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公開番号2024056606
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-23
出願番号2023088435
出願日2023-05-30
発明の名称熱硬化性接着剤組成物
出願人住友ベークライト株式会社
代理人個人
主分類C09J 179/08 20060101AFI20240416BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】十分な接着強度を得ることができる、熱硬化型の接着剤組成物を提供すること、または、十分な接着強度を得つつ、膜形成したときにその膜をCMP処理により適切に研磨または研削できる、熱硬化型の接着剤組成物を提供すること。
【解決手段】イミド環構造を有するポリイミドと、多官能(メタ)アクリレート化合物と、を含む、熱硬化性接着剤組成物。この熱硬化性接着剤組成物は、ポリイミド前駆体を含まないか、または、ポリイミド100質量部に対して100質量部より少ないポリイミド前駆体を含む。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
イミド環構造を有するポリイミドと、多官能（メタ）アクリレート化合物と、を含む、熱硬化性接着剤組成物であって、
ポリイミド前駆体を含まないか、または、前記ポリイミド１００質量部に対して１００質量部より少ないポリイミド前駆体を含む、熱硬化性接着剤組成物。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
請求項１に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
前記ポリイミドがアゾール構造を有する、熱硬化性接着剤組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらに熱ラジカル発生剤を含む、熱硬化性接着剤組成物。
【請求項４】
請求項１または２に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらにエポキシ（メタ）アクリレート化合物を含む、熱硬化性接着剤組成物。
【請求項５】
請求項１または２に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらにエポキシ樹脂を含む、熱硬化性接着剤組成物。
【請求項６】
請求項１または２に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
前記多官能（メタ）アクリレート化合物は、５官能以上の多官能（メタ）アクリレート化合物を含む、熱硬化性接着剤組成物。
【請求項７】
請求項１または２に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらに重合禁止剤を含む、熱硬化性接着剤組成物。
【請求項８】
請求項１または２に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらに溶剤を含み、前記ポリイミドは前記溶剤に溶解している、熱硬化性接着剤組成物。
【請求項９】
請求項１または２に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
当該熱硬化性接着剤組成物を、１７０℃で６０分間加熱することで得られる半硬化膜の弾性率が、１～４ＧＰａである、熱硬化性接着剤組成物。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱硬化性接着剤組成物に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
電子デバイスの製造において、接着剤が用いることがある。
例えば、特許文献１には、半導体装置の製造において、（Ａ）ポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリアミド酸塩及びポリアミド酸アミドからなる群より選択される少なくとも１種の樹脂であるポリイミド前駆体、並びにポリイミド樹脂の少なくとも一方と、（Ｂ）溶剤と、を含む樹脂組成物を用いた接合技術が記載されている。ちなみに、特許文献１の図３等には、樹脂組成物で形成した絶縁膜に化学的機械的研磨（ＣＭＰ）を施し、その後、ＣＭＰが施された絶縁膜同士を接合させることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２２／０７１３２９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
接着剤の接着強度は、通常、十分に大きいことが好ましい。
【０００５】
また、特許文献１に示されているような、樹脂組成物で形成した絶縁膜にＣＭＰ処理を施し、その後に絶縁膜同士を接合させる場合、形成された膜がＣＭＰ処理により適切に研磨または研削されることが好ましい。ここで「適切に研磨または研削される」とは、例えば、ＣＭＰ処理による絶縁膜の剥がれが抑えられることをいう。
【０００６】
以上を踏まえ、本発明者らは、十分な接着強度を得ることができる、熱硬化型の接着剤組成物を提供することを目的の１つとして様々な検討を行った。
また、本発明者らは、十分な接着強度を得つつ、膜形成したときにその膜をＣＭＰ処理により適切に研磨または研削できる、熱硬化型の接着剤組成物を提供することを目的の１つとして様々な検討を行った。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、検討の結果、以下に提供される発明を完成させ、上記課題を解決した。
【０００８】
１．
イミド環構造を有するポリイミドと、多官能（メタ）アクリレート化合物と、を含む、熱硬化性接着剤組成物であって、
ポリイミド前駆体を含まないか、または、前記ポリイミド１００質量部に対して１００質量部より少ないポリイミド前駆体を含む、熱硬化性接着剤組成物。
２．
１．に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
前記ポリイミドがアゾール構造を有する、熱硬化性接着剤組成物。
３．
１．または２．に記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらに熱ラジカル発生剤を含む、熱硬化性接着剤組成物。
４．
１．～３．のいずれか１つに記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらにエポキシ（メタ）アクリレート化合物を含む、熱硬化性接着剤組成物。
５．
１．～４．のいずれか１つに記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらにエポキシ樹脂を含む、熱硬化性接着剤組成物。
６．
１．～５．のいずれか１つに記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
前記多官能（メタ）アクリレート化合物は、５官能以上の多官能（メタ）アクリレート化合物を含む、熱硬化性接着剤組成物。
７．
１．～６．のいずれか１つに記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらに重合禁止剤を含む、熱硬化性接着剤組成物。
８．
１．～７．のいずれか１つに記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
さらに溶剤を含み、前記ポリイミドは前記溶剤に溶解している、熱硬化性接着剤組成物。
９．
１．～８．のいずれか１つに記載の熱硬化性接着剤組成物であって、
当該熱硬化性接着剤組成物を、１７０℃で６０分間加熱することで得られる半硬化膜の弾性率が、１～４ＧＰａである、熱硬化性接着剤組成物。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、十分な接着強度を得ることができる、熱硬化型の接着剤組成物が提供される。
また、本発明によれば、十分な接着強度を得つつ、膜形成したときにその膜をＣＭＰ処理により適切に研磨または研削できる、熱硬化型の接着剤組成物が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
熱硬化性接着剤組成物の使用方法の一例を説明するための図である。
熱硬化性接着剤組成物の使用方法の一例を説明するための図である。
熱硬化性接着剤組成物の使用方法の一例を説明するための図である。
熱硬化性接着剤組成物の使用方法の一例を説明するための図である。
熱硬化性接着剤組成物の使用方法の一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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