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公開番号2025151884
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024053506
出願日2024-03-28
発明の名称ファブリペロー干渉計
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G01B 9/02 20220101AFI20251002BHJP(測定;試験)
要約【課題】ファブリペロー干渉計を簡易に製造する。
【解決手段】第1基板110は、第1反射面部112および第1反射面部112の周囲に位置する第1基準面部113を第1主面111に有する。第2基板120は、第1反射面部112に間隔Lをあけて対向する第2反射面部122および第2反射面部122の周囲に位置する第2基準面部123を第2主面121に有する。駆動機構部は130、第2反射面部122が第1反射面部112と対向した状態で第2反射面部122を第1反射面部112に対して変位させる。接着層140は、第1基準面部113と第2基準面部123との間に挟まれて第1基準面部113と第2基準面部123との一定間隔Dを規定する少なくとも3つのスペーサ粒子141を含有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１反射面部および該第１反射面部の周囲に位置する第１基準面部を第１主面に有する第１基板と、
前記第１反射面部に間隔をあけて対向する第２反射面部および該第２反射面部の周囲に位置する第２基準面部を第２主面に有する第２基板と、
前記第２反射面部が前記第１反射面部と対向した状態で前記第２反射面部を前記第１反射面部に対して変位させる駆動機構部と、
前記第１基準面部と前記第２基準面部との間に挟まれて前記第１基準面部と前記第２基準面部との一定間隔を規定する少なくとも３つのスペーサ粒子を含有する接着層とを備える、ファブリペロー干渉計。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記接着層は、前記第１反射面部と前記第２反射面部とが互いに対向している対向領域には位置していない、請求項１に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項３】
前記第１主面の前記第１基準面部上および前記第２主面の前記第２基準面部上の少なくとも一方に、前記接着層が前記対向領域に延出することを阻害する凸部が形成されており、
前記凸部の高さの寸法は、前記一定間隔の寸法の１／４以上３／４以下である、請求項２に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項４】
前記第１主面の前記第１基準面部および前記第２主面の前記第２基準面部の少なくとも一方に、前記接着層が前記対向領域に延出することを阻害する凹部が形成されている、請求項２に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項５】
前記少なくとも３つのスペーサ粒子の各々のヤング率は、１ＧＰａ以上３００ＧＰａ以下である、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項６】
前記少なくとも３つのスペーサ粒子の各々は、金属粒子、樹脂粒子、ガラス粒子、シリカ粒子、または、金属被膜で覆われた、樹脂粒子、ガラス粒子若しくはシリカ粒子である、請求項５に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項７】
前記少なくとも３つのスペーサ粒子のうちの少なくとも１つは、導電性を有しており、前記ファブリペロー干渉計における電気経路の一部を構成している、請求項６に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項８】
前記第２基板には、第１引出配線および第２引出配線が形成されており、
前記第１引出配線は、前記第２主面に形成された第１電極と接続されており、
前記第２引出配線は、前記第２主面に形成された第２電極と接続されており、
前記第１主面には、第３電極が形成されており、
前記第２電極と前記第３電極とは、前記少なくとも３つのスペーサ粒子のうちの前記少なくとも１つを通じて電気的に接続されている、請求項７に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項９】
前記第２基板には、第３引出配線および第４引出配線が形成されており、
前記第３引出配線は、前記第２反射面部の端に形成された第４電極と接続されており、
前記第４引出配線は、前記第２主面に形成された第５電極と接続されており、
前記第１主面には、第６電極が形成されており、
前記第６電極において前記第１反射面部の端に位置する一部と前記第４電極とは、互いに間隔をあけて対向しており、
前記第５電極と前記第６電極とは、前記少なくとも３つのスペーサ粒子のうちの前記少なくとも１つを通じて電気的に接続されている、請求項７に記載のファブリペロー干渉計。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファブリペロー干渉計に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ファブリペロー干渉フィルタの製造方法を開示した先行技術文献として、特許第６３４１９５９号(特許文献１)がある。特許文献１に記載されたファブリペローフィルタにおいては、エッチングによって犠牲層の一部を除去することにより空隙を形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６３４１９５９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたファブリペロー干渉計の製造方法は、工程が複雑であるとともに、エッチング液に対する耐性を考慮して材料選択する必要があり、ファブリペロー干渉計を簡易に製造することができない。
【０００５】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、簡易に製造することができるファブリペロー干渉計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に基づくファブリペロー干渉計は、第１基板と、第２基板と、駆動機構部と、接着層とを備える。第１基板は、第１反射面部およびこの第１反射面部の周囲に位置する第１基準面部を第１主面に有する。第２基板は、第１反射面部に間隔をあけて対向する第２反射面部およびこの第２反射面部の周囲に位置する第２基準面部を第２主面に有する。駆動機構部は、第２反射面部が第１反射面部と対向した状態で第２反射面部を第１反射面部に対して変位させる。接着層は、第１基準面部と第２基準面部との間に挟まれて第１基準面部と第２基準面部との一定間隔を規定する少なくとも３つのスペーサ粒子を含有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ファブリペロー干渉計を簡易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の実施形態１に係るファブリペロー干渉計の平面図である。
図１のファブリペロー干渉計をＩＩ－ＩＩ線矢印方向から見た断面図である。
ファブリペロー干渉計の製造方法の一例を説明するフローチャートである。
本発明の実施形態１の変形例に係るファブリペロー干渉計の断面図である。
本発明の実施形態２に係るファブリペロー干渉計の平面図である。
図５のファブリペロー干渉計をＶＩ－ＶＩ線矢印方向から見た断面図である。
本発明の実施形態２の変形例１に係るファブリペロー干渉計の平面図である。
本発明の実施形態２の変形例２に係るファブリペロー干渉計の平面図である。
本発明の実施形態３に係るファブリペロー干渉計の平面図である。
図９のファブリペロー干渉計をＸ－Ｘ線矢印方向から見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の各実施形態に係るファブリペロー干渉計について図面を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。
【００１０】
(実施形態１)
図１は、本発明の実施形態１に係るファブリペロー干渉計の平面図である。図２は、図１のファブリペロー干渉計をＩＩ－ＩＩ線矢印方向から見た断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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