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公開番号2024047844
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-08
出願番号2022153567
出願日2022-09-27
発明の名称露光装置、および露光方法
出願人フェニックス電機株式会社
代理人個人
主分類G02F 1/1337 20060101AFI20240401BHJP(光学)
要約【課題】処理対象物の温度を適正に調節することができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置10を、露光用光を放射する光源装置12と、処理対象物Xが載置されるステージ14と、光源装置12およびステージ14を覆う露光用ケース16と、記処理対象物Xの温度を測定する温度センサ18と、温度センサ18からの温度信号に基づいて処理対象物Xを加熱あるいは冷却する温度調節装置20とで構成する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
露光用光を放射する光源装置と、
処理対象物が載置されるステージと、
前記ステージを覆う露光用ケースと、
前記処理対象物の温度を測定する温度センサと、
前記温度センサからの温度信号に基づいて前記処理対象物を加熱あるいは冷却する温度調節装置とを有する
露光装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記温度調節装置は、前記露光用ケース内に加熱あるいは冷却された気体を送るものである
請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記温度センサには、放射温度計が使用されている
請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記温度センサは、前記処理対象物の表面に規定された複数の露光エリアごとに温度を測定する
請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記温度調節装置は、前記光源装置を通過して前記気体を前記処理対象物に向けて送るようになっている
請求項２に記載の露光装置。
【請求項６】
前記温度調節装置は、前記ステージを通過して前記気体を前記処理対象物に向けて送るようになっている
請求項２に記載の露光装置。
【請求項７】
前記温度調節装置は、前記ステージを加熱あるいは冷却することで、前記処理対象物の温度を調節するようになっている
請求項１に記載の露光装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の露光装置を用いて行う処理対象物の露光方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや樹脂フィルム等の処理対象物に紫外線光等を照射して露光する露光装置に関する。
続きを表示（約 920 文字）【背景技術】
【０００２】
従前より、多種多様な種類の露光装置が開発されている。露光装置の開発に際してポイントとなる事項は、例えば、処理対象物に対する露光用光の均一性や、露光用光の波長の設定、さらには、処理対象物に対する露光用光の照射角度等、多岐に亘っている。
【０００３】
例えば、特許文献１に開示された露光装置では、液晶表示装置等に用いられる配向膜の製造にもちいられ、安定的に配向処理を行うことができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－１３４４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、多種多様な観点で露光装置が開発されてきているものの、露光開始前から露光完了までの処理対象物の温度を適正に調節することについては注意が払われていなかった。
【０００６】
処理対象物の温度が適切に管理できない場合、露光によって製造される成果物の品質が一定しない等、様々な問題が生じる。
【０００７】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理対象物の温度を適正に調節することができる露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一局面によれば、
露光用光を放射する光源装置と、
処理対象物が載置されるステージと、
前記ステージを覆う露光用ケースと、
前記処理対象物の温度を測定する温度センサと、
前記温度センサからの温度信号に基づいて前記処理対象物を加熱あるいは冷却する温度調節装置とを有する
露光装置が提供される。
【０００９】
好適には、
前記温度調節装置は、前記露光用ケース内に加熱あるいは冷却された気体を送るものである。
【００１０】
好適には、
前記温度センサには、放射温度計が使用されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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