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公開番号2024039917
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-25
出願番号2022144653
出願日2022-09-12
発明の名称ボンベ付きガス供給装置
出願人住友電気工業株式会社
代理人弁理士法人信栄事務所
主分類F17C 13/02 20060101AFI20240315BHJP(ガスまたは液体の貯蔵または分配)
要約【課題】ボンベ内のガス使用量を最大化することができるボンベ付きガス供給装置を提供する。
【解決手段】ボンベ付きガス供給装置1は、液化ガスが充填された第一ボンベ11と、液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベ12と、第一ボンベ11の重量を測定する第一重量計21と、第二ボンベ12の重量を測定する第二重量計22と、第一ボンベ11と第二ボンベ12のうち少なくとも一つを調温する調温装置100と、第一ボンベ11から蒸発したガスを取り出す第一配管31と、第二ボンベ12から蒸発したガスを取り出す第二配管32と、第一配管31のガスと第二配管32のガスとを合流させてガスを供給する供給配管50と、第一重量計21の測定値と第二重量計22の測定値を基に、調温装置100を制御する制御装置60と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、
を備える、ボンベ付きガス供給装置。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
前記調温装置はファンを有する、請求項１に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項３】
前記調温装置が、ボンベの外周に水を循環させて調温する調温ジャケットを有する、請求項１に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項４】
前記調温装置は前記第一ボンベと前記第二ボンベを格納する、ボンベ庫を有し、
前記ボンベ庫は、前記第一ボンベに隣接する第一換気口と前記第二ボンベに隣接する第二換気口を有し、
前記第一換気口は通過する空気の量を調節する第一ダンパーを有し、
前記第二換気口は通過する空気の量を調節する第二ダンパーを有し、
前記制御装置は前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記第一換気口の前記第一ダンパーと前記第二換気口の前記第二ダンパーを制御する、請求項１に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項５】
前記第一ボンベと前記第二ボンベにそれぞれ前記調温装置を備える、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項６】
前記液化ガスが塩素ガスまたは四フッ化ケイ素ガスである請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項７】
前記第一配管と前記第二配管はそれぞれ開閉弁を備え、前記制御装置により前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に前記開閉弁の開閉を行う、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。
【請求項８】
前記第一ボンベと前記第二ボンベを含むボンベの数がＮ個（Ｎは３以上の自然数）であり、
前記第一重量計と前記第二重量計を含む、前記ボンベそれぞれの重量を測定する重量計の数が前記Ｎ個であり、
前記調温装置は前記Ｎ－１個のボンベまたは前記Ｎ個のボンベを調温し、
前記第一配管と前記第二配管を含む、前記Ｎ個のボンベそれぞれから蒸発したガスを取り出す配管の数がＮ本であり、
前記供給配管は前記Ｎ個の配管のガスを合流させてガスを供給し
前記制御装置は前記Ｎ個の重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のボンベ付きガス供給装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ボンベ付きガス供給装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のボンベ付きガス供給装置においては、複数のボンベを用いてガスを供給する例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平４－３４３００号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載のボンベ付きガス供給装置では、一方のボンベ内のガスが消耗したときに、これを検知して自動的にガス供給ラインを切り替えて他方のボンベを使用し、その間に消耗したボンベを新しいボンベに交換する。このような構成において例えば一方のボンベを２本のボンベとして、ガスを並列供給する場合、２本のうちの一方のボンベに多くガスが残った状態でボンベを交換することがあり、ボンベ内のガスを使いきれないという問題があった。
【０００５】
本開示は、ガスを複数のボンベによって並列供給する際でも、ボンベ内のガス使用量を最大化することができるボンベ付きガス供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係るボンベ付きガス供給装置は、
液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
上記によれば、ガスを複数のボンベによって並列供給する際でも、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、本開示に係るボンベ付きガス供給装置の一例を示す図である。
図２は、図１のボンベ付きガス供給装置の作動状態を表すフローチャートである。
図３は、本開示に係るボンベ付きガス供給装置の別の例を示す図である。
図４は、本開示に係るボンベ付きガス供給装置の別の例を示す図である。
図５は、本開示に係るボンベ付きガス供給装置の別の例を示す図である。
図６は、本開示に係るボンベ付きガス供給装置の別の例を示す図である。
図７は、本開示に係るボンベ付きガス供給装置の別の例を示す図である。
図８は、本開示に係るボンベ付きガス供給装置の別の作動状態を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施形態を列記して説明する。
本開示の一態様に係るボンベ付きガス供給装置は、
（１）液化ガスが充填された第一ボンベと、
前記液化ガスと同じ液化ガスが充填された第二ボンベと、
前記第一ボンベの重量を測定する第一重量計と、
前記第二ボンベの重量を測定する第二重量計と、
前記第一ボンベと前記第二ボンベのうち少なくとも一つを調温する調温装置と、
前記第一ボンベから蒸発したガスを取り出す第一配管と、
前記第二ボンベから蒸発したガスを取り出す第二配管と、
前記第一配管のガスと前記第二配管のガスとを合流させてガスを供給する供給配管と、
前記第一重量計の測定値と前記第二重量計の測定値を基に、前記調温装置を制御する制御装置と、を備える。
この構成によれば、第一ボンベと第二ボンベのガス残量に差ができてしまった場合においても、少なくとも一つのボンベを調温することによってガスの気化量を調整することができる。これにより、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
【００１０】
（２）上記（１）において、前記調温装置はファンを有していてもよい。
この構成によれば、ファンによってボンベの調温を行うので、ボンベ間のガス残量の差を小さくすることができ、ボンベ内のガス使用量を最大化することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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