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公開番号2024063430
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-13
出願番号2022171371
出願日2022-10-26
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240502BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハの上面を部分的に乾燥させることなく、また、装置内の湿度を上げることなく、ワークセットを搬送する。
【解決手段】ミストによってウェーハ100の上面の全面が濡れている状態で、チャックテーブル20からワークセット110を搬出している。このため、ワークセット110の搬出時に、ウェーハ100の上面の乾燥を抑制することができる。また、閉じた空間である部屋94にウェーハ100を配置して、この部屋94にミストを供給している。したがって、ミストが部屋94から漏れることが抑制されている。このため、切削装置内の湿度がミストによって上昇することを、良好に防止することができる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着して一体化したワークセットの該ウェーハの上面の全面を湿らせた状態で、該ワークセットを第１の位置から第２の位置へ搬送する搬送装置であって、
該リングフレームを保持する複数の吸盤と、
該複数の吸盤の内側に配置され、該ウェーハの上面の全面を覆う部屋を形成し、該部屋内の該ウェーハの上面にミストを噴射するミスト噴射部と、
該ミスト噴射部に該ミストを供給するミスト供給ユニットと、を備え、
該ウェーハの上面に該ミストを噴射しつつ該ワークセットを搬送する、搬送装置。
続きを表示（約 210 文字）【請求項２】
該ミスト供給ユニットは、超音波加湿機である、請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
該ミスト噴射部は、下端が該ダイシングテープの上面との間に隙間を形成するように、該ダイシングテープおよびウェーハの上方に配置されており、
該ミスト噴射部の下端外側を囲むように配置され、該隙間から出た該ミストを吸引するためのミスト吸引部をさらに備える、
請求項１または２記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１および２に開示のように、切削装置や研磨装置は、ダイシングテープを貼着してリングフレームとウェーハとを一体化させたワークセットをチャックテーブルに対して搬送する、搬送装置を備えている。
【０００３】
搬送装置は、リングフレームの上面を吸引する４つの吸盤を備えている。搬送装置は、切削加工されたワークセットを、チャックテーブルからスピンナ洗浄ユニットに搬送している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６－２９５０５０号公報
特開２０１８－１１１１４１号公報
特開２０１８－１１７０１４号公報
特開２０１７－１１２２５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような搬送装置によるワークセットの搬送中に、加工後のウェーハの上面が、部分的に乾燥することがある。この場合、スピンナ洗浄ユニットでウェーハを洗浄しても、その乾燥した部分と濡れていた部分との境の跡が、ウェーハの上面に残ってしまう。
【０００６】
そのため、特許文献１に開示のように、ウェーハの上面に親水性を付与する技術がある。しかし、親水性にするための時間がかかる。
【０００７】
また、特許文献３に開示のように、ウェーハの上面に水膜を形成して搬送する搬送装置がある。しかし、ウェーハを高速で搬送すると、慣性力によって、ウェーハの上面から水がこぼれてしまう。また、水の重みでダイシングテープがたるみ、ウェーハに形成されているチップ同士が接触して、チップに欠けが生じることもある。
【０００８】
また、特許文献４に開示の技術では、加湿したガスを用いてウェーハを保持して搬送している。しかし、この構成では、加工装置内の湿度が上がってしまう。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、ウェーハの上面を部分的に乾燥させることなく、また、装置内の湿度を上げることなく、ワークセットをスピンナ洗浄ユニットに搬送することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の搬送装置（本搬送装置）は、リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着して一体化したワークセットの該ウェーハの上面の全面を湿らせた状態で、該ワークセットを第１の位置から第２の位置へ搬送する搬送装置であって、該リングフレームを保持する複数の吸盤と、該複数の吸盤の内側に配置され、該ウェーハの上面の全面を覆う部屋を形成し、該部屋内の該ウェーハの上面にミストを噴射するミスト噴射部と、該ミスト噴射部に該ミストを供給するミスト供給ユニットと、を備え、該ウェーハの上面に該ミストを噴射しつつ該ワークセットを搬送する。
（【００１１】以降は省略されています）

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