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公開番号2024054606
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-17
出願番号2022160931
出願日2022-10-05
発明の名称ガス除害装置及びガス処理方法
出願人カンケンテクノ株式会社
代理人個人,弁理士法人M&Partners
主分類B01D 53/56 20060101AFI20240410BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】省エネルギー化を実現することができ、使用条件の範囲を拡大することが可能な、ガス除害装置及びガス処理方法を提供する。
【解決手段】
ガス除害装置は、第1の反応器4と第2の反応器5とを有している。第1の反応器4は加熱壁7に囲まれた第1の反応空間6を有しており、前記第2の反応器5は加熱壁7を囲む第2の反応空間16を有している。第1の反応空間6の一端側からガス及び還元剤が導入され、第1の反応空間6の他端側は第2の反応空間16と連通している。第2の反応空間16には酸素又は酸素を含むガスが導入される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１の反応器（４）と第２の反応器（５）とを有し、
前記第１の反応器（４）は加熱壁（７）に囲まれた第１の反応空間（６）を有し、
前記第２の反応器（５）は前記加熱壁（７）を囲む第２の反応空間（１６）を有し、
前記第１の反応空間（６）の一端側から前記ガス及び還元剤が導入され、
前記第１の反応空間（６）の他端側は前記第２の反応空間（１６）と連通し、
前記第２の反応空間（１６）には酸素又は酸素を含むガスが導入される、ことを特徴とするガス除害装置（１）。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記第１の反応器（４）は前記第１の反応空間（６）内にガス流調整器（１３）を有することを特徴とする請求項１記載のガス除害装置（１）。
【請求項３】
前記加熱壁（７）は直管形状を有し、
前記ガス流調整器（１３）は気流制御部（１５）を有し、
前記気流制御部（１５）の長手方向は、前記加熱壁（７）の長手方向平行になるように設置されていることを特徴とする請求項２記載のガス除害装置（１）。
【請求項４】
前記還元剤が可燃性ガスであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のガス除害装置（１）。
【請求項５】
前記還元剤が有機溶媒であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のガス除害装置（１）。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれか１項記載の前記ガス除害装置（１）と、入口スクラバ（２）と、出口スクラバ（３）とを備え、
前記入口スクラバ（２）は、前記第１の反応器（４）と連通し、
前記出口スクラバ（３）は、前記第２の反応器（５）と連通する、
ことを特徴とするガス除害システム（１００）。
【請求項７】
請求項１記載のガス除害装置（１）を用いた亜酸化窒素を含有するガスの処理方法であり、
前記第１の反応器（４）に前記ガスを導入するガス導入ステップと、
前記第１の反応器（４）に導入された前記還元剤と前記ガスとを混合し、前記ガスを還元する還元ステップと、
前記第２の反応器（５）に、前記還元ステップ実行後の前記ガスと余剰の前記還元剤とを導入し、前記第２の反応器（５）に導入された酸素と余剰の前記還元剤とを反応させる燃焼ステップと、
前記第２の反応器（５）から前記燃焼ステップ実行後の前記ガスを排出する排気ステップと、を含むことを特徴とするガスの処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス除害装置及びガス除害方法に関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
製造等の種々の工業的プロセスにおいて発生する排ガスには、人体へ悪影響を及ぼす虞のある成分を含むことがある。例えば、半導体製造工場では、成膜プロセスの酸化剤等としてＮ
２
Ｏを使用することがある。また、窒素化合物の燃焼等の高温処理によりサーマルＮＯｘが生成されることがある。特に、Ｎ
２
Ｏは温暖化係数の高い温室効果ガスであり、排出量を低減する必要がある。
排ガスの除害装置の１つとして、このような有害成分を熱分解する装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許７０２１７３０号公報
特開２００５－１２５２８５号公報
再表２００８／０９６４６６
特開２００８－２５３９０３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、窒素酸化物である亜酸化窒素（Ｎ
２
Ｏ）を加熱分解するには、高温で熱処理を行う必要がある。そのため、加熱分解を採用する除害装置は、一般に大電力を必要とし、除害装置の省エネルギー化が要望される。
従来の除害装置においても、省エネルギー化を可能とする除害装置は存在する。しかし、除害装置の使用者の多様な要望（例えばさらなる低温化等）に応じ、除害装置の使用条件の範囲をさらに拡大することが要望されている。
【０００５】
上記課題を鑑み、本発明は、省エネルギー化を実現することができ、使用者の選択の範囲を広げるために、使用条件の範囲を拡大することが可能なガス除害装置及びガス除害方法の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るガス除害装置（１）は、
第１の反応器（４）と第２の反応器（５）とを有し、
前記第１の反応器（４）は加熱壁（７）に囲まれた第１の反応空間（６）を有し、
前記第２の反応器（５）は前記加熱壁（７）を囲む第２の反応空間（１６）を有し、
前記第１の反応空間（６）の一端側から前記ガス及び還元剤が導入され、
前記第１の反応空間（６）の他端側は前記第２の反応空間（１６）と連通し、
前記第２の反応空間（１６）には酸素又は酸素を含むガスが導入される
ことを特徴とする。
【０００７】
このような構成のガス除害装置とすることで、還元剤を選択することにより、使用者の要望に対応し得る使用可能な条件の範囲を拡げることができる。また、第２の反応空間において還元剤と酸素とを反応させ、その燃焼熱を第１の反応空間での還元反応に利用することができ、省エネルギー化に寄与することができる。
【０００８】
また、本発明に係るガス除害装置（１）は、上記構成において、
前記第１の反応器（４）は前記第１の反応空間（６）内にガス流調整器（１３）を有してもよい。
【０００９】
このような構成のガス除害装置とすることで、第１の反応空間でのガスの還元反応を促進することができ、除害効率の向上に寄与することができる。
【００１０】
また、本発明に係るガス除害装置（１）は、上記構成において、
前記加熱壁（７）は直管形状を有し、
前記ガス流調整器（１３）は気流制御部（１５）を有し、
前記気流制御部（１５）の長手方向は、前記加熱壁（７）の長手方向平行になるように設置されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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