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公開番号2025167293
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024071770
出願日2024-04-25
発明の名称インダクタ部品
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人,個人
主分類H01F 17/04 20060101AFI20251030BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】直流抵抗のばらつきおよび増大を抑制可能なインダクタ部品を提供すること。
【解決手段】インダクタ部品が、第1仮想平面に位置する第1導体層と、第1導体層に設けられ、第1仮想平面に対して交差する第1方向に沿った第1旋回軸まわりに延在する第1インダクタ配線と、第1導体層に接し、第1方向において第1導体層に対して第1インダクタ配線とは反対側に位置する第1層間絶縁層とを備える。第1導体層は、第1旋回軸まわりに延在する第1本体部と、第1本体部から第1旋回軸に接近する方向に延びる第1突出部とを含み、第1方向に沿って見た場合に、第1突出部は、本体部との接続部分から第1層間絶縁層の端部に向かって最短距離で延びていない。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１仮想平面に位置する第１導体層と、
前記第１導体層上に設けられ、前記第１仮想平面に対して交差する第１方向に沿った第１旋回軸まわりに延在する第１インダクタ配線と、
前記第１導体層に接し、前記第１方向において、前記第１導体層に対して前記第１インダクタ配線とは反対側に位置する第１層間絶縁層と
を備え、
前記第１導体層は、
前記第１旋回軸まわりに延在する第１本体部と、
前記第１本体部から前記第１旋回軸に接近する方向に延びる第１突出部と
を含み、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第１突出部は、前記第１本体部との接続部分から前記第１層間絶縁層の端部に向かって最短距離で延びていない、インダクタ部品。
続きを表示（約 2,900 文字）【請求項２】
磁性材料を含み、前記第１導体層および前記第１インダクタ配線が内部に位置する素体を備え、
前記素体は、その内部に、前記第１インダクタ配線よりