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公開番号2024018553
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-02-08
出願番号2022121962
出願日2022-07-29
発明の名称真空ポンプシステム
出願人株式会社島津製作所
代理人個人,個人
主分類F04B 37/16 20060101AFI20240201BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】装置コンピュータ及びバルブの制御装置と、真空ポンプの制御装置とを通信可能とする。
【解決手段】真空ポンプシステム100は、真空ポンプ1と、バルブ2と、装置コンピュータ3と、を備える。真空ポンプ1は、排気対象装置を真空引きし、ポンプ制御装置11を有する。バルブ2は、弁の開度を制御することで排気対象装置CHの内部の圧力を制御し、バルブ制御装置21を有する。装置コンピュータ3は、バルブ2に接続される。バルブ制御装置21は、第1プロトコル又は第2プロトコルのいずれかを用いて、装置コンピュータ3と通信可能である。ポンプ制御装置11は、第2プロトコルと互換性を有する第3プロトコルを用いて通信可能である。バルブ制御装置21は、通信に用いるプロトコルを第2プロトコルとし、第2プロトコルを用いて装置コンピュータ3及びポンプ制御装置11と通信を行う。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
排気対象装置を真空引きする真空ポンプと、
前記排気対象装置と前記真空ポンプの間に配置され、弁の開度を制御することで前記排気対象装置の内部の圧力を制御するバルブと、
前記バルブに接続された装置コンピュータと、
を備える真空ポンプシステムであって、
前記バルブは、第１プロトコル又は前記第１プロトコルとは異なる第２プロトコルのいずれかを用いて前記装置コンピュータと通信可能なバルブ制御装置を有し、
前記真空ポンプは、前記バルブ制御装置に接続され、前記第２プロトコルと互換性を有する第３プロトコルを用いて他の装置と通信可能なポンプ制御装置を有し、
前記バルブ制御装置と前記ポンプ制御装置との間で通信を行う場合、前記バルブ制御装置は、通信に用いるプロトコルを前記第２プロトコルとし、前記第２プロトコルを用いて前記装置コンピュータ及び前記ポンプ制御装置と通信を行う、
真空ポンプシステム。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記ポンプ制御装置は、前記真空ポンプに関するデータを記憶し、
前記バルブ制御装置は、前記第２プロトコルを用いて前記ポンプ制御装置から前記真空ポンプに関するデータを受信する、
請求項１に記載の真空ポンプシステム。
【請求項３】
前記バルブ制御装置は、
前記ポンプ制御装置から受信した前記真空ポンプに関するデータを、前記第２プロトコルを用いて前記装置コンピュータに送信する、
請求項２に記載の真空ポンプシステム。
【請求項４】
前記真空ポンプに関するデータは、前記真空ポンプのロータの回転速度と、前記ロータを回転するモータに供給された電流値と、を含む、請求項２に記載の真空ポンプシステム。
【請求項５】
前記バルブ制御装置は、バルブに関するデータを記憶し、
前記バルブ制御装置は、
前記ポンプ制御装置から受信した前記真空ポンプに関するデータと、前記バルブに関するデータとを、前記第２プロトコルを用いて前記装置コンピュータに送信する、
請求項２に記載の真空ポンプシステム。
【請求項６】
前記装置コンピュータは、前記第２プロトコルを用いて通信を行った後に、前記第１プロトコルを用いて通信可能となる、請求項１に記載の真空ポンプシステム。
【請求項７】
前記バルブに関するデータは、前記排気対象装置の内部の圧力と、前記排気対象装置の内部の目標圧力と、前記弁の開度と、前記真空ポンプにより前記排気対象装置の内部を真空引きするときの推定流量と、を含む、請求項５に記載の真空ポンプシステム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプシステムに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
