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公開番号2025178145
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2025078314
出願日2025-05-08
発明の名称めっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置
出願人ティーピーエスエレコムカンパニーリミテッド,TPS Elecomm CO., LTD.
代理人TRY国際弁理士法人
主分類C25D 17/00 20060101AFI20251128BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】めっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置を提供し、垂直連続めっき槽や一般めっき槽のめっき品質向上および製造収率増大のためのものである。
【解決手段】めっき液が充填されるめっき槽と、めっき槽の側壁内側に水平移動可能に設置され、めっき槽内のめっき液を吸入して吐出する循環ポンプと循環ポンプから吐出されるめっき液をめっき槽内側に高圧噴射するイダクトと、めっき対象物を把持してめっき槽内の左右および前後方向に移動させて通電する基板据置台と、めっき槽の左右および前後方向に基板据置台を移動させてめっき槽内のめっき対象物位置またはイダクトとめっき対象物との隔離距離を変化させる据置台移動部と、を備え、めっき槽の前後、左右、および上下にめっき対象物を移動させながらイダクトで圧力を噴射し、アスペクト比や厚み差を有するめっき対象物が全体的にイダクトの影響力を受けるようにする。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
めっき液が充填されるめっき槽（１１０）と、
前記めっき槽（１１０）の上部に設置されるイダクト支持台（１２１）によって上段部が支持されてめっき槽（１１０）の側壁内側にめっき槽の左右方向（ｘ軸方向）に移動可能に設置され、めっき槽（１１０）内のめっき液を吸入して吐出する循環ポンプ（１２２）と連結管（１２３）を介して接続され、循環ポンプ（１２２）から吐出されるめっき液をめっき槽（１１０）内側に高圧噴射するイダクト（１２０）と、
前記めっき槽（１１０）の上部にめっき槽の左右方向（ｘ軸方向）および前後方向（ｙ軸方向）に移動可能に据え置かれ、めっき対象物（１０１）を把持してめっき槽（１１０）内の左右および前後方向に移動させて通電する基板据置台（１３０）と、
前記基板据置台（１３０）の上部に設置されてめっき槽の左右および前後方向に基板据置台（１３０）をそれぞれ独立に移動させてめっき槽（１１０）内のめっき対象物（１０１）の位置またはイダクト（１２０）とめっき対象物（１０１）との隔離距離を変化させる据置台移動部（１４０）と、を備えて構成され、
前記据置台移動部（１４０）は、
めっき槽周辺の前方と後方の左右両側にそれぞれ設置され、左右対向するように設置されて垂直方向支持のための複数の垂直支持台（１４１ａ）と、各垂直支持台を前後および左右に水平に連結する複数の水平支持台（１４１ｂ）とで構成されるベースフレーム（１４１）と、
ベースフレーム（１４１）の左側および右側の水平支持台（１４１ｂ）上にそれぞれ垂直に立てられて設置され、前方から一定距離後退した点で左右対向するように設置される上部支持台（１４２）と、
上部支持台（１４２）の中間部を前後水平に連結する左側および右側のｙ軸移動支持台（１４３）と、
左側および右側のｙ軸移動支持台（１４３）の下部にその長手方向に沿って設置され、第２モーター（１４４ａ）および第２カム（１４４ｂ）と連結されて第２モーター（１４４ａ）の回転運動とそれによる第２カム（１４４ｂ）の直線運動によって連動し、めっき槽の前後方向（ｙ軸方向）に沿って同時往復運動する左側および右側のｙ軸駆動シリンダー（１４４）と、
めっき槽の上部に水平に配置され、左側および右側のｙ軸駆動シリンダー（１４４）に両端部がそれぞれ固定され、左側および右側のｙ軸駆動シリンダー（１４４）の同時往復運動によってめっき槽の前後方向（ｙ軸方向）に沿って水平移動するｙ軸移動台（１４５）と、
ｙ軸移動台（１４５）の下部に結合されているが、第３モーター（１４６ａ）と第３カム（１４６ｂ）およびｘ軸駆動シリンダー（１４６ｃ）とを媒介体として結合され、ｙ軸移動台（１４５）とともにめっき槽の前後方向（ｙ軸方向）に沿って水平移動して第３モーター（１４６ａ）の回転運動による第３カム（１４６ｂ）の直線運動およびｘ軸駆動シリンダー（１４６ｃ）の往復運動によって連動してめっき槽の第２ｘ軸（めっき槽の左右方向に向かって第１ｘ軸と高さが異なるｘ軸）に沿って往復運動するｘ軸移動台（１４６）と、
