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公開番号2025180843
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-11
出願番号2024088455
出願日2024-05-31
発明の名称形状測定方法
出願人大同特殊鋼株式会社
代理人個人
主分類G01B 21/20 20060101AFI20251204BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定時間の増大を抑えつつ必要領域の高精度な断面形状測定を可能にした形状測定方法を提供する。
【解決手段】三次元測定によってワークWの表面の三次元点群画像を得た後、当該三次元点群画像の必要領域Rnにおいて、三次元点群の各点と、その近傍にある他の二点とで複数の三角面Tsを形成したポリゴン画像を得、当該ポリゴン画像の各三角面Ts内に新たな点を設定することにより三次元点群の数を増加させた後、必要領域Rnにおける断面形状を得る。
【選択図】 図1
特許請求の範囲【請求項1】
三次元測定によって被測定体の表面の三次元点群画像を得た後、当該三次元点群画像の必要領域において、三次元点群の各点と、その近傍にある他の二点とで複数の三角面を形成したポリゴン画像を得、当該ポリゴン画像の各前記三角面内に新たな点を設定することにより前記三次元点群の数を増加させた後、前記必要領域における断面形状を得るようにした形状測定方法。
続きを表示(約 98 文字)【請求項2】
前記新たな点とその近傍にある複数の点で新たな三角面を形成し、当該新たな三角面内にさらに新たな点を設定して前記三次元点群の数を増加させる請求項1に記載の形状測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は被測定体の必要部の断面形状を正確に測定できる形状測定方法に関するものである。
続きを表示(約 1,200 文字)【背景技術】
【0002】
被測定体の三次元形状を測定するために例えば特許文献1では、精密なX-Y-Zステージ上に被測定体を設置し、被測定体を移動させてその外表面を触針に接触させて接触時の三次元座標データを測定機側の座標データとして取得している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2000-28350
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、被測定体の三次元形状をよりコンパクトかつ簡易に測定するために、互いに直交する二軸周りに傾動可能とした三次元傾動ステージ上に被測定体を置いて当該被測定体の姿勢を傾動変化させ、その外表面に三次元形状検出センサのラインレーザ光を投影してこれをステレオカメラで撮影する方法が採用される。この場合、撮影された被測定体の外表面は三次元点群として逐次的に演算装置内へ取り込まれるが、被測定体の外表面全体を高精度に測定する、すなわち三次元点群の密度を全体的に高くすると、多大な測定時間が必要になる。
【0005】
そこで、本願発明はこのような課題を解決するもので、被測定体の外表面のうち必要領域のみ三次元点群の密度を高くでき、これによって測定時間の増大を抑えつつ必要領域の高精度な断面形状測定を可能にした形状測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するために、本第1発明では、三次元測定によって被測定体(W)の表面の三次元点群画像を得た後、当該三次元点群画像の必要領域(Rn)において、三次元点群の各点と、その近傍にある他の二点とで複数の三角面(Ts)を形成したポリゴン画像を得、当該ポリゴン画像の各前記三角面(Ts)内に新たな点を設定することにより前記三次元点群の数を増加させた後、前記必要領域(Rn)における断面形状を得るようにする。
【0007】
本第1発明においては、必要領域のみで点群の密度を高くできるから、当該必要領域において、測定される断面形状の量子化誤差を小さくでき、より正確な断面形状を得ることができる。
【0008】
本第2発明では、前記新たな点とその近傍にある複数の点で新たな三角面を形成し、当該新たな三角面内にさらに新たな点を設定して前記三次元点群の数を増加させる。
【0009】
本第2発明によれば、必要領域のみで点群の密度をさらに高くして、該必要領域においてさらに正確な断面形状を得ることができる。
【0010】
なお、上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を参考的に示すものである。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

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