特許ウォッチ

公開番号2024034097
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-13
出願番号2022138116
出願日2022-08-31
発明の名称検査装置
出願人AGC株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類G01N 21/894 20060101AFI20240306BHJP(測定;試験)
要約【課題】ガラス板に用いられる介装材に含まれる異物において、ガラス板の表面に汚染や傷などの欠陥を生じさせる異物を精度よく推定できる検査装置を提供する。
【解決手段】介装材1の表、または表及び裏の表面状態の情報からなる第1情報を取得する第1検査部11と、第1検査部11で第1情報が取得された介装材1とガラス板3とを当接させる押圧部13と、介装材1の表と当接させたガラス板3の主面の表面状態の情報からなる第2情報を取得する第2検査部19と、第1検査部11で取得された第1情報における介装材1に存在する異物の位置情報である第1位置情報と、第2検査部19で取得された第2情報におけるガラス板3の主面に存在する欠陥の位置情報である第2位置情報と、に基づいて、介装材1に存在する異物のうちガラス板3の主面に欠陥を生じさせた異物を推定する判定部23と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
積層させるガラス板同士の間に介在される介装材を検査する検査装置であって、
前記介装材の表、または表及び裏の表面状態の情報からなる第１情報を取得する第１検査部と、
前記第１検査部で前記第１情報が取得された前記介装材と前記ガラス板とを当接させる押圧部と、
前記介装材の表と当接させた前記ガラス板の主面の表面状態の情報からなる第２情報を取得する第２検査部と、
前記第１検査部で取得された前記第１情報における前記介装材に存在する異物の位置情報である第１位置情報と、前記第２検査部で取得された前記第２情報における前記ガラス板の主面に存在する欠陥の位置情報である第２位置情報と、に基づいて、前記介装材に存在する前記異物のうち前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物を推定する判定部と、
を備える、
検査装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記判定部は、さらに、前記第１情報における異物の大きさと前記第２情報における欠陥の大きさ、及び前記第１情報における異物の形状と前記第２情報における異物の形状、の少なくとも一方に基づいて前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物を推定する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記判定部は、
前記第２位置情報に基づいて、前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物が存在し得る欠陥原因異物の位置情報を算出し、
前記第１位置情報のうちの前記欠陥原因異物の位置情報と一致した異物を前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物と推定する、
請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記押圧部によって前記介装材と前記ガラス板とを当接させる前に、前記ガラス板の主面の表面状態の情報からなる第３情報を取得する第３検査部をさらに備え、
前記判定部は、
前記第３検査部で取得された前記第３情報における前記ガラス板の主面に存在する欠陥の位置情報である第３位置情報を求め、
前記第２位置情報から前記第３位置情報と一致する位置情報を除いた第５位置情報を算出し、
前記第１位置情報と、前記第５位置情報と、に基づいて、前記介装材に存在する異物のうち前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物を推定する、
請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記判定部は、
前記第５位置情報に基づいて、前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物が存在し得る欠陥原因異物の位置情報を算出し、
前記第１位置情報のうちの前記欠陥原因異物の位置情報と一致した異物を前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物と推定する、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記介装材は、ロール状に巻回された介装材ロールから送り出される長尺介装材である、
請求項１～５のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記介装材と当接した前記ガラス板の主面を、前記第２検査部で検査する前に洗浄する洗浄部をさらに備える、
請求項１～５のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記ガラス板と当接した後の前記介装材の表面状態の情報からなる第４情報を取得する第４検査部をさらに備え、
前記判定部は、
前記第１位置情報と、前記第４情報における前記介装材に存在する異物の位置情報である第４位置情報と、に基づいて、前記ガラス板の主面に付着した異物を推定する、
請求項１～５のいずれか一項に記載の検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、介装材に含まれる異物のうち、ガラス板の表面に傷や汚染を発生させる異物を推定できる検査装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）やＯＬＥＤ（Organic Light-Emitting Diode）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）用に使用されるガラス板は、輸送効率を高める目的で、複数枚重ねた状態で輸送される。このとき、ガラス板同士の間に、ガラス板用合紙（以下、「合紙」ともいう）、樹脂シートあるいは樹脂クッションのような介装材を介在させ、輸送中にガラス板の表面に傷等がつくことを防止している。
【０００３】
しかし、ガラス板は、その表面が介装材に圧接された状態で積層されるため、ガラス板の表面に、介装材に存在する粘着性の異物が付着したり、異物によって傷が付くおそれがある。そのため、ガラス板の表面に異物が付着しにくく、ガラス板の主面に生じる傷を抑制できる介装材が求められる。
【０００４】
特に、ＦＰＤ用のガラス板（ガラス基板）は、表面に微細な電気配線、電極、電気回路、隔壁等の素子が形成されるので、表面に僅かな傷や汚染があっても、断線等の不良の原因となる。そのため、これらの用途に用いられるガラス板には、高い表面の清浄性が要求される。
【０００５】
このようなガラス板同士の間に介在される用途で使用される介装材として、ガラス板の割れ又はガラス板の表面への傷つき、ガラス板の表面への汚染を抑える合紙がいくつか提案されている。例えば、特許文献１には、表面に存在するモース硬度４以上の異物が所定個数未満であるガラス合紙が開示されている。また、特許文献２には、粘着ピッチ異物の含有密度が０．０７個／ｍ
２
以下の条件を満たす合紙が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第６１２７３１９号公報
特許第４９２４９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、介装材において、例えば、モース硬度４以上の異物が全てガラス板に対して傷つきを発生させるような問題となるわけではなく、モース硬度４以上の異物であっても問題とならない異物も存在する。つまり、どのような異物によってガラス板に傷が生じたりガラス板を汚染するのかは、解明できていないのが実情であった。そのため、介装材に存在する異物の個数や介装材の平滑性といった介装材の性状と、介装材を用いた場合のガラス板の傷や汚染情報とを対比してから、好ましい介装材の性状を予想して、介装材の開発していた。
【０００８】
それ故、ガラス板の表面の傷つきやガラス板の表面の汚染を完全に防ぐことができるわけではなく、場合によっては何らかの原因によってガラス板の表面に傷や汚染が生じてしまうことがあるのが実状である。このため、ガラス板の表面に傷や汚染を生じさせる介装材の異物を精度よく推定することが大きな課題となっている。
【０００９】
そこで本発明は、ガラス板に用いられる介装材に含まれる異物において、ガラス板の表面に汚染や傷などの欠陥を生じさせる異物を精度よく推定できる検査装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は下記構成からなる。
積層させるガラス板同士の間に介在される介装材を検査する検査装置であって、
前記介装材の表、または表及び裏の表面状態の情報からなる第１情報を取得する第１検査部と、
前記第１検査部で前記第１情報が取得された前記介装材と前記ガラス板とを当接させる押圧部と、
前記介装材の表と当接させた前記ガラス板の主面の表面状態の情報からなる第２情報を取得する第２検査部と、
前記第１検査部で取得された前記第１情報における前記介装材に存在する異物の位置情報である第１位置情報と、前記第２検査部で取得された前記第２情報における前記ガラス板の主面に存在する欠陥の位置情報である第２位置情報と、に基づいて、前記介装材に存在する前記異物のうち前記ガラス板の主面に欠陥を生じさせた異物を推定する判定部と、
を備える、
検査装置。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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