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公開番号2024053954
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-16
出願番号2022160494
出願日2022-10-04
発明の名称光導波路及び配線基板
出願人イビデン株式会社
代理人弁理士法人朝日奈特許事務所
主分類G02B 6/122 20060101AFI20240409BHJP(光学)
要約【課題】光導波路を介した光結合の効率向上。
【解決手段】実施形態の光導波路5は、第1端部5a及び第1端部5aの反対側の第2端部5bを有していて第1端部5aと第2端部5bとの間で光を伝えるコア部51と、コア部51を囲むクラッド部52と、を含んでいる。クラッド部52は、凹部50を備える表面52aを有する第1クラッド521及び第1クラッド521上に積層されている第2クラッド522を含み、コア部51は、凹部50を充填する第1部分511と、第1部分511及び表面52aの上に形成されていて表面52a上を凹部50の外側へと延びる第2部分512とを有しており、第2部分512の厚さT21、T23が、第1端部5aと第2端部5bとの間で変化している。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
第１端部及び前記第１端部の反対側の第２端部を有していて前記第１端部と前記第２端部との間で光を伝えるコア部と、
前記コア部を囲むクラッド部と、
を含む光導波路であって、
前記クラッド部は、凹部を備える表面を有する第１クラッド及び前記第１クラッド上に積層されている第２クラッドを含み、
前記コア部は、前記凹部を充填する第１部分と、前記第１部分及び前記表面の上に形成されていて前記表面上を前記凹部の外側へと延びる第２部分とを有しており、
前記第２部分の厚さが、前記第１端部と前記第２端部との間で変化している。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
請求項１記載の光導波路であって、前記第１端部における前記第２部分の厚さは、前記第２端部における前記第２部分の厚さよりも大きい。
【請求項３】
請求項２記載の光導波路であって、前記第２端部は光の入射面を有し、前記第１端部は光の出射面を有する。
【請求項４】
請求項１記載の光導波路であって、前記第２部分は、前記凹部の対向する２つの外縁の両方から、前記表面上を前記凹部の外側へと延びている。
【請求項５】
請求項１記載の光導波路であって、前記第１部分と前記第２部分とが一体的に形成されている。
【請求項６】
請求項１記載の光導波路であって、前記コア部の前記第２部分が前記凹部から外側に延びている長さは、前記第１端部から前記第２端部まで略一定である。
【請求項７】
請求項１記載の光導波路であって、前記光導波路は有機物によって構成されている。
【請求項８】
絶縁層及び導体層を含む回路基板と、
前記回路基板の上に置かれている光導波路と、
を含む配線基板であって、
前記光導波路は、第１端部及び前記第１端部の反対側の第２端部を有していて前記第１端部と前記第２端部との間で光を伝えるコア部と、前記コア部を囲むクラッド部とを含み、
前記クラッド部は、凹部を備える表面を有する第１クラッド及び前記第１クラッド上に積層されている第２クラッドを含み、
前記コア部は、前記凹部を充填する第１部分と、前記第１部分及び前記表面の上に形成されていて前記表面上を前記凹部の外側へと延びる第２部分とを有しており、
前記第２部分の厚さが、前記第１端部と前記第２端部との間で変化している。
【請求項９】
請求項８記載の配線基板であって、
前記第１端部における前記第２部分の厚さは、前記第２端部における前記第２部分の厚さよりも大きく、
前記第１端部において、前記第１クラッドの前記表面、及び前記コア部の前記第２クラッド側の表面が露出している。
【請求項１０】
請求項９記載の配線基板であって、
前記回路基板は、前記コア部を伝播する光を発する又は受ける部品に覆われる部品領域を有し、
前記コア部の前記１端部は、平面視で前記部品領域と重なっている。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は光導波路及び配線基板に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、実装基板と、実装基板に搭載された光導波路と、光導波路に光学的に接続されている光インターポーザーとを含む光導波路接続体が開示されている。光導波路は、光が伝播するコア部及びコア部の側面に隣接する側面クラッド部を含むコア層を含んでいる。コア層の上面が光インターポーザーと対向することで、コア部と光インターポーザーの導光部とが光学的に結合している。
【０００３】
特許文献２には、実装基板と、実装基板に搭載された光導波路と、光導波路に光学的に接続されている光素子とを含む光導波路接続体が開示されている。光導波路は、光が伝播するコア部及びコア部の側面に隣接する側面クラッド部を含むコア層を含んでいて、ミラーを介して接合させている。コア層の上面が平坦化することで、コア部と光素子とが光学的に結合している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１４１９１０号公報
