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公開番号2024143321
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-11
出願番号2023055934
出願日2023-03-30
発明の名称結晶性酸化物膜及び積層構造体
出願人株式会社FLOSFIA,株式会社デンソー,株式会社ミライズテクノロジーズ,トヨタ自動車株式会社
代理人
主分類C23C 16/40 20060101AFI20241003BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】半導体特性に優れた結晶性酸化物膜及び積層構造体を提供する。
【解決手段】dブロック金属元素、第13族金属元素及び第15族金属元素のうち少なくとも2種以上を含む混晶であり、且つ、コランダム構造を有する結晶性酸化物半導体を含み、前記結晶性酸化物半導体の主面は、S面又はr面である結晶性酸化物膜。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ｄブロック金属元素、第１３族金属元素及び第１５族金属元素のうち２種以上を含む混晶であり、且つ、コランダム構造を有する結晶性酸化物半導体を含み、
前記結晶性酸化物半導体の主面は、Ｓ面又はｒ面である結晶性酸化物膜。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記結晶性酸化物半導体は、第９族金属元素を含む請求項１に記載の結晶性酸化物膜。
【請求項３】
前記結晶性酸化物半導体は、イリジウムを含む請求項２に記載の結晶性酸化物膜。
【請求項４】
前記結晶性酸化物半導体は、ガリウムを含む請求項１又は請求項２に記載の結晶性酸化物膜。
【請求項５】
前記結晶性酸化物半導体は、マグネシウム及び窒素の少なくとも一方のドーパントを含む請求項１又は請求項２に記載の結晶性酸化物膜。
【請求項６】
請求項１又は請求項２に記載の結晶性酸化物膜と、前記結晶性酸化物膜とは異なる他の層とを備えた積層構造体。
【請求項７】
基板と、前記基板上に他の層を介して又は直接形成された、請求項１又は請求項２に記載の結晶性酸化物膜とを備えた積層構造体。
【請求項８】
前記結晶性酸化物半導体の前記主面は、前記基板に対してオフ角を有する請求項７に記載の積層構造体。
【請求項９】
前記主面は、Ｓ面であり、
前記主面のオフ方向は、ａ面又はｃ面に垂直な方向である請求項８に記載の積層構造体。
【請求項１０】
前記基板は、α－Ａｌ
２
Ｏ
３
を含む請求項７に記載の積層構造体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、結晶性酸化物膜及び積層構造体に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、結晶基板上に直接又は他の層を介して結晶性酸化物半導体膜が積層された積層構造体が開示されている。結晶性酸化物半導体膜は、結晶性酸化物半導体を主成分として含んでいる。特許文献１においては、結晶性酸化物半導体として、ＩｎＡｌＧａＯ系半導体及びα－Ｇａ
２
Ｏ
３
が例示されている。
【０００３】
なお、単に背景技術に記載があることだけで従来技術と認められるわけではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１９９４６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、半導体特性に優れる結晶性酸化物膜及び積層構造体を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本開示の一態様の結晶性酸化物膜は、ｄブロック金属元素、第１３族金属元素及び第１５族金属元素のうち２種以上を含む混晶であり、且つ、コランダム構造を有する結晶性酸化物半導体を含み、前記結晶性酸化物半導体の主面は、Ｓ面又はｒ面である。
【０００７】
また、本開示の一態様の積層構造体は、前記結晶性酸化物膜と、前記結晶性酸化物膜とは異なる他の層とを備える。
【０００８】
また、本開示の一態様の積層構造体は、基板と、前記基板上に他の層を介して又は直接形成された前記結晶性酸化物膜とを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本開示によれば半導体特性に優れた結晶性酸化物膜及び積層構造体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施形態の結晶性酸化物膜を備えた積層構造体の模式断面図である。
積層構造体の製造装置の一例を示す概略構成図である。
実施例１の積層構造体の断面ＴＥＭ像を示す図である。
結晶性酸化物膜を備えた半導体装置の一例を示す断面図である。
結晶性酸化物膜を備えた半導体装置の他の例を示す断面図である。
結晶性酸化物膜を備えた半導体装置の更に他の例を示す断面図である。
結晶性酸化物膜を備えた半導体装置の更に他の例を示す断面図である。
電源システムの一例を模式的に示す図である。
システム装置の一例を模式的に示す図である。
電源装置の電源回路図の一例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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