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公開番号2024047964
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-08
出願番号2022153755
出願日2022-09-27
発明の名称試料保持具
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240401BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】試料保持面の変形を低減しつつ高温環境下での使用に耐え得る試料保持具を提供する。
【解決手段】実施形態の一態様による試料保持具は、セラミック体と、耐熱部材と、接合材と、冷却部材とを備える。セラミック体、耐熱部材、接合材および冷却部材は、セラミック体から耐熱部材、接合材および冷却部材の順に位置する。セラミック体は、試料保持面である第1面と第1面と反対に位置する第2面とを有し、且つ、内部に第1電極および第2電極を有する。第1面、第1電極、第2電極および第2面は、第1面から第1電極、第2電極および第2面の順に位置する。耐熱部材は、セラミック体よりも熱伝導率が小さい。耐熱部材と冷却部材とは、接合材によって固定される。耐熱部材は、第2電極によりセラミック体に吸着される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
セラミック体と、
耐熱部材と、
接合材と、
冷却部材と、を備え、
前記セラミック体、前記耐熱部材、前記接合材および前記冷却部材は、前記セラミック体から前記耐熱部材、前記接合材および前記冷却部材の順に位置し、
前記セラミック体は、試料保持面である第１面と該第１面と反対に位置する第２面とを有し、且つ、内部に第１電極および第２電極を有し、
前記第１面、前記第１電極、前記第２電極および前記第２面は、前記第１面から前記第１電極、前記第２電極および前記第２面の順に位置し、
前記耐熱部材は、前記セラミック体よりも熱伝導率が小さく、
前記耐熱部材と前記冷却部材とは、前記接合材によって固定され、
前記耐熱部材は、前記第２電極により前記セラミック体に吸着される、試料保持具。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
前記耐熱部材は、絶縁体である、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
前記耐熱部材は、少なくとも前記第２面と対向する面に導電性膜を有する、請求項２に記載の試料保持具。
【請求項４】
前記耐熱部材は、少なくとも前記第２面と対向する面に、前記耐熱部材よりも硬度が高い高硬度膜を有する、請求項２に記載の試料保持具。
【請求項５】
前記耐熱部材は、少なくとも前記第２面と対向する面に、前記耐熱部材よりも摩擦係数が小さい低摩擦膜を有する、請求項２に記載の試料保持具。
【請求項６】
前記耐熱部材は、前記第２面と対向する面に、前記第２面と接触する複数の凸部を有する、請求項１～５のいずれか一つに記載の試料保持具。
【請求項７】
前記セラミック体は、前記第２面に、前記耐熱部材と接触する複数の凸部を有する、請求項１～５のいずれか一つに記載の試料保持具。
【請求項８】
前記セラミック体は、内部に第３電極と内部流路とを有し、
前記第１面、前記第１電極、前記第２電極、前記第２面、前記第３電極および前記内部流路は、前記第１面から前記第１電極、前記第３電極、前記内部流路、前記第２電極および前記第２面の順に位置する、請求項１～５のいずれか一つに記載の試料保持具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、試料保持具に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
プラズマ処理される半導体ウエハなどの試料を保持する試料保持具がある。かかる試料保持具は、試料保持面を有するセラミック体と金属製の冷却部材とを樹脂製接着剤により接合して構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１５２１３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
実施形態の一態様は、試料保持面の変形を低減しつつ高温環境下での使用に耐え得る試料保持具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の一態様による試料保持具は、セラミック体と、耐熱部材と、接合材と、冷却部材とを備える。セラミック体、耐熱部材、接合材および冷却部材は、セラミック体から耐熱部材、接合材および冷却部材の順に位置する。セラミック体は、試料保持面である第１面と第１面と反対に位置する第２面とを有し、且つ、内部に第１電極および第２電極を有する。第１面、第１電極、第２電極および第２面は、第１面から第１電極、第２電極および第２面の順に位置する。耐熱部材は、セラミック体よりも熱伝導率が小さい。耐熱部材と冷却部材とは、接合材によって固定される。耐熱部材は、第２電極によりセラミック体に吸着される。
【発明の効果】
【０００６】
実施形態の一態様によれば、試料保持面の変形を低減しつつ高温環境下での使用に耐え得る試料保持具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、第１実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す斜視図である。
図２は、第１実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
図３は、第１実施形態に係る第１電極の構成の一例を示す模式的な断面図である。
図４は、第１実施形態に係る第２電極の構成の一例を示す模式的な断面図である。
図５は、第２実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
図６は、第３実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
図７は、第４実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
図８は、第５実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
図９は、第６実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
図１０は、第６実施形態に係る耐熱部材の構成を模式的に示す平面図である。
図１１は、図１０に示すＸＩ－ＸＩ線矢視における模式的な断面図である。
図１２は、第６実施形態に係る凸部の構成の一例を示す模式的な斜視図である。
図１３は、第６実施形態に係る凸部の構成の他の一例を示す模式的な斜視図である。
図１４は、第７実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
図１５は、第７実施形態に係るセラミック体の構成を模式的に示す底面図である。
図１６は、第８実施形態に係る試料保持具の構成を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する試料保持具の実施形態について説明する。なお、以下に示す実施形態により本開示が限定されるものではない。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合があることに留意する必要がある。さらに、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。
【０００９】
また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、たとえば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。
【００１０】
近年、試料保持具の使用温度は高くなる傾向にあり、耐熱温度が比較的低い樹脂製接着剤の使用が困難となりつつある。そこで、樹脂製接着剤を使用しない構造が提案されている。たとえば、特開２０１３－２３２６４２号公報には、セラミック体と冷却部材とを外周部において機械的に固定した試料保持具が開示されている。また、特開平９－１６２２７２号公報には、セラミック体の内部に電極を設けて、セラミック体と冷却部材とを静電吸着により固定した試料保持具が開示されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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