生したことを検出したときに、前記個別制御部と前記緊急遮断バルブとの電気的な接続を遮断するように構成されている、請求項４に記載の制御装置。
【請求項６】
前記制御装置は、前記複数の副制御装置を電気的に接続するインターロック同期配線をさらに備え、
前記インターロック部は、前記インターロック同期配線および前記個別リレースイッチに電気的に接続可能な切替装置をさらに備え、
前記切替装置は、その内部電気経路を切り替えることにより、前記異常が発生した処理器に連結された前記緊急遮断バルブのみを閉じる単独インターロックモード、前記複数の処理器のうちの少なくとも２つに連結された前記緊急遮断バルブを閉じる連動インターロックモード、および前記インターロック動作を無効にするインターロック無効モードの間で切り替え可能に構成されている、請求項５に記載の制御装置。
【請求項７】
前記主制御装置は、前記電源に接続された電源リレースイッチをさらに備え、
前記複数の副制御装置のそれぞれは、前記複数の処理器のうちの少なくとも１つに設けられたインターロック用センサに接続された個別リレースイッチを備え、
前記電源リレースイッチは前記個別リレースイッチに電気的に接続されており、
前記電源リレースイッチは、前記インターロック用センサが前記少なくとも１つの処理器に異常が発生したことを検出したときに、前記電源から前記複数の副制御装置への前記電力の供給を遮断して、前記複数の処理器の運転を停止させるように構成されている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の制御装置。
【請求項８】
複数の処理器を有する排ガス処理システムの動作を制御する方法であって、
前記複数の処理器に対応する複数の副制御装置により、前記複数の処理器の動作を個別に制御し、
前記複数の副制御装置に電気的に接続された主制御装置の電源から、前記複数の副制御装置に電力を供給し、
前記主制御装置により、前記複数の処理器の動作を統括的に制御することを含む、制御方法。
【請求項９】
前記複数の処理器の動作を個別に制御することは、前記対応する処理器に連結された運転用バルブの動作を制御することを含む、請求項８に記載の制御方法。
【請求項１０】
前記複数の処理器のうちの少なくとも１つの処理器に異常が発生したことがインターロック用センサによって検出されたときに、前記複数の副制御装置のうちの少なくとも１つにより、前記異常が発生した処理器に連結された緊急遮断バルブを閉じるインターロック動作を行うことをさらに含む、請求項８に記載の制御方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の処理器を有する排ガス処理システムの動作を制御する制御装置および制御方法に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス、液晶パネル、ＬＥＤ等を製造する半導体製造プロセスにおいては、真空にされたプロセスチャンバ内にプロセスガスを導入してエッチング処理やＣＶＤ処理等の各種処理を行っている。プロセスチャンバ、およびプロセスチャンバに接続されている排気系機器は、クリーニングガスを流すことにより定期的に洗浄されている。これらプロセスガスやクリーニングガス等の排ガスは、シラン系ガス、ハロゲンガス、ＰＦＣガス等を含み、人体に悪影響を及ぼすことや、地球温暖化の原因になる等の地球環境に悪影響を及ぼすことがあり、大気にそのまま放出することができない。そこで、これらの排ガスは、半導体処理装置の下流側に設置された排ガス処理システムによって無害化処理された後に大気に放出されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－１６１８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年の半導体ウェハの大型化に伴って、半導体処理装置から排出される排ガスの量が増加している。増加した排ガスを効率的に処理するために、複数の処理器を有する排ガス処理システムが使用されている。複数の処理器を有する排ガス処理システムは、１つの処理器に異常が発生した場合に、予備の処理器に切り替えて運転を継続させるバックアップ機能を有している。
【０００５】
