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公開番号2024055038
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2022161623
出願日2022-10-06
発明の名称ビームスプリッタ及び光学装置
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 5/08 20060101AFI20240411BHJP(光学)
要約【課題】受光面を拡大させることができるビームスプリッタ及び光学装置を提供する。
【解決手段】本開示に係るビームスプリッタは、第1面21及び第1面21の反対側の第2面22を有するミラー20と、第2面22上に配置された支持部材30と、を備え、ミラー20は、第1面21から入射したEUV光の一部を反射するとともに、第1面21から入射したEUV光の他の一部を第2面22に透過させ、支持部材30は、ミラー20を支持し、第2面22に透過したEUV光の他の一部を透過させる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有するミラーと、
前記第２面上に配置された支持部材と、
を備え、
前記ミラーは、前記第１面から入射したＥＵＶ光の一部を反射するとともに、前記第１面から入射した前記ＥＵＶ光の他の一部を前記第２面に透過させ、
前記支持部材は、前記ミラーを支持し、前記第２面に透過した前記ＥＵＶ光の前記他の一部を透過させる、
ビームスプリッタ。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記ミラーは、多層膜を含み、
前記支持部材は、ペリクルを含み、
前記多層膜は、前記ペリクル上に積層された、
請求項１に記載のビームスプリッタ。
【請求項３】
前記ミラーは、多層膜を含み、
前記支持部材は、メッシュ状部材を含み、
前記多層膜は、前記メッシュ状部材に接着された、
請求項１に記載のビームスプリッタ。
【請求項４】
前記第１面は、φ２０ｍｍ～φ１００ｍｍの前記ＥＵＶ光を受光する、
請求項２または３に記載のビームスプリッタ。
【請求項５】
請求項１に記載のビームスプリッタを備え、
前記ＥＵＶ光を用いた露光用のマスクを検査する光学装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ビームスプリッタ及び光学装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
非特許文献１には、ＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｅｍＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）光のハーフミラーが記載されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
「ＥＵＶＨａｌｆｍｉｒｒｏｒ」、ＮＴＴＡｄｖａｎｃｅｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、［ｏｎｌｉｎｅ］、［令和４年９月２０日検索］、インターネット＜https://www.ntt-at.com/product/beamsplitter/＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
非特許文献１のハーフミラーは、１０ｍｍ×１０ｍｍの受光面を有している。非特許文献１のハーフミラーは、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層膜の周縁を枠状のホルダで支持している。よって、多層膜の受光面を大きくしようとすると、撓みの発生が予想される。大型の露光装置で用いられるような大面積の受光面を有するＥＵＶ光のビームスプリッタが所望されている。
【０００５】
本開示の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、ＥＵＶ光のビームスプリッタの受光面を拡大させることができるビームスプリッタ及び光学装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係るビームスプリッタは、第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有するミラーと、前記第２面上に配置された支持部材と、を備え、前記ミラーは、前記第１面から入射した前記ＥＵＶ光の一部を反射するとともに、前記第１面から入射した前記ＥＵＶ光の他の一部を前記第２面に透過させ、前記支持部材は、前記ミラーを支持し、前記第２面に透過した前記ＥＵＶ光の前記他の一部を透過させる。
【０００７】
上記ビームスプリッタでは、前記ミラーは、多層膜を含み、前記支持部材は、ペリクルを含み、前記多層膜は、前記ペリクル上に積層されてもよい。
【０００８】
上記ビームスプリッタでは、前記ミラーは、多層膜を含み、前記支持部材は、メッシュ状部材を含み、前記多層膜は、前記メッシュ状部材に接着されてもよい。
【０００９】
上記ビームスプリッタでは、前記第１面は、φ２０ｍｍ～φ１００ｍｍの前記ＥＵＶ光を受光してもよい。
【００１０】
本開示に係る光学装置は、上記記載のビームスプリッタを備え、前記ＥＵＶ光を用いた露光用のマスクを検査する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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