ｘ軸移動台（１４６）に着脱可能に据え置かれ、イダクト支持台（１２１）よりも高い位置でめっき槽（１１０）の第２ｘ軸に移動可能に基板据置台（１３０）を左右両側でそれぞれ支持する左側および右側のｖ－サドル組立体（１４７）と、を含み、
基板据置台（１３０）をめっき槽（１１０）の第２ｘ軸およびｙ軸にそれぞれ独立に移動させてめっき槽（１１０）内のめっき対象物（１０１）の位置またはイダクト（１２０）とめっき対象物（１０１）との隔離距離を変化させるように構成される、
ことを特徴とするめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記めっき槽（１１０）は、銅（Ｃｕ）または金（Ａｕ）やニッケル（Ｎｉ）を単板または複数のめっき対象物を電解めっきする一般めっき槽（Ｄｉｐ型）または垂直連続めっき槽中のいずれかであることを特徴とする請求項１に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項３】
前記イダクト（１２０）は、
イダクト支持台（１２１）によってめっき槽（１１０）と垂直に等間隔に隔離配置され、
噴射口の直径や噴射圧力の強度が異なる第１ノズル（１２０ａ）と第２ノズル（１２０ｂ）とが隣り合うように交差配置されて構成されることを特徴とする請求項１に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項４】
前記イダクト（１２０）は、
めっき対象物（１０１）に付着した空気除去能力またはめっき液の撹拌と濾過および循環能力を補強するために、前記めっき槽（１１０）の前後側壁内側に互いに対向して設置されることを特徴とする請求項１に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項５】
前記イダクト（１２０）は、
前記イダクト支持台（１２１）の柔軟な移動を許容するために、柔軟性を有する連結管（１２３）を介して循環ポンプ（１２２）と接続されることを特徴とする請求項１に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項６】
前記イダクト支持台（１２１）は、
据置台移動部（１４０）に左右両側が支持され、一方側には第１ｘ軸で水平移動に必要な動力を提供する第１モーター（１２１ａ）と第１カム（１２１ｂ）および第１ｘ軸で往復運動する複数のシリンダー（１２１ｃ）が設置され、第１モーター（１２１ａ）の回転運動とそれによる第１カム（１２１ｂ）の直線運動およびシリンダー（１２１ｃ）の往復運動によって第１ｘ軸（めっき槽の左右方向に向かって第２ｘ軸と高さが異なるｘ軸）での水平移動が行われるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項７】
前記据置台移動部（１４０）は、
ｙ軸移動台（１４５）の上部に結合されているが、上部支持台（１４２）によって両端部が直交して昇降可能に支持される状態で、第４モーター（１４８ａ）と第４カム（１４８ｂ）およびｚ軸駆動シリンダー（１４８ｃ）とを媒介体として結合し、第４モーター（１４８ａ）の回転運動による第４カム（１４８ｂ）の直線運動およびｚ軸駆動シリンダー（１４８ｃ）の往復運動により連動してめっき槽のｚ軸（上下方向）に往復運動するｚ軸移動台（１４８）をさらに含み、基板据置台（１３０）をめっき槽（１１０）の上部においてｘ軸、ｙ軸、およびｚ軸方向に移動させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項８】
前記めっき槽（１１０）の内側のイダクト（１２０）の前方に設置されているが、イダクト（１２０）から離間するように設置され、めっき対象物（１０１）の大きさを超えた位置に配置されてめっき対象物（１０１）の大きさを超えた位置でのイダクト（１２０）による金属イオンの移動を遮断してめっき対象物（１０１）の縁の過めっきを防止する遮蔽膜（１５０）をさらに含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項９】
前記遮蔽膜（１５０）は、
前記めっき槽（１１０）内の左右両側にペアで配置されることを特徴とする請求項８に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
【請求項１０】
前記遮蔽膜（１５０）は、
