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公開番号2024055353
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2022162198
出願日2022-10-07
発明の名称光学素子
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類G02B 5/04 20060101AFI20240411BHJP(光学)
要約【課題】光学素子の反射面に照射されたレーザー光線の損失、質の低下を招くことなく、該光学素子を比較的頻繁に交換しなくてはならず煩に堪えないと共に不経済であるという問題を解消することができる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子82は、第一の素子821と第二の素子822とを備え、第一の素子821に反射面821aが形成され、他方の素子が反射面821aに接合されて反射面821aが外気から遮断される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
レーザー光線を反射する光学素子であって、
該光学素子は、第一の素子と第二の素子とを備え、
該第一の素子、該第二の素子のいずれか一方の素子に反射面が形成され、他方の素子が該反射面に接合されて該反射面が外気から遮断された光学素子。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
該第一の素子及び該第二の素子はそれぞれ直角プリズムで構成され、一方の直角プリズムの底面に反射膜が被覆されて反射面とされ、他方の直角プリズムの該底面が該反射膜に接合された請求項１に記載の光学素子。
【請求項３】
該第一の素子は平板で構成され、該第二の素子は直角プリズムで構成され、該平板の面又は該直角プリズムの底面のいずれか一方の面に反射膜が被覆されて反射面とされ、他方の該直角プリズムの底面又は該平板の面が該反射膜に接合された請求項１に記載の光学素子。
【請求項４】
該第一の素子及び該第二の素子はそれぞれ平板で構成され、一方の平板の面に反射膜が被覆されて反射面とされ、他方の平板の面が該反射膜に接合された請求項１に記載の光学素子。
【請求項５】
該第一の素子及び該第二の素子はそれぞれ平板で構成され、一方の平板の面に反射膜が被覆されて反射面とされ、他方の平板の面が該反射膜の外周を囲む隔壁を介在させることにより形成され密閉された空間をもって接合された請求項１に記載の光学素子。
【請求項６】
該第一の素子は平板で構成され、該第二の素子は直角プリズムで構成され、該直角プリズムの底面は、全反射する反射面となっており、該平板が該反射面の外周を囲む隔壁により形成され密閉された空間をもって接合される請求項１に記載の光学素子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光線を反射する光学素子に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
レーザー加工装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハにレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とをＸ軸方向、Ｙ軸方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、から概ね構成されていて、ウエーハを高精度に加工することができる（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
また、レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振する発振器と、該発振器が発振したレーザー光線を該チャックテーブルに保持されたウエーハに集光する集光器と、該発振器と該集光器との間に配設されレーザー光線を該発振器から該集光器まで高精度に導く光学系と、から構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１５２３５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記したレーザー光線照射手段を構成する光学系は、集光レンズ、ビームスプリッター、ミラー等の光学素子から構成されており、レーザー光線の透過、反射によって劣化するため、定期的に、又は任意のタイミングで交換しなければならないという問題がある。
【０００７】
特に、基板に反射膜が被覆された光学素子（ミラー）は、該反射膜が被覆された反射面の表面で電荷が発生し周囲の塵やガスを吸着してしまうことから、該反射面に照射されたレーザー光線の損失、質の低下が生じると共に、該反射面に吸着された塵やガスにレーザー光線が照射されることで光学素子が破壊されるという問題があり、比較的頻繁に交換しなくてはならず煩に堪えないと共に、不経済であるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、光学素子の反射面に照射されたレーザー光線の損失、質の低下を招くことなく、該光学素子を比較的頻繁に交換しなくてはならず煩に堪えないと共に不経済であるという問題を解消することができる光学素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、レーザー光線を反射する光学素子であって、該光学素子は、第一の素子と第二の素子とを備え、該第一の素子、該第二の素子のいずれか一方の素子に反射面が形成され、他方の素子が該反射面に接合されて該反射面が外気から遮断された光学素子が提供される。
【００１０】
該第一の素子及び該第二の素子はそれぞれ直角プリズムで構成され、一方の直角プリズムの底面に反射膜が被覆されて反射面とされ、他方の直角プリズムの該底面が該反射膜に接合されていてもよい。また、該第一の素子は平板で構成され、該第二の素子は直角プリズムで構成され、該平板の面又は該直角プリズムの底面のいずれか一方の面に反射膜が被覆されて反射面とされ、他方の該直角プリズムの底面又は該平板の面が該反射膜に接合されていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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