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公開番号2024039296
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-22
出願番号2022143744
出願日2022-09-09
発明の名称静電気除去装置
出願人株式会社ベッセル工業
代理人安田岡本弁理士法人
主分類H05F 3/04 20060101AFI20240314BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】ブロワー型の静電気除去装置と同等の広範囲な静電気除去可能エリアを有しながら、回転体を持つファンを使用せず高度なクリーンルーム内でも使用可能な静電気除去装置を提供する。
【解決手段】本発明の静電気除去装置100は、ケーシング1の前面に平面状に配備された複数のイオン吹き出し口5を有し、イオン吹き出し口5から、イオンを含むクリーンドライエアーを吹き出し可能に構成され、イオン吹き出し口5の内部には、イオン発生のための高電圧が印加されるとともに、先端から前記クリーンドライエアーを吹き出し可能とされた放電電極10が配備されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ケーシングの前面に平面状に配備された複数のイオン吹き出し口を有し、前記イオン吹き出し口から、イオンを含むクリーンドライエアーを吹き出し可能に構成された
ことを特徴とする静電気除去装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記イオン吹き出し口の内部には、放電電極が配備され、
前記放電電極は、イオン発生のための高電圧が印加されるとともに、先端から前記クリーンドライエアーを吹き出し可能に構成され、前記放電電極の電界強度が高い部位に塵埃が堆積するのを防ぐべく、当該部位に前記クリーンドライエアーが吹き付けられる構成とされている
ことを特徴とする請求項１に記載の静電気除去装置。
【請求項３】
前記ケーシング内に、イオンを生成するための高電圧電源を搭載するとともに、エアーを吹き出すための回転体を不搭載としていることを特徴とする請求項１又は２に記載の静電気除去装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電気帯電の影響による生産障害などを解決するために用いる静電気除去装置に関し、特に、広領域にイオンを含むエアーを吹き付けることで広範囲に存在する静電気を除去することができる広域ノズル型の静電気除去装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体、プラスチック、ゴム、紙製品、繊維製品など多くの生産現場では静電気帯電の影響によって生産障害が発生しており、その対策として静電気除去装置が数多く利用されている。広範囲に静電気を除去するためには、回転ファンを内蔵したブロワー型の静電気除去装置が用いられている。また、静電気によって付着した塵埃を除去するためには、ノズル型静電気除去装置が用いられている。
【０００３】
ブロワー型の静電気除去装置には、軸流ファン、クロスフローファンおよびシロッコファン等が利用され、内部に設置された放電電極に高電圧を印加して除電に必要なイオンを生成し、ファンの風を利用して広範囲にイオンを送出することによって、立体的な対象物の静電気を中和する方法がとられている。一方で、ノズル型の静電気除去装置は、内部に高電圧が印加される放電電極が内蔵され、放電電極により発生したイオンを圧搾エアーによって送出し、除電を行うとともに付着塵埃を吹き飛ばすものとなっている。ノズル型の静電気除去装置に近い形の静電気除去装置としては、特許文献１に開示されたものがある。
【０００４】
特許文献１は、放電電極、接地電極および気体噴出機構を備え、放電電極と接地電極との間のコロナ放電により発生したイオンを気体噴出機構から噴出される気体により除電対象物に吹き付けて、除電対象物の除電を行うようになされたイオン化除電装置において、放電電極が電気良導体で中空状に形成され、放電電極の内部に、先端部に気体噴出口を有する気体噴出機構の気体通路が形成されており、放電電極の先端部に鋭利な部分が形成されていることを特徴とする気体噴出機構を備えたイオン化除電装置（静電気除去装置）を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第２９９７８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述したブロワー型の静電気除去装置にはファン等の回転体が内蔵されているため、その回転体から発生する塵埃のために、高度なクリーンルーム内では使用できないなどの問題があった。特許文献１に開示されたようなノズル型の静電気除去装置は、単体でイオン吹き出し口が小さくポイント的な使用に限定され、対象物の除電・除塵の際には、ワーク自体または静電気除去装置のイオン吹き出し口を動かして、対象物全体にイオンを含む圧搾エアーを吹き付ける必要があった。
【０００７】
また、イオンを発生するための放電電極には、クリーンルーム内であっても塵埃が堆積する。放電電極に塵埃が堆積すると除電性能に悪影響を与えるだけでなく、電源あるいは、供給エアーのＯＮ／ＯＦＦの際に堆積した塵埃がまとまって飛散し、クリーン環境の汚染の原因となっていた。
【０００８】
特許文献１の技術では、放電電極の外部に絶縁チューブ等の絶縁層を設けることで塵埃の堆積を防ぐものとなっているが、放電電極の先端を露出すると更にイオンを生成する効率がよいと思われる。とはいえ、放電電極の先端を露出させると、放電電極の外周部の鋭利に尖らせた電界強度が高い部分には、若干ではあるものの塵埃が堆積する虞が否めない。
【０００９】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、圧搾されたＣＤＡ（クリーンドライエアー）のみを使用して複数本の放電電極からイオンを含むＣＤＡを吹き出し、広範囲をカバーできる静電気除去装置を提供することを目的とする。この静電気除去装置は、ファンを使用し
ないものであるため、塵埃発生の問題がなくクリーンルームなどでも使用可能であり、複数のエアー吹き出し口を持つことで強いエアーを広範囲に同時に吹き出すことを可能にし、且つ放電電極への塵埃堆積を防止する構造を持ったものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、本発明においては以下の技術的手段を講じた。
（【００１１】以降は省略されています）

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