前記めっき槽（１１０）の内部の前後両側に互いに向かい合うようにペアで設置されることを特徴とする請求項８に記載のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直連続めっき槽または一般めっき槽（Ｄｉｐ型）内のめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置に関し、より詳細には、銅（Ｃｕ）または金（Ａｕ）やニッケル（Ｎｉ）などを電解めっきする垂直連続めっき槽や一般めっき槽（Ｄｉｐ型）内でめっき対象物をめっき槽のｘ軸、ｙ軸に移動させ、同時にめっき槽のｘ軸にイダクト（ｅ‐ｄｕｃｔ）が移動しながら圧力を噴射できるようにイダクトの影響をアスペクト比や厚み差を有するめっき対象物に均一に作用させることができ、また、めっき槽内にめっき対象物の大きさを超えた位置に設置される遮蔽膜でめっき対象物周辺の金属イオンの流れを断続できるようにしてめっき対象物の縁に発生する過めっきによるめっき光沢の低下を防止し、めっき品質向上および製造収率（ｃａｐａｃｉｔｙ）増大を期待でき、また、同一スペースに対するスペース活用度を向上させて複数のめっきラインの設置を可能にし、多品種少量生産および量産時に有利に適用できるめっき対象物のめっき品質改善および光沢低下防止のためのめっき装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
一般に、ＰＣＢ層と層の間を接続するために、該当する位置に穿孔をしてめっきを進行することになるが、このとき、穿孔された穴壁面は絶縁体として存在するため、まず無電解めっきして穴壁面に電気を通し、電解めっきして穴壁金属の厚みを上げることになる。
【０００３】
電解めっき方式には、一般めっき装置と垂直連続めっき装置があり、それぞれの方式には長／短所が存在する。
【０００４】
まず、一般めっき装置は垂直連続めっき装置よりもめっき槽（ｂａｔｈ）の容積が著しく小さいため、広い設置スペースが不要でスペース活用度が高い。したがって、複数のめっき装置を設置できるため、めっき条件の異なる各製品を同時にめっきすることができ、高い生産量につなげることができる。また、一般めっき装置は、めっき槽の容積が小さいため、比較的少量の建浴薬品を使用し、複数のめっき装置を設置するため、個別に建浴を行うことができ、建浴薬品メイクアップ（ｍａｋｅ－ｕｐ）による納期遅延問題も比較的低い長所がある。
【０００５】
一方、一般めっき装置は、基板の一部の面積のみがイダクトの影響を受けるため、めっきの光沢、均一な穴めっきなどのめっき品質は垂直連続めっき装置よりも低下する。ここで、イダクトとは、基板に付着している空気を除去し、穴中のめっきを最大化するためにめっき槽内に薬品を圧力によって強力に噴射することを意味する。
【０００６】
垂直連続めっき装置は、一般めっき装置の長／短所と反対の特性を有している。すなわち、イダクト噴射時、基板の面積の一部のみに影響を与える一般めっき装置に比べて基板の全ての面積に影響を与えるため、めっきの光沢、均一な穴めっきなどめっき品質の面では、一般めっき装置より優れるが、設置面積、生産量、建浴薬品の過剰使用による事業性の低下や納期の遅延のおそれがあるという短所がある。
【０００７】
図１の（ａ）と（ｂ）はそれぞれ従来の一般めっき装置と従来垂直連続めっき装置および各装置によるめっき後のイダクト影響面積（光沢面積）を示す模式図であり、（ａ）は一般めっき装置でめっき槽１０内の基板１が把持された状態とめっき後基板１の光沢面積を示しており、（ｂ）は垂直連続めっき装置でめっき槽１０内の基板１が把持された状態とめっき後基板１の光沢面積を示している。これらの図に示すように、垂直連続めっき装置の場合、一般めっき装置の場合よりも基板１の全ての面積が影響を受けるため、めっきの光沢、均一な穴めっきで有利に作用する。
【０００８】
しかし、このような従来の垂直連続めっき装置は、図２に示すように、めっき槽１０内の基板１の一列配置が原因となり、一般めっき装置に比べてラインが長くなるため、十分な設置スペースを必要とし、スペース活用度が非常に低いだけでなく、製造可能な基板の数も少なく、低い製造収率を示す。また、多品種少量生産企業の場合、品種ごとにめっき条件が異なるため、このような垂直連続型めっき装置では同時にめっき工程を行うことができず、納期の問題点も発生する可能性がある。
【０００９】
また、このような垂直連続めっき装置の場合、大量の建浴薬品が投入されるため、事業性の面で非常に不利な短所がある。建浴薬品の場合、めっきによって消費された薬品だけ追加の建浴を行うこともあるが、薬品自体に使用期限があるため、定期的に全体のメイクアップが必要だからである。
【００１０】
これに関して、本出願人によって開発された大韓民国登録特許第１０－２５３９０９０号（発明の名称：めっき対象物の変位調節可能な垂直連続めっき装置、以下「特許文献１」と略称する）は、図３に示すように、めっき槽１０内のめっき対象物である基板１を斜線方向に角度調節を可能に配置してめっき槽内のめっき対象物に対する作業量増大およびイダクト効果を最大化させ、製造収率増大および品質向上が期待でき、また、めっき対象物が前、後に移動し、少しずつ前進して全体の移動距離を延長することで、めっき槽のサイズ縮小およびそれに伴う複数のめっきラインの設置を可能にして多品種少量生産時に有利にした。
（【００１１】以降は省略されています）

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