特許ウォッチ

公開番号2024004829
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022104686
出願日2022-06-29
発明の名称真空ポンプ
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20240110BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】隔壁とこれを取り付ける部分との間から排気ガスが漏れ出す不具合をより確実に防止できる真空ポンプを提案する。
【解決手段】真空ポンプ100は、排気口133を有する外装体と、外装体の内側で回転自在に支持され電装部によって回転する回転軸113と、収容部122の外側に配置され回転軸113に固定されたロータ103と、ロータ103の外周側に配置されたステータと、ロータ103の外周面とステータの内周面との間に設けられガスが流れるポンプ流路と、ステータに取り付けられポンプ流路の出口から排気口133までのガスの流路を画定する隔壁135と、ステータと隔壁135とを加熱する加熱手段138とを有し、ステータと隔壁135との取り付け面に、ガスの侵入を抑制するシール部材136が設けられたことを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
排気口を有する外装体と、
電装部を収容して前記外装体の内側に配置される収容部と、
前記外装体の内側で回転自在に支持され、前記電装部によって回転する回転軸と、
前記収容部の外側に配置され、前記回転軸に固定されたロータと、
前記ロータの外周側に配置されたステータと、
前記ロータの外周面と前記ステータの内周面との間に設けられ、ガスが流れるポンプ流路と、
前記ステータに取り付けられ、前記ポンプ流路の出口から前記排気口までの前記ガスの流路を画定する隔壁と、
前記ステータと前記隔壁とを加熱する加熱手段とを有し、
前記ステータと前記隔壁との取り付け面に、前記ガスの侵入を抑制するシール部材が設けられたことを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記取り付け面において、前記シール部材に対して前記ガスの上流側に、前記ステータと前記隔壁が接触するメタルタッチ面を有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記ステータと前記隔壁は、互いに異なる素材で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記隔壁は、前記ステータよりも熱伝導率が高い素材で形成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記ロータと前記隔壁が対向する対向面の少なくとも一部に、前記収容部への前記ガスの流れ込みを抑制する非接触シール構造が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記隔壁は、前記ステータに対して前記回転軸の軸方向からボルトによって固定されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記ステータは、前記排気口につながる貫通孔を有し、
前記取り付け面は、前記回転軸の軸方向に対して前記貫通孔からずれた位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置に設けられた真空チャンバ内の排気処理には、ターボ分子ポンプ等の真
空ポンプが使用される。半導体の製造工程では、半導体の基板に様々なプロセスガスを作
用させる工程があり、真空ポンプは、半導体製造装置のチャンバ内を真空にする際に使用
されるのみならず、チャンバ内からプロセスガスを排気する際にも使用される。
【０００３】
このようなプロセスガスは、蒸気圧曲線で示される圧力と温度の関係が気相から固相に
移る箇所において固体化して、副生成物として析出される。このような副生成物が真空ポンプ内で堆積すると、排気されるガスの流路が狭められて真空ポンプの圧縮性能、排気性能が低下するおそれがある。例えば真空ポンプの外装体を構成するベース部や、ロータを回転駆動させる電磁石やモータ等の電装品を収容する収容部（ステータコラム）は温度が低いため、これらに排気ガスが接触すると副生成物が堆積してしまう。
【０００４】
このような問題に対し、従来、ベース部等の少なくとも一部を隔壁で覆うことによって、排気ガスがベース部等に直接接触することを防止することが行われている。例えば特許文献１では、真空ポンプにおけるネジ溝ポンプ部の下流側に隔壁（特許文献１では断熱壁）を設け、この隔壁によって低温部であるステータコラムやベース部の少なくとも一部を覆うことで、副生成物がベース部等に堆積することを抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０２１／０９０７３８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで特許文献１の隔壁は、同文献の図４に示されているように、例えばボルト等によってネジ溝ステータに固定される。このとき隔壁は、ボルトを締め付けることによって基本的にはネジ溝ステータに対して密に接触するものの、部品を加工する際のばらつき等が原因となって両者の取り付け面同士が十分に接触しないおそれがある。このような場合には、隔壁とネジ溝ステータとの取り付け面の間から排気ガスが漏れる結果、ベース部等に副生成物が堆積してしまうことが懸念された。
【０００７】
このような点に鑑み、本発明は、隔壁とこれを取り付ける部分との間から排気ガスが漏れ出す不具合をより確実に防止できる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の真空ポンプは、排気口を有する外装体と、電装部を収容して前記外装体の内側に配置される収容部と、前記外装体の内側で回転自在に支持され、前記電装部によって回転する回転軸と、前記収容部の外側に配置され、前記回転軸に固定されたロータと、前記ロータの外周側に配置されたステータと、前記ロータの外周面と前記ステータの内周面との間に設けられ、ガスが流れるポンプ流路と、前記ステータに取り付けられ、前記ポンプ流路の出口から前記排気口までの前記ガスの流路を画定する隔壁と、前記ステータと前記隔壁とを加熱する加熱手段とを有し、前記ステータと前記隔壁との取り付け面に、前記ガスの侵入を抑制するシール部材が設けられたことを特徴とする。
【０００９】
このような真空ポンプは、前記取り付け面において、前記シール部材に対して前記ガスの上流側に、前記ステータと前記隔壁が接触するメタルタッチ面を有することが好ましい。
【００１０】
また前記ステータと前記隔壁は、互いに異なる素材で形成されていることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許