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公開番号2024132124
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023042798
出願日2023-03-17
発明の名称めっき装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C25D 21/12 20060101AFI20240920BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】めっき装置において、めっき膜厚の平坦性を精度良く確認することが可能な電位センサを提供する。
【解決手段】めっき装置は、めっき液を収容するためのめっき槽と、基板を保持するための基板ホルダと、基板ホルダに保持された基板と対向するようにめっき槽内に配置されたアノードと、基板ホルダに保持された基板とアノードとの間に配置され、アノード側と基板側を貫通する複数の孔を有する抵抗体と、基板ホルダに保持された基板と抵抗体との間に配置され、めっき液の電位を測定するように構成された電位センサアセンブリと、を備え、前記電位センサアセンブリは、ベースプレートと、前記ベースプレート上に配列された複数の電位センサと、前記複数の電位センサからの信号を取り出すための、前記ベースプレート上に形成された電気配線と、前記ベースプレートおよび前記電気配線を保護する保護膜と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
めっき液を収容するためのめっき槽と、
基板を保持するための基板ホルダと、
前記基板ホルダに保持された前記基板と対向するように前記めっき槽内に配置されたアノードと、
前記基板ホルダに保持された前記基板と前記アノードとの間に配置され、前記アノード側と前記基板側を貫通する複数の孔を有する抵抗体と、
前記基板ホルダに保持された前記基板と前記抵抗体との間に配置され、前記めっき液の電位を測定するように構成された電位センサアセンブリと、
を備え、前記電位センサアセンブリは、
ベースプレートと、
前記ベースプレート上に配列された複数の電位センサと、
前記複数の電位センサからの信号を取り出すための、前記ベースプレート上に形成された電気配線と、
前記ベースプレートおよび前記電気配線を保護する保護膜と、を備える、
めっき装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記ベースプレートは、プリント基板から構成される、請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記ベースプレートは、細長い板状に構成され、
前記複数の電位センサは、前記ベースプレートの長手方向に沿って配列される、
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記めっき装置は、前記基板ホルダを回転させる回転機構をさらに備え、
前記電位センサアセンブリは、前記ベースプレートの長手方向が前記回転の径方向に沿うように、前記基板と前記抵抗体との間に配置される、
請求項３に記載のめっき装置。
【請求項５】
前記ベースプレートは、前記抵抗体の前記複数の孔と整列するように形成された複数の孔を備える、請求項１から４のいずれか１項に記載のめっき装置。
【請求項６】
前記ベースプレートの前記複数の孔の各々は、前記抵抗体の前記複数の孔のいずれかと重なる位置に配置されている、請求項５に記載のめっき装置。
【請求項７】
前記ベースプレートの前記複数の孔は、前記ベースプレートの外形と重なる部分に存在する前記抵抗体のすべての前記孔と相対するように設けられている、請求項６に記載のめっき装置。
【請求項８】
前記ベースプレートの前記孔の径は、前記抵抗体の前記孔の径よりも大きいまたはそれと等しい、請求項５に記載のめっき装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき装置に関し、より特定的には、めっき装置においてめっき膜厚を測定するための電位センサの改良に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
めっき装置は、基板を保持する基板ホルダと、めっき液が収容されるめっき槽と、基板ホルダに保持された基板と対向するようにめっき槽内に配置されたアノードとを備える。めっき装置において、基板上に形成されるめっきの膜厚平坦性を向上させることは重要な課題である。従来、めっき膜厚を測定するための電位センサを備えためっき装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７０７４９３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
めっき膜厚の平坦性を精度良く確認することが可能な電位センサの提供が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［形態１］形態１によれば、めっき液を収容するためのめっき槽と、基板を保持するための基板ホルダと、前記基板ホルダに保持された前記基板と対向するように前記めっき槽内に配置されたアノードと、前記基板ホルダに保持された前記基板と前記アノードとの間に配置され、前記アノード側と前記基板側を貫通する複数の孔を有する抵抗体と、前記基板ホルダに保持された前記基板と前記抵抗体との間に配置され、前記めっき液の電位を測定するように構成された電位センサアセンブリと、を備え、前記電位センサアセンブリは、ベースプレートと、前記ベースプレート上に配列された複数の電位センサと、前記複数の電位センサからの信号を取り出すための、前記ベースプレート上に形成された電気配線と、前記ベースプレートおよび前記電気配線を保護する保護膜と、を備える、めっき装置が提供される。
【０００６】
［形態２］形態２によれば、形態１のめっき装置において、前記ベースプレートは、プリント基板から構成される。
【０００７】
［形態３］形態３によれば、形態１のめっき装置において、前記ベースプレートは、細長い板状に構成され、前記複数の電位センサは、前記ベースプレートの長手方向に沿って配列される。
【０００８】
［形態４］形態４によれば、形態３のめっき装置において、前記めっき装置は、前記基板ホルダを回転させる回転機構をさらに備え、前記電位センサアセンブリは、前記ベースプレートの長手方向が前記回転の径方向に沿うように、前記基板と前記抵抗体との間に配置される。
【０００９】
［形態５］形態５によれば、形態１から４のいずれか１のめっき装置において、前記ベースプレートは、前記抵抗体の前記複数の孔と整列するように形成された複数の孔を備える。
【００１０】
［形態６］形態６によれば、形態５のめっき装置において、前記ベースプレートの前記複数の孔の各々は、前記抵抗体の前記複数の孔のいずれかと重なる位置に配置されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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