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公開番号2023176814
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-12-13
出願番号2022089303
出願日2022-05-31
発明の名称集積化ガスシステム用加熱器
出願人ワッティー株式会社
代理人個人
主分類F17D 1/02 20060101AFI20231206BHJP(ガスまたは液体の貯蔵または分配)
要約【課題】集積化ガスシステムにおける新規な加熱方式を提供する。
【解決手段】集積化ガスシステム用の加熱器100であって、ガス導入部111及びガス導出部112を備えたベース部110と、ガス導入部111からガス導出部112に到るガス流路を形成する流路形成部130と、前記ガス流路を流れるガスを加熱するためのセラミックヒータ151とを備え、流路形成部130は、内部に複数の小径流路141が形成されたヒートブロック部140を備え、セラミックヒータ151は、ヒートブロック部140を加熱することで、複数の小径流路141を流れるガスを加熱する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
集積化ガスシステム用の加熱器であって、
ガス導入部及びガス導出部を備えたベース部と、
前記ガス導入部から前記ガス導出部に到るガス流路を形成する流路形成部と、
前記ガス流路を流れるガスを加熱するための加熱部と
を備え、
前記流路形成部は、内部に複数の小径流路が形成されたヒートブロック部を備え、
前記加熱部は、前記ヒートブロック部を加熱することで、前記複数の小径流路を流れるガスを加熱する
ことを特徴とする加熱器。
続きを表示（約 490 文字）【請求項２】
前記ヒートブロック部は、上流側に、前記ガス導入部からの流路を、前記複数の小径流路に分岐させるための流路分岐部を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の加熱器。
【請求項３】
前記ヒートブロック部は、下流側に、前記複数の小径流路を合流させるための流路合流部を備える
ことを特徴とする請求項２に記載の加熱器。
【請求項４】
前記流路合流部の大きさは、前記流路分岐部の大きさより大きい
ことを特徴とする請求項３に記載の加熱器。
【請求項５】
前記ヒートブロック部は、前記ガス流路内において、前記ガス導出部側に配置されている
ことを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の加熱器。
【請求項６】
前記ヒートブロック部は、下流側の端部の断面積が小さくなるように形成されている
ことを特徴とする請求項５に記載の加熱器。
【請求項７】
前記加熱部は、セラミックヒータによって構成されている
ことを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の加熱器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程等におけるガス供給系に使用される集積化ガスシステムに関し、特に、集積化ガスシステムにおける加熱方式に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程においては、パージガス、キャリヤガス、特殊材料ガス等の各種ガスが使用されており、半導体製造現場においては、このような各種ガスを供給等するために各種ガス供給系が使用されている。このようなガス供給系のひとつとして、集積化ガスシステムが知られている。
【０００３】
集積化ガスシステムは、板金上に、ベースブロック（ブロック化された配管）を配置し、隣り合うベースブロック間を架橋するようにバルブやＭＦＣ（マスフローコントローラ）等の上部機器を配置することで、ガス流路を形成するものであり、従来の配管及び継手によるガス供給系と比較して、小型化が図れると共に、メインテナンス性を向上させることが可能となっている。
【０００４】
従来、このような集積化ガスシステムにおけるガスの加熱は、面状ヒータによる間接加熱方式で行われていたが、面状ヒータによる間接加熱方式では、一般に、面状ヒータの取り付けにより設置面積が増大してしまい、組み立て時やメインテナンス時の面状ヒータの着脱にも手間がかかることになっていた。また、面状ヒータによる間接加熱方式では、出口側のガス温度を精度よく制御するのが難しく、高温（例えば、２００℃程度）に加熱することも難しかった。
【０００５】
なお、特開２００５－１４９０７５号公報には、下段に直列状に配置されて流体通路を夫々形成した複数のブロック継手と、上段に直列状に配置されて各ブロック継手に連通状に夫々接続された複数の流体制御機器とを具備し、各ブロック継手の流体通路と各流体制御機器とで流体制御ラインを形成する流体制御装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００５－１４９０７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、集積化ガスシステムにおける新規な加熱方式を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による加熱器は、集積化ガスシステム用の加熱器であって、ガス導入部及びガス導出部を備えたベース部と、前記ガス導入部から前記ガス導出部に到るガス流路を形成する流路形成部と、前記ガス流路を流れるガスを加熱するための加熱部とを備え、前記流路形成部は、内部に複数の小径流路が形成されたヒートブロック部を備え、前記加熱部は、前記ヒートブロック部を加熱することで、前記複数の小径流路を流れるガスを加熱することを特徴とする。
【０００９】
この場合において、前記ヒートブロック部は、上流側に、前記ガス導入部からの流路を、前記複数の小径流路に分岐させるための流路分岐部を備えるようにしてもよい。
【００１０】
また、以上の場合において、前記ヒートブロック部は、下流側に、前記複数の小径流路を合流させるための流路合流部を備えるようにしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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