真空ポンプには、固定翼と回転翼で構成されるタービン翼ポンプ部と、タービン翼ポンプ部よりも排気下流側に設けられたドラッグポンプ部と、を備えるものがある。この真空ポンプを含む真空ポンプシステムは、例えば、ドライエッチング、又は、ＣＶＤ（ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長）などのプロセスを実行するプロセスチャンバなどの排気対象装置を真空引きする手段として用いられる。また、この真空ポンプシステムにおいては、真空ポンプと排気対象装置との間にバルブが設けられる（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－２１７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の真空ポンプシステムは、バルブに接続された装置コンピュータをさらに備える場合がある。この装置コンピュータは、バルブの制御装置と所定のプロトコルを用いて通信可能であり、真空ポンプシステムの状態及び／又は排気対象装置にて行われているプロセス等の監視のために、バルブの制御装置にて得られた各種情報を取得可能となっている。
【０００５】
その一方、真空ポンプシステム及び／又はプロセス等のより詳細な情報を取得するために、バルブの情報に加えて、真空ポンプの制御装置にて取得された情報が必要な場合がある。しかしながら、真空ポンプの制御装置は、上記の装置コンピュータとバルブの制御装置との通信に用いられているものとは異なるプロトコルで他の装置（例えば、他の真空ポンプ）と通信をしている。そのため、真空ポンプの制御装置は、装置コンピュータとバルブの制御装置に物理的に接続されていても、装置コンピュータとバルブの制御装置とは通信ができない。また、真空ポンプは、複数台使用を想定してあらかじめプロトコルを規定しており、これを変更することができない場合が多い。
【０００６】
本発明の目的は、真空ポンプシステムにおいて、装置コンピュータ及びバルブの制御装置と、プロトコルの変更ができない真空ポンプの制御装置とを通信可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る真空ポンプシステムは、真空ポンプと、バルブと、装置コンピュータと、を備える。真空ポンプは、排気対象装置を真空引きする。バルブは、排気対象装置と真空ポンプの間に配置され、弁の開度を制御することで排気対象装置の内部の圧力を制御する。装置コンピュータは、バルブに接続される。この真空ポンプシステムにおいて、バルブは、バルブ制御装置を有する。バルブ制御装置は、第１プロトコル又は第１プロトコルとは異なる第２プロトコルのいずれかを用いて、装置コンピュータと通信可能となっている。真空ポンプは、ポンプ制御装置を有する。ポンプ制御装置は、バルブ制御装置に接続され、第２プロトコルと互換性を有する第３プロトコルを用いて他の装置と通信可能となっている。上記の真空ポンプシステムにおいて、バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信を行う場合、バルブ制御装置は、通信に用いるプロトコルを第２プロトコルとし、第２プロトコルを用いて装置コンピュータ及びポンプ制御装置と通信を行う。
【発明の効果】
【０００８】
上述した本発明の一態様に係る真空ポンプシステムでは、バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信を行う場合に、バルブ制御装置が通信で用いるプロトコルを第２プロトコルとしている。これにより、装置コンピュータ、バルブ制御装置、及び、ポンプ制御装置が、共通の第２プロトコルにより互いに通信可能となる。この結果、装置コンピュータ、バルブ制御装置、プロトコルの変更ができないポンプ制御装置との間で、互いにデータの送受信が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態に係る真空ポンプシステムの構成を示す図である。
装置コンピュータの構成を示す図である。
ポンプ制御装置の構成を示す図である。
バルブ制御装置の構成を示す図である。
バルブ制御装置とポンプ制御装置との間で通信をする場合の動作を示す処理シーケンス図である。
通常状態への復帰動作を示す処理シーケンス図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜真空ポンプシステムの構成＞
以下、図面を参照して一実施形態に係る真空ポンプシステムの構成を説明する。図１は、実施形態に係る真空ポンプシステム１００の構成を示す図である。真空ポンプシステム１００は、排気対象装置ＣＨの内部のガスを排気するシステムである。排気対象装置ＣＨは、例えば、半導体製造装置のプロセスチャンバ、各種成膜装置、エッチング装置などである。
（【００１１】以降は省略されています）

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