特許ウォッチ

公開番号2025156388
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-14
出願番号2025124031,2021174890
出願日2025-07-24,2021-10-26
発明の名称化合物及び樹脂
出願人住友化学株式会社
代理人弁理士法人新樹グローバル・アイピー
主分類C07C 43/295 20060101AFI20251002BHJP(有機化学)
要約【課題】良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造することができる化合物、樹脂等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物及び樹脂。
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2025156388000154.jpg</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">39</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">91</com:WidthMeasure> </com:Image> [式中、R⁰は、ハロゲン原子を有していてもよいアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。X¹は、酸素原子又は硫黄原子を表す。R¹は、ハロゲン原子又はハロアルキル基を表す。R²は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ハロアルキル基又はアルキル基を表す。m1は1又は2、m2は0～4の整数を表す。R³はハロゲン原子、ヒドロキシ基、ハロアルキル基又は炭化水素基を表す。m3は、0～4の整数を表す。]
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
式（Ｉ）で表される化合物。
JPEG
2025156388000153.jpg
39
91
［式（Ｉ）中、
Ｒ
０
は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｘ
１
は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
Ｒ
１
は、ハロゲン原子又は炭素数１～１２のハロアルキル基を表す。
Ｒ
２
は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１２のアルキル基を表し、該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１又は２を表し、ｍ１が２のとき、２つの括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数のＲ
２
は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｒ
３
は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
ｍ３は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ３が２以上のとき、複数のＲ
３
は互いに同一であっても異なってもよい。］
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
Ｒ
３
が、ヨウ素原子、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基である請求項１に記載の化合物。
【請求項３】
Ｘ
１
が、酸素原子である請求項１又は２に記載の化合物。
【請求項４】
Ｒ
１
が、ヨウ素原子、フッ素原子又は炭素数１～３のペルフルオロアルキル基である請求項１～３のいずれかに記載の化合物。
【請求項５】
Ｒ
２
が、ヨウ素原子、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～３のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～３のアルコキシ基である請求項１～４のいずれかに記載の化合物。
【請求項６】
請求項１～５のいずれかに記載の化合物に由来する構造単位を含む樹脂。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、化合物及び該化合物に由来する構造単位を含む樹脂等に関する。
続きを表示（約 3,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、下記化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物
が記載されている。
TIFF
2025156388000001.tif
23
18
【０００３】
特許文献２には、下記化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物
が記載されている。
TIFF
2025156388000002.tif
23
14
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１０６８２６号公報
特開２０１５－１６１８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物によ
って形成されたレジストパターンよりも、ＣＤ均一性（ＣＤＵ）が良好なレジストパター
ンを形成する化合物を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下の発明を含む。
〔１〕式（Ｉ）で表される化合物に由来する構造単位を含む樹脂と、酸発生剤とを含有
するレジスト組成物。
TIFF
2025156388000003.tif
39
91
［式（Ｉ）中、
Ｒ
０
は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハ
ロゲン原子を表す。
Ｘ
１
は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
Ｒ
１
は、ハロゲン原子又は炭素数１～１２のハロアルキル基を表す。
Ｒ
２
は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１
～１２のアルキル基を表し、該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は
、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互
いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数のＲ
２
は互いに同
一であっても異なってもよい。
Ｒ
３
は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１
～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含
まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
ｍ３は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ３が２以上のとき、複数のＲ
３
は互いに同
一であっても異なってもよい。］
〔２〕Ｒ
３
が、ヨウ素原子、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基又
は炭素数１～６のアルコキシ基である〔１〕に記載のレジスト組成物。
〔３〕Ｘ
１
が、酸素原子である〔１〕又は〔２〕に記載のレジスト組成物。
〔４〕Ｒ
１
が、ヨウ素原子、フッ素原子又は炭素数１～３のペルフルオロアルキル基で
ある〔１〕～〔３〕のいずれかに記載のレジスト組成物。
〔５〕Ｒ
２
が、ヨウ素原子、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～３のペルフルオロ
アルキル基又は炭素数１～３のアルコキシ基である〔１〕～〔４〕のいずれかに記載のレ
ジスト組成物。
〔６〕樹脂が、式（Ｉ）で表される化合物に由来する構造単位以外の酸不安定基を有す
る構造単位をさらに含む〔１〕～〔５〕のいずれかに記載のレジスト組成物。
〔７〕酸発生剤が、式（Ｂ１）で表される塩を含む〔１〕～〔６〕のいずれかに記載の
レジスト組成物。
TIFF
2025156388000004.tif
28
55
［式（Ｂ１）中、
Ｑ
ｂ１
及びＱ
ｂ２
は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロア
【発明の効果】
【０００７】
本発明の化合物に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物を用いること
により、ＣＤ均一性（ＣＤＵ）が良好なレジストパターンを作製することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本明細書において、「（メタ）アクリル系モノマー」とは、「アクリル系モノマー及び
メタクリル系モノマーの少なくとも一種」を意味する。「（メタ）アクリレート」及び「
（メタ）アクリル酸」等の表記も、同様の意味を表す。本明細書中に記載する基において
、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。炭化水素
基等に含まれる－ＣＨ
2
－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ
２
－で置き換わる場合
、各基において同様の例を適用するものとする。「組み合わせた基」とは、例示した基を
２種以上結合させた基を意味し、それら基の価数は結合形態によって適宜変更してもよい
。「由来する」又は「誘導される」とは、その分子中に含まれる重合性Ｃ＝Ｃ結合が重合
により単結合（－Ｃ－Ｃ－基）となることを指す。立体異性体が存在する場合は、全ての
立体異性体を含む。
【０００９】
〔式（Ｉ）で表される化合物〕
本発明の化合物は、式（Ｉ）で表される化合物（以下「化合物（Ｉ）」という場合があ
る）に関する。
TIFF
2025156388000006.tif
39
91
［式（Ｉ）中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。］
【００１０】
式（Ｉ）において、Ｒ
０
のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基
、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチ
ル基及びｎ－ヘキシル基等が挙げられ、好ましくは、炭素数１～４のアルキル基であり、
より好ましくは、メチル基又はエチル基である。
Ｒ
０
のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げ
られる。
Ｒ
０
のハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオ
ロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチ
ル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロ
ペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルクロロメチル基、ペルブロモメチル基及びペ
ルヨードメチル基等が挙げられる。
Ｒ
０
は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又は
エチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基であることがさらに好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許