特開２０１７－１０２３１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示の光導波路では、側面クラッド部は、コア層の上面において、コア部よりも光インターポーザー側に突出している。すなわち、光インターポーザーに向けられるコア層の上面において、コア部は、側面クラッド部よりも、光インターポーザー側と反対方向に凹んでいる。そのため、光インターポーザーと光導波路とを互いに近接させても、コア部と光インターポーザーの導光部との間で高い光結合効率が得られないことがある。また、特許文献２に開示の光導波路では、光ファイバを接続したテーパー導波路にミラーを介して、光素子と接合させているが、コア部で所定の光伝送の効果が得られないことがある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光導波路は、第１端部及び前記第１端部の反対側の第２端部を有していて前記第１端部と前記第２端部との間で光を伝えるコア部と、前記コア部を囲むクラッド部と、を含んでいる。そして、前記クラッド部は、凹部を備える表面を有する第１クラッド及び前記第１クラッド上に積層されている第２クラッドを含み、前記コア部は、前記凹部を充填する第１部分と、前記第１部分及び前記表面の上に形成されていて前記表面上を前記凹部の外側へと延びる第２部分とを有しており、前記第２部分の厚さが、前記第１端部と前記第２端部との間で変化している。
【０００７】
本発明の配線基板は、絶縁層及び導体層を含む回路基板と、前記回路基板の上に置かれている光導波路と、を含んでいる。そして、前記光導波路は、第１端部及び前記第１端部の反対側の第２端部を有していて前記第１端部と前記第２端部との間で光を伝えるコア部と、前記コア部を囲むクラッド部とを含み、前記クラッド部は、凹部を備える表面を有する第１クラッド及び前記第１クラッド上に積層されている第２クラッドを含み、前記コア部は、前記凹部を充填する第１部分と、前記第１部分及び前記表面の上に形成されていて前記表面上を前記凹部の外側へと延びる第２部分とを有しており、前記第２部分の厚さが、前記第１端部と前記第２端部との間で変化している。
【０００８】
本発明の実施形態によれば、光導波路を介して、又は配線基板に備わる光導波路を介して光学的に接続される光学部品同士を、高い光結合効率で結合することができると推察される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の一実施形態の光導波路の一例を示す平面図。
図１の例の光導波路の正面図。
図１の例の光導波路のIII－III線での断面図。
図１の例の光導波路のIV－IV線での断面の部分拡大図。
図１の例の光導波路の第１端部側の側面の部分拡大図。
図１の例の光導波路の第２端部側の側面の部分拡大図。
図３の拡大図。
一実施形態の光導波路のコア部の変形例を示す断面図。
一実施形態の光導波路の第１変形例を示す平面図。
図８の例におけるコア部の変形例の第２端部側の側面の部分拡大図。
一実施形態の光導波路の第２変形例を示す断面図。
本発明の一実施形態の配線基板の一例を示す断面図。
図１１の配線基板の平面視での一例を示す平面図。
実施形態の光導波路の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の光導波路の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の光導波路の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の光導波路の製造工程の一例を示す平面図。
実施形態の光導波路の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の光導波路の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の配線基板の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の配線基板の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の配線基板の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の配線基板の製造工程の一例を示す断面図。
実施形態の配線基板の製造工程の一例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施形態の光導波路及び配線基板が図面を参照しながら説明される。以下の説明で参照される各図面では、開示される実施形態が理解され易いように特定の部分が拡大して描かれていることがあり、大きさや長さに関して、各構成要素が互いの間の正確な比率で描かれていない場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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