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公開番号2025167420
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024071989
出願日2024-04-25
発明の名称弾性波デバイス
出願人三安ジャパンテクノロジー株式会社
代理人個人,個人
主分類H03H 9/145 20060101AFI20251030BHJP(基本電子回路)
要約【課題】横モードの抑制を可能とした弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電層と、前記圧電層上に形成されたIDT電極とを備え、
前記IDT電極は第1のバスバー11aと第2のバスバー11bを備え、これらのバスバーは、上面視において、前記第1のバスバーと前記第2のバスバーが互いに対向する側に、弾性表面波の伝播方向と並行である複数のステップ部が設けられ、隣設されるステップ部どうしの間に段差部が設けられ、前記第1のバスバーのステップ部と、前記第2のバスバーのステップ部は、上面視において、対向するステップ部どうしの距離が同じである。

【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
圧電層と、
前記圧電層上に形成されたＩＤＴ電極とを備え、
前記ＩＤＴ電極は、互いに対向する第１のバスバーと第２のバスバーを備え、
前記第１のバスバーと前記第２のバスバーは、上面視において、前記第１のバスバーと前記第２のバスバーが互いに対向する側に、弾性表面波の伝播方向と並行である複数のステップ部が設けられ、
前記複数のステップ部は、隣設されるステップ部どうしは、上面視において前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向において、異なる位置に設けられ、
隣り合う前記ステップ部どうしの間に段差部が設けられ、
前記第１のバスバーのステップ部と、前記第２のバスバーのステップ部は、上面視において、対向するステップ部どうしが同じ距離である
弾性波デバイス。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記ＩＤＴ電極における、弾性表面波の伝播方向と垂直な方向における段差の幅は、弾性波の波長をλとしたときに、１．５λ未満である
請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーは、前記第１のステップ部と、前記第１のステップ部に隣設される第２のステップ部と、前記第２のステップ部に隣設される第３のステップ部とにより、３つのステップ部を備え、
前記第１のステップ部と前記第２のステップ部の間の段差部は、前記第１のステップ部から前記第２のステップ部に行くに従って、前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向に段差をなす段差部であり、
前記第２のステップ部と前記第３のステップ部との間の段差部は、前記第２のステップ部から前記第３のステップ部に行くに従って、前記第２のバスバーから前記第１のバスバーへの方向に段差をなす
請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記第１のバスバー及び第２のバスバーは、第１のステップ部と、前記第１のステップ部に隣設される第２のステップ部と、前記第２のステップ部に隣設される第３のステップ部とにより、３つのステップ部を備え、
前記第１のステップ部と前記第２のステップ部の間の段差部と、前記第２のステップ部と前記第３のステップ部との間の段差部は、前記第１のステップ部、前記第２のステップ部及び前記第３のステップ部に行くに従って、ともに同じ方向の段差をなし、前記第２のバスバーから前記第１のバスバーへの方向に段差をなす、又はともに前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向に段差をなす
請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーは、上面視において、互いに対向する側において、弾性表面波の伝播方向と平行な複数のステップ部と、隣設される前記ステップ部どうしの間に設けられた段差部は、弾性表面波の伝播方向に直交する方向に形成され、
前記第１のバスバー及び第２のバスバーは、第１のステップ部と、前記第１のステップ部に隣設される第２のステップ部と、前記第２のステップ部に隣設される第３のステップ部とにより、３つのステップ部を備える
請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーは、上面視において、互いに対向する側において、弾性表面波の伝播方向と平行な複数のステップ部と、隣設される前記ステップ部どうしの間に設けられた段差部は、弾性表面波の伝播方向に対して傾斜されたスロープ状である、
前記第１のバスバー及び第２のバスバーは、第１のステップ部と、前記第１のステップ部に隣設される第２のステップ部と、前記第２のステップ部に隣設される第３のステップ部とにより、３つのステップ部を備える
