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公開番号2024041427
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-27
出願番号2022146246
出願日2022-09-14
発明の名称カラーフィルタ基板用修正装置
出願人TOPPANホールディングス株式会社
代理人
主分類G02B 5/20 20060101AFI20240319BHJP(光学)
要約【課題】従来のディスプレイ用カラーフィルタの修正装置は、レーザーで異物除去する際、飛散したデブリ(煤)をノズルで吸引する方式の為、吸引した煤を装置外に排出する配管が必要であった。配管はレーザー照射ユニットが照射位置に移動する際の動作に干渉しないよう、引き回しに考慮が必要である。
本発明は上記問題を解決するため、排気用配管を用いることなく、発生した煤を基板上に付着しないように回収する機能を備えたカラーフィルタ用修正装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ディスプレイ用カラーフィルタに存在する欠陥をレーザー照射により修正するカラーフィルタ修正装置に関し、少なくとも、カラーフィルタ基板の指定の位置にレーザー照射するレーザーアブレーションユニットと、煤を吸着する煤吸着電極と、煤吸着電極側に煤が付着するように、煤吸着電極との間に電位差を発生させる対向電極を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
カラーフィルタ基板用修正装置であって、
少なくとも、
カラーフィルタ基板を搬送する機構と、
異物検出機能と、
レーザー照射機構と、
煤吸着用電極と、
対向電極と、
着色レジスト塗布機構と、
を有し、
前記レーザー照射機構が
レーザー照射部と煤吸着用電極を備えることを特徴とするカラーフィルタ基板用修正装
置。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
前記煤吸着電極は、前記レーザー照射機構の周辺に配置され、
前記対向電極は前記カラーフィルタ基板を搬送する機構のカラーフィルタ基板を挟ん
で前記煤吸着電極と対向する位置に配置されたことを特徴とする請求項１に記載のカラ
ーフィルタ基板用修正装置。
【請求項３】
カラーフィルタ基板用修正装置であって、
少なくとも、
カラーフィルタ基板を搬送する機構と、
異物検出機能と、
レーザー照射機構と、
煤吸着用電極と、
対向電極と、
着色レジスト塗布機構と、
を有し、
前記レーザー照射機構が
レーザー照射部と煤吸着用電極と対向電極を備えることを特徴とするカラーフィルタ基
板用修正装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はディスプレイ用カラーフィルタの修正装置に関する。
続きを表示（約 900 文字）【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置用カラーフィルタ基板は、その製造工程において、３色以上の種類の着色レジストを透明基板上に形成する着色画素形成工程があり、この工程はフォトリソ方式、インクジェット方式が用いられている。
【０００３】
そして、上記いずれの方式で着色画素が形成された後、検査工程として画素ごとに着色画素となる部分に光学特性に影響をおよぼすような異物がないことを検査している。
【０００４】
異物が検出されたカラーフィルタ基板は規格外、出荷不可となるが、異物を取り除き、着色レジストの状態を正常の部分と同じくすれば良品として認められる場合がある。
【０００５】
このため、文献１のように異物検査機で異物が検出されたカラーフィルタ基板から、着色レジスト上の異物を除去し、異物を除去したあとの凹みを着色レジストで平たんに修復する修正装置がある。
【０００６】
このように、修正装置で修正することにより、出荷不可となるカラーフィルタ基板が修正により、製品とすることができるので、特に大型のカラーフィルタ基板の生産性向上には欠かせない装置となっている。
【０００７】
この修正工程では、異物の除去においては、レーザーを異物の検出された場所に照射して、異物の周辺の着色レジストを局所的に熱分解することで、異物を除去している。この時、熱分解した着色レジストはデブリと呼ばれる煤状なり、周辺の空間に放出される。
【０００８】
このデブリを放置するとカラーフィルタ基板に落下して付着する。
【０００９】
このデブリが付着したカラーフィルタ基板は洗浄してもデブリの除去は難しく、修正した基板がまた不良品となることがあった。
【００１０】
この煤状のデブリの回収方法として、レーザー照射した近辺にノズルを接近させて吸引して、配管を経由して装置外で回収する方法が用いられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
（【００１１】以降は省略されています）

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