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公開番号2025172018
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-20
出願番号2025077397
出願日2025-05-07
発明の名称反応空間圧力測定のための方法および装置
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 16/54 20060101AFI20251113BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】反応空間を有するリアクタを有するシステム、および反応空間内の圧力を測定するように構成された圧力監視システムを提供する。
【解決手段】圧力監視システムは、2つ以上の圧力センサを含む構成であってもよく、各圧力センサは、圧力センサの上流に配置された1つの弁と、および圧力センサの下流に配置された別の弁との二つの弁で分離されている構成であってもよい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
装置であって、
容器に連結されている入口を備えるガス分配システムであって、前記容器は前駆体を収容するように構成されている、ガス分配システムと、
前記ガス分配システムの下方に配置されており、サセプタと、前記サセプタおよび前記ガス分配システムにより画定されている反応空間と、を備える反応チャンバと、
圧力モニタシステムであって、
前記反応空間に連結されており、前記反応空間と流体連通している第１弁と、
第１接合部において前記第１弁と直列に連結されている第２弁と、
前記反応空間に連結されており、前記反応空間と流体連通している第３弁と、
第２接合部において前記第３弁と直列に連結されている第４弁と、
前記第１接合部に連結されている第１圧力センサと、
前記第２接合部に連結されている第２圧力センサと、を含む圧力モニタシステムと、を備える装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１弁と、前記第２弁と、前記第３弁と、前記第４弁とは、前記反応チャンバおよびガス分配システムの外側に配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１圧力センサおよび前記第２圧力センサは、前記反応チャンバおよびガス分配システムの外側に配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記圧力モニタシステムは不活性ガス源に連結されている、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１弁と、前記第２弁と、前記第３弁と、前記第４弁とのそれぞれを互いに独立して動作させるように構成されているコントローラをさらに備える請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記第１圧力センサおよび前記第２圧力センサは、圧力変換器を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１弁および前記第３弁は、前記反応空間と直接流体連通して連結されている、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記圧力モニタシステムに連結されている不活性ガス源をさらに備える請求項１に記載の装置。
【請求項９】
装置であって、
容器に連結されている入口を備えるガス分配システムであって、前記容器は前駆体を収容するように構成されている、ガス分配システムと、
前記ガス分配システムの下方に配置されており、サセプタと、前記サセプタおよび前記ガス分配システムにより画定されている反応空間と、を備える反応チャンバと、
前記反応チャンバおよび前記ガス分配システムの外部に配置されている圧力モニタシステムであって、
前記反応空間に連結されており、前記反応空間と流体連通している複数の第１弁と、
前記反応空間に連結されており、前記反応空間と流体連通している複数の第２弁であって、前記反応空間により前記複数の第１弁から分離されている複数の第２弁と、
複数の圧力センサであって、少なくとも１つの圧力センサは前記複数の第１弁に連結されており、少なくとも１つの圧力センサは前記複数の第２弁に連結されている、複数の圧力センサと、を含む圧力モニタシステムと、を備える装置。
【請求項１０】
前記複数の第１弁は、
前記反応空間に直接連結されており、前記反応空間と流体連通している第１弁と、
第１接合部において前記第１弁と直列に連結されている第２弁と、を含む、請求項９に記載の装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は概して、反応空間圧力測定のための方法および装置に関する。より具体的には、本開示は、反応空間に連結された複数の圧力センサを有するリアクタであって、圧力センサを分離することができるリアクタに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来の反応チャンバは、堆積中にウエハが位置する反応空間内の圧力を直接測定する方法を有しない。圧力センサ上に蓄積する膜により、反応空間内に圧力センサを設置することは望ましくなく、最終的に圧力センサの故障、または圧力センサの誤測定を生ずる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本技術の様々な実施形態は、反応空間を有するリアクタを有するシステム、および反応空間内の圧力を測定するように構成された圧力監視システムを提供し得る。圧力監視システムは、２つ以上の圧力センサを含む構成であってもよく、各圧力センサは、圧力センサの上流に配置された１つの弁と、および圧力センサの下流に配置された別の弁との２つの弁で分離することができる構成であってもよい。
【０００４】
一態様によれば、本装置は、容器に連結されている入口を備えるガス分配システムであって、容器は前駆体を収容するように構成されている、ガス分配システムと、ガス分配システムの下方に配置されており、サセプタと、サセプタおよびガス分配システムにより画定されている反応空間と、を備える反応チャンバと、圧力モニタシステムであって、反応空間に連結されており、反応空間と流体連通している第１弁と、第１接合部において第１弁と直列に連結されている第２弁と、反応空間に連結されており、反応空間と流体連通している第３弁と、第２接合部において第３弁と直列に連結されている第４弁と、第１接合部に連結されている第１圧力センサと、第２接合部に連結されている第２圧力センサと、を含む圧力モニタシステムと、を備える。
【０００５】
上記の装置の一実施形態では、第１弁と、第２弁と、第３弁と、第４弁とは、反応チャンバおよびガス分配システムの外側に配置されている。
【０００６】
上記の装置の一実施形態では、第１圧力センサおよび第２圧力センサは、反応チャンバおよびガス分配システムの外側に配置されている。
【０００７】
上記の装置の一実施形態では、圧力モニタシステムは、不活性ガス源に連結されている。
【０００８】
一実施形態では、上記の装置は、第１弁と、第２弁と、第３弁と、第４弁とのそれぞれを互いに独立して動作させるように構成されているコントローラをさらに備える。
【０００９】
上記の装置の一実施形態では、第１圧力センサおよび第２圧力センサは、圧力変換器を備える。
【００１０】
上記の装置の一実施形態では、第１弁および第３弁は、反応空間と直接流体連通して連結されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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