請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項７】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーは、上面視において、隣設された二つ段差部による、前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向における段差の合計は、弾性波の波長をλとしたときに、２．０λ未満である
請求項５又は請求項６に記載の弾性波デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面弾性波を用いた弾性波デバイスに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
表面弾性波を用いた弾性波デバイスとして、圧電基板の主面上に設けられたＩＤＴ（InterDigital Transducer）電極を有する弾性表面波（ＳＡＷ：Surface acoustic wave）共振器が知られている。このＳＡＷ共振器は、例えば分波器の送信のフィルタ及び受信フィルタ等に利用されている。この弾性波デバイスには、横モードが生じる。横モードはスプリアスや通過帯域において損失が生じる等の悪影響があるので、抑制されることが望ましい。
【０００３】
特許文献１は、弾性波デバイスの横モードを抑制するために、弾性波デバイスの導波路に曲率をもたらすように配列された湾曲セクションを備えるＩＤＴ電極が開示されている。
特許文献２に記載の弾性波デバイス（ＳＡＷ共振器）においては、弾性波デバイスの横モードを抑制するために、一方のバスバーで反射された横モードと、他方のバスバーで反射された横モードとが打ち消し合い、横モードを抑制することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－９２４２２号公報
特開２０００－２８６６６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の通り、このようなＩＤＴ電極を用いる弾性波デバイスにおいては、横モードを抑制することにより、更なる改善が求められる。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、横モードが抑制される弾性波デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の弾性波デバイスの一つの態様は、圧電層と、
前記圧電層上に形成されたＩＤＴ電極とを備え、
前記ＩＤＴ電極は、互いに対向する第１のバスバーと第２のバスバーを備え、
前記第１のバスバーと前記第２のバスバーは、上面視において、前記第１のバスバーと前記第２のバスバーが互いに対向する側に、弾性表面波の伝播方向と並行である複数のステップ部が設けられ、
前記複数のステップ部は、隣設されるステップ部どうしは、上面視において前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向において、異なる位置に設けられ、
隣り合う前記ステップ部どうしの間に段差部が設けられ、
前記第１のバスバーのステップ部と、前記第２のバスバーのステップ部は、上面視において、対向するステップ部どうしが同じ距離であるものである。
このように、隣接されるステップ部どうしが、前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向において、位置が異なるステップ部を設けたので、横モードが抑制される弾性波デバイスを実現できる。
【０００８】
本発明の弾性波デバイスは、上述の態様の具体的態様として、
前記ＩＤＴ電極における、弾性表面波の伝播方向と垂直な方向における段差の幅は、弾性波の波長をλとしたときに、１．５λ未満であるものである。
【０００９】
本発明の弾性波デバイスは、上述の態様の具体的態様として、前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーは、前記第１のステップ部と、前記第１のステップ部に隣設される第２のステップ部と、前記第２のステップ部に隣設される第３のステップ部とにより、３つのステップ部を備え、
前記第１のステップ部と前記第２のステップ部の間の段差部は、前記第１のステップ部から前記第２のステップ部に行くに従って、前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向に段差をなす段差部であり、
前記第２のステップ部と前記第３のステップ部との間の段差部は、前記第２のステップ部から前記第３のステップ部に行くに従って、前記第２のバスバーから前記第１のバスバーへの方向に段差をなすものである。
【００１０】
本発明の弾性波デバイスの一つの態様は、
前記第１のバスバー及び第２のバスバーは、第１のステップ部と、前記第１のステップ部に隣設される第２のステップ部と、前記第２のステップ部に隣設される第３のステップ部とにより、３つのステップ部を備え、
前記第１のステップ部と前記第２のステップ部の間の段差部と、前記第２のステップ部と前記第３のステップ部との間の段差部は、前記第１のステップ部、前記第２のステップ部及び前記第３のステップ部行くに従って、ともに同じ方向の段差をなし、前記第２のバスバーから前記第１のバスバーへの方向に段差をなす、又はともに前記第１のバスバーから前記第２のバスバーへの方向に段差をなすものである。
（【００１１】以降は省略されています）

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