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公開番号2024085272
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-26
出願番号2022199716
出願日2022-12-14
発明の名称モノクロメータ
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類G01J 3/18 20060101AFI20240619BHJP(測定;試験)
要約【課題】光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を1つの光学系に入射することができるモノクロメータを提供する。
【解決手段】コリメータ4が、入射部2から出射された入射光LA,LBを平行光に変換し出射する。回動可能な回折格子5が、コリメータ4から出射された平行光を分散分光して回折光を出射する。入射部2において、2つの光ファイバ21A,21Bが、入射光LA,LBをそれぞれ出射する。複数のトロイダルミラー22A,22Bが、光ファイバ21A,21Bから出射された入射光LA,LBをそれぞれ集光し、プリズムミラー23A,23Bが、複数のトロイダルミラー22A,22Bで集光された入射光LA,LBをそれぞれコリメータ4に入射するように反射する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
入射光（ＬＡ，ＬＢ）を出射する入射部（２）と、該入射部（２）から出射された入射光（ＬＡ，ＬＢ）を平行光に変換し出射するコリメータ（４）と、該コリメータ（４）から出射された前記平行光を分散分光して回折光を出射する回動可能な回折格子（５）と、を備えたモノクロメータ（１）において、
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
請求項１に記載のモノクロメータ（１）において、
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）。
【請求項３】
請求項１に記載のモノクロメータ（１）において、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）。
【請求項４】
請求項１～３の何れか１項に記載のモノクロメータ（１）において、
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、モノクロメータ、に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、回折格子を含む光学系に入射光を入射して、回折格子により入射光を分散分光させた回折光の中から、ある特定の波長の回折光のみをスリットで取り出すモノクロメータが提案されている（特許文献１）。
【０００３】
近年、上述したモノクロメータにおいて、２つの光ファイバ（入射手段）から出射される２つの入射光を一つの光学系に入射したいという要望があった。２つの光ファイバを近づけるには限界があるため、２つの入射光の入射位置を近づけるには限界があった。このため、２つの入射光の光学系への入射範囲がそれぞれ大きく異なるため、光学系を大きくする必要がある、という課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第３２７４０３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を１つの光学系に入射することができるモノクロメータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明に係るモノクロメータは、下記［１］～［４］を特徴としている。
［１］
入射光（ＬＡ，ＬＢ）を出射する入射部（２）と、該入射部（２）から出射された入射光（ＬＡ，ＬＢ）を平行光に変換し出射するコリメータ（４）と、該コリメータ（４）から出射された前記平行光を分散分光して回折光を出射する回動可能な回折格子（５）と、を備えたモノクロメータ（１）において、
前記入射部（２）は、
前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ出射する複数の入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）と、
複数の前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）から出射された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ集光する複数の集光部（２２Ａ，２２Ｂ）と、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）で集光された前記入射光（ＬＡ，ＬＢ）をそれぞれ前記コリメータ（４）に入射するように反射する複数の第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）と、を有する
モノクロメータ（１）であること。
［２］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
前記回折格子（５）から出射された前記回折光が前記コリメータ（４）で集光される位置に配置された第１のスリット（７）と、
前記コリメータ（４）で集光された前記回折光を前記第１のスリット（７）に向けて反射する第２の反射部（６）と、
前記第１のスリット（７）を通過した前記回折光を前記コリメータ（４）に向けて反射する第３の反射部（８）と、
前記第３の反射部（８）で反射された前記回折光が前記コリメータ（４）で平行光に変更され再び前記回折格子（５）で回折された後、前記コリメータ（４）で再び集光される位置に配置された第２のスリット（９）と、をさらに備えた、
モノクロメータ（１）であること。
［３］
［１］に記載のモノクロメータ（１）において、
複数の前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）が、トロイダルミラーから構成されている、
モノクロメータ（１）であること。
［４］
［１］～［３］の何れか１項に記載のモノクロメータ（１）において、
前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）、前記集光部（２２Ａ，２２Ｂ）及び前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）はそれぞれ、２つ設けられ、
２つの前記入射手段（２１Ａ，２１Ｂ）の並び方向において、２つの前記入射手段（２１Ａ）と前記入射手段（２１Ｂ）との間に２つの前記第１の反射部（２３Ａ，２３Ｂ）が、前記並び方向に並んで配置されている、
モノクロメータ（１）であること。
【０００７】
上記［１］の構成のモノクロメータによれば、複数の集光部が入射光をそれぞれ集光して、複数の第１の反射部で反射してコリメータに入射する。これにより、第１の反射部への集光部により集光した入射光の入射位置を互いに近づければ、入射光の入射範囲をほぼ同じにすることができ、光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を１つの光学系に入射することができる。
上記［２］の構成のモノクロメータによれば、入射光を回折格子に２回反射させることができ、波長選択性を高めて、広いダイナミックレンジを得ることができる。
上記［３］の構成のモノクロメータによれば、集光部をトロイダルミラーから構成することにより、入射光を精度よく集光することができる。
上記［４］の構成のモノクロメータによれば、第１の反射部への集光部により集光した入射光の入射位置を近づけることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光学系のサイズを大きくすることなく、複数の入射光を１つの光学系に入射することができるモノクロメータを提供することができる。
【０００９】
以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という。）を添付の図面を参照して通読することにより、本発明の詳細は更に明確化されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明のモノクロメータの一実施形態を示す構成図である。
図１に示すモノクロメータの入力部の概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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