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公開番号2025154008
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024056770
出願日2024-03-29
発明の名称分光器の校正装置及び校正方法
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人日誠国際特許事務所
主分類G01J 3/02 20060101AFI20251002BHJP(測定;試験)
要約【課題】異なる分光器間において同一の測定対象に対して測定される分光特性にバラつきが生じてしまうことを防止することができる分光器の校正装置及び校正方法を提供すること。
【解決手段】校正対象の分光器10に所定の光強度の基準光を照射する基準光源2と、基準光源2と校正対象の分光器10との間に設けられ、基準光源2から校正対象の分光器10に入射する光を減衰するとともに透過率を変更可能な減光部3と、減光部3によって減衰された光の特定波長の光強度を測定するパワーメータ4と、校正対象の分光器10の各素子の受光感度を校正する校正部6と、を備え、校正部6は、減光部3の透過率を変更させた場合に、異なる透過率毎に、基準光に対して校正対象の分光器10で測定された波長毎のカウント値を取得することにより、透過率とカウント値との関係を表す関係式を求め、関係式に基づき校正対象の分光器10の各素子の受光感度を校正する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
入射された光の強度である光強度を波長毎に測定する分光器の校正装置であって、
校正対象の分光器（１０）に所定の光強度の基準光を照射する基準光源（２）と、
前記基準光源と前記校正対象の分光器との間に設けられ、前記基準光源から前記校正対象の分光器に入射する光を減衰するとともに透過率を変更可能な減光部（３）と、
前記減光部によって減衰された光の特定波長の光強度を測定する光強度検出部（４）と、
前記校正対象の分光器の各素子の受光感度を校正する校正部（６）と、を備え、
前記校正部は、前記減光部の透過率を変更させた場合に、異なる透過率毎に、前記基準光に対して前記校正対象の分光器で測定された波長毎のカウント値を取得することにより、前記透過率と前記カウント値との関係を表す関係式を求め、前記関係式に基づき前記校正対象の分光器の各素子の前記受光感度を校正する、分光器の校正装置。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記校正部は、異なる透過率毎に、前記基準光に対して前記校正対象の分光器で所定回数測定された波長毎のカウント値の平均値を、前記波長毎のカウント値として取得する請求項１に記載の分光器の校正装置。
【請求項３】
前記減光部は、それぞれ光学濃度の異なる複数のＮＤフィルタ（３１）を有し、当該複数のＮＤフィルタの組み合わせを変更することにより前記減光部の透過率を変更する請求項１又は請求項２に記載の分光器の校正装置。
【請求項４】
前記関係式を、前記校正対象の分光器が持つ記憶部に記憶する請求項１又は請求項２に記載の分光器の校正装置。
【請求項５】
校正対象の分光器（１０）に所定の光強度の基準光を照射する基準光源（２）と、
前記基準光源と前記校正対象の分光器との間に設けられ、前記基準光源から前記校正対象の分光器に入射する光を減衰するとともに透過率を変更可能な減光部（３）と、
前記減光部によって減衰された光の特定波長の光強度を測定する光強度検出部（４）と、
前記校正対象の分光器の各素子の受光感度を校正する校正部（６）と、を備えた校正装置における分光器の校正方法であって、
前記校正部が、前記減光部の透過率を変更させた場合に、異なる透過率毎に、前記基準光に対して前記校正対象の分光器で測定された波長毎のカウント値を取得することにより、前記透過率と前記カウント値との関係を表す関係式を求め、前記関係式に基づき前記校正対象の分光器の各素子の前記受光感度を校正する、分光器の校正方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光器の校正装置及び校正方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、被測定物が載置された載置面に対し、光源から広帯域の光をライトガイドを介して照射する光照射部と、被測定物を透過した光が光ファイバを介して分光器に入射され、分光器にて分光特性を測定する光検出部とを備える分光測定装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７２７０５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の分光測定装置が備えるような分光器には、個体差があり、使用される分光器間で各素子の受光感度にバラつきが生じることが知られている。異なる分光器間で各素子の受光感度にバラつきがあると、それら異なる分光器の間では、同一の測定対象に対して測定される分光特性にバラつきが生じてしまう。
【０００５】
本発明は、上述のような事情に鑑みてなされたもので、異なる分光器間において同一の測定対象に対して測定される分光特性にバラつきが生じてしまうことを防止することができる分光器の校正装置及び校正方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る分光器の校正装置は、入射された光の強度である光強度を波長毎に測定する分光器の校正装置であって、校正対象の分光器に所定の光強度の基準光を照射する基準光源と、前記基準光源と前記校正対象の分光器との間に設けられ、前記基準光源から前記校正対象の分光器に入射する光を減衰するとともに透過率を変更可能な減光部と、前記減光部によって減衰された光の特定波長の光強度を測定する光強度検出部と、前記校正対象の分光器の各素子の受光感度を校正する校正部と、を備え、前記校正部は、前記減光部の透過率を変更させた場合に、異なる透過率毎に、前記基準光に対して前記校正対象の分光器で測定された波長毎のカウント値を取得することにより、前記透過率と前記カウント値との関係を表す関係式を求め、前記関係式に基づき前記校正対象の分光器の各素子の前記受光感度を校正する構成を有する。
【０００７】
この構成により、本発明に係る分光器の校正装置は、減光部の透過率を変更させた場合に、異なる透過率毎に、基準光に対して校正対象の分光器で測定された波長毎のカウント値を取得することにより透過率とカウント値との関係を表す関係式を求め、この関係式に基づき校正対象の分光器の各素子の受光感度を校正するので、異なる分光器間において同一の測定対象に対して測定される分光特性にバラつきが生じてしまうことを防止することができる。
【０００８】
本発明に係る分光器の校正装置において、前記校正部は、異なる透過率毎に、前記基準光に対して前記校正対象の分光器で所定回数測定された波長毎のカウント値の平均値を、前記波長毎のカウント値として取得することが好ましい。
【０００９】
この構成により、本発明に係る分光器の校正装置は、異なる透過率毎に、基準光に対して校正対象の分光器で所定回数測定された波長毎のカウント値の平均値を、波長毎のカウント値として取得するので、測定されたカウント値に対する誤差の影響を抑えることができる。
【００１０】
本発明に係る分光器の校正装置において、前記減光部は、それぞれ光学濃度の異なる複数のＮＤフィルタを有し、当該複数のＮＤフィルタの組み合わせを変更することにより前記減光部の透過率を変更することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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