従来の複数の処理器を有する排ガス処理システムでは、１つの制御装置によって複数の処理器を制御するように構成されており、処理器の数が増減するたびに制御装置の仕様や制御回路を変更する必要がある。また、制御装置は、排ガス処理システムを安全に運転するために、温度センサ、漏水センサなどの各種センサによって処理器の異常を検出した場合に、処理器の運転を停止させるインターロック部を備える。制御装置は、処理器の数が増減するたびにインターロック部の構成を変更する必要がある。このようなことから、制御装置の構成を共通化できないという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、複数の処理器を有する排ガス処理システムの動作を制御する制御装置の共通化を実現することができる制御装置および制御方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一態様では、複数の処理器を有する排ガス処理システムの動作を制御する制御装置であって、前記複数の処理器に対応し、前記複数の処理器の動作を個別に制御する複数の副制御装置と、前記複数の副制御装置に電気的に接続された主制御装置を備え、前記主制御装置は、前記複数の副制御装置に電力を供給する電源と、前記複数の処理器の動作を統括的に制御する統括制御部を備え、前記複数の副制御装置のそれぞれは、対応する処理器を動作させるための機器に電気的に接続された個別制御部を備えている、制御装置が提供される。
一態様では、前記機器は、前記対応する処理器に連結された運転用バルブである。
一態様では、前記機器は、前記対応する処理器から物理量を検出し、前記物理量を表す信号を出力する運転用センサである。
【０００８】
一態様では、前記複数の副制御装置のそれぞれは、前記複数の処理器のうちの少なくとも１つに異常が発生した場合に、前記異常が発生した処理器に連結された緊急遮断バルブを閉じるインターロック動作を行うインターロック部をさらに備え、前記インターロック部は、前記緊急遮断バルブ、および前記少なくとも１つの処理器に設けられたインターロック用センサに電気的に接続されており、前記インターロック部は、前記インターロック用センサが前記少なくとも１つの処理器に異常が発生したことを検出したときに、前記緊急遮断バルブを閉じるように構成されている。
一態様では、前記個別制御部は、前記インターロック部を通じて、前記緊急遮断バルブに電気的に接続されており、前記緊急遮断バルブは、前記個別制御部と前記緊急遮断バルブとの電気的な接続が遮断されたときに閉じるように構成されており、前記インターロック部は、前記個別制御部と前記緊急遮断バルブとの間に配置された個別リレースイッチを備え、前記個別リレースイッチは、前記インターロック用センサが前記少なくとも１つの処理器に異常が発生したことを検出したときに、前記個別制御部と前記緊急遮断バルブとの電気的な接続を遮断するように構成されている。
【０００９】
一態様では、前記制御装置は、前記複数の副制御装置を電気的に接続するインターロック同期配線をさらに備え、前記インターロック部は、前記インターロック同期配線および前記個別リレースイッチに電気的に接続可能な切替装置をさらに備え、前記切替装置は、その内部電気経路を切り替えることにより、前記異常が発生した処理器に連結された前記緊急遮断バルブのみを閉じる単独インターロックモード、前記複数の処理器のうちの少なくとも２つに連結された前記緊急遮断バルブを閉じる連動インターロックモード、および前記インターロック動作を無効にするインターロック無効モードの間で切り替え可能に構成されている。
一態様では、前記主制御装置は、前記電源に接続された電源リレースイッチをさらに備え、前記複数の副制御装置のそれぞれは、前記複数の処理器のうちの少なくとも１つに設けられたインターロック用センサに接続された個別リレースイッチを備え、前記電源リレースイッチは前記個別リレースイッチに電気的に接続されており、前記電源リレースイッチは、前記インターロック用センサが前記少なくとも１つの処理器に異常が発生したことを検出したときに、前記電源から前記複数の副制御装置への前記電力の供給を遮断して、前記複数の処理器の運転を停止させるように構成されている。
【００１０】
一態様では、複数の処理器を有する排ガス処理システムの動作を制御する方法であって、前記複数の処理器に対応する複数の副制御装置により、前記複数の処理器の動作を個別に制御し、前記複数の副制御装置に電気的に接続された主制御装置の電源から、前記複数の副制御装置に電力を供給し、前記主制御装置により、前記複数の処理器の動作を統括的に制御することを含む、制御方法が提供される。
一態様では、前記複数の処理器の動作を個別に制御することは、前記対応する処理器に連結された運転用バルブの動作を制御することを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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