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公開番号2024061182
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-07
出願番号2022168956
出願日2022-10-21
発明の名称排ガス処理設備
出願人大陽日酸株式会社
代理人個人,個人
主分類B01D 53/68 20060101AFI20240425BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】長期安定稼働をし、フィルター交換寿命の延命が可能となる排ガス処理設備を提供する。
【解決手段】排ガスの有害成分を無害化処理する除害装置11,21と、該除害装置11,21から排出される排ガス中に含まれる粉体を分離するフィルターユニット31と、除害装置11,21からフィルターユニット31に至る排ガス配管L1とを備えた排ガス処理設備10において、除害装置11,21の出口部において、大気吸入弁12,22を備え、大気吸入弁12,22を開閉制御する制御部は、フィルターユニット31の上流側と下流側の差圧の上昇を検知したら、大気吸入弁12,22を閉じる方向に制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
排ガスの有害成分を無害化処理する除害装置と、該除害装置から排出される排ガス中に含まれる粉体を分離するフィルターユニットと、前記除害装置から前記フィルターユニットに至る排ガス配管とを備えた排ガス処理設備において、
前記除害装置の出口部において、大気吸入弁を備え、
前記大気吸入弁を開閉制御する制御部は、前記フィルターユニットの上流側と下流側の差圧の上昇を検知したら、前記大気吸入弁を閉じる方向に制御することを特徴とする排ガス処理設備。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
排ガスの有害成分を無害化処理する除害装置と、該除害装置から排出される排ガス中に含まれる粉体を分離するフィルターユニットと、前記除害装置から前記フィルターユニットに至る排ガス配管とを備えた排ガス処理設備において、
前記除害装置の出口部において、大気吸入弁を備え、
前記大気吸入弁を開閉制御する制御部は、前記除害装置に排ガスを導出する製造装置のガス使用信号を受信し、前記除害装置の無害化処理時において粉体を発生するガスを使用している信号でない場合に、前記大気吸入弁を閉じる方向に制御することを特徴とする排ガス処理設備。
【請求項３】
排ガスの有害成分を無害化処理する除害装置と、該除害装置から排出される排ガス中に含まれる粉体を分離するフィルターユニットと、前記除害装置から前記フィルターユニットに至る排ガス配管とを備えた排ガス処理設備において、
前記除害装置の出口部において、大気吸入弁を備え、
前記大気吸入弁を開閉制御する制御部は、前記除害装置の無害化処理時において粉体を発生する燃焼モードでないことを検知した場合に、前記大気吸入弁を閉じる方向に制御することを特徴とする排ガス処理設備。
【請求項４】
前記排ガス配管のフィルターユニットと連結している側と反対側の端部に、搬送速度を調節するために大気を導入する搬送速度調整用大気導入弁が設けられ、
前記制御部は、前記フィルターユニットの上流側と下流側の差圧の低下を検知したら、前記搬送速度調整用大気導入弁が開く方向に制御することを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項に記載の排ガス処理設備。
【請求項５】
前記除害装置は複数設けられていることを特徴とする請求項４記載の排ガス処理設備。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、排ガス処理設備に関し、詳しくは、半導体などの各種電子デバイス製造装置から排出される有害成分を含む排ガスの処理設備に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体などの各種電子デバイス製造装置において、各種のプロセスガスやクリーニングガスが利用されている。当該プロセスガス及びクリーニングガス（以下、排ガスという）は有害成分を含むため、ポンプを介して除害装置に送られ無害化処理され、無害化処理時に発生した粉体を分離除去してから、外部に排気するようにしている。
【０００３】
このような排ガス処理設備において、粉体を分離除去するフィルターユニットを複数設置し、使用するフィルターとメンテナンスするフィルターを切替えることで安定稼働を図るもの（例えば、特許文献１）や、除害装置からフィルターユニットへの排ガス配管上に粉体を堆積させないように、配管内周面にエポキシ樹脂の焼付塗装を施した金属製配管を採用したもの（例えば、特許文献２）が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－２１３１５号公報
特開２０１６－０１７６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示されるような排ガス処理設備のように、複数のフィルターユニットを設置しなくても、フィルターの閉塞（目詰まり）を防止し、フィルター交換寿命の延命が可能となる排ガス処理設備が求められている。
【０００６】
よって、本発明は、長期安定稼働をし、フィルター交換寿命の延命が可能となる排ガス処理設備を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の発明は、排ガスの有害成分を無害化処理する除害装置と、該除害装置から排出される排ガス中に含まれる粉体を分離するフィルターユニットと、前記除害装置から前記フィルターユニットに至る排ガス配管とを備えた排ガス処理設備において、前記除害装置の出口部において、大気吸入弁を備え、前記大気吸入弁を開閉制御する制御部は、前記フィルターユニットの上流側と下流側の差圧の上昇を検知したら、前記大気吸入弁を閉じる方向に制御することを特徴としている。
【０００８】
また、本発明の第２の発明は、排ガスの有害成分を無害化処理する除害装置と、該除害装置から排出される排ガス中に含まれる粉体を分離するフィルターユニットと、前記除害装置から前記フィルターユニットに至る排ガス配管とを備えた排ガス処理設備において、前記除害装置の出口部において、大気吸入弁を備え、前記大気吸入弁を開閉制御する制御部は、前記除害装置に排ガスを導出する製造装置のガス使用信号を受信し、前記除害装置の無害化処理時において粉体を発生するガスを使用している信号でない場合に、前記大気吸入弁を閉じる方向に制御することを特徴としている。
【０００９】
さらに、本発明の第３の発明は、排ガスの有害成分を無害化処理する除害装置と、該除害装置から排出される排ガス中に含まれる粉体を分離するフィルターユニットと、前記除害装置から前記フィルターユニットに至る排ガス配管とを備えた排ガス処理設備において、前記除害装置の出口部において、大気吸入弁を備え、前記大気吸入弁を開閉制御する制御部は、前記除害装置の無害化処理時において粉体を発生する燃焼モードでないことを検知した場合に、前記大気吸入弁を閉じる方向に制御することを特徴としている。
【００１０】
また、前記排ガス配管のフィルターユニットと連結している側と反対側の端部に、搬送速度を調節するために大気を導入する搬送速度調整用大気導入弁が設けられ、前記制御部は、前記フィルターユニットの上流側と下流側の差圧の低下を検知したら、前記搬送速度調整用大気導入弁が開く方向に制御することを特徴としており、さらに、前記除害装置は複数設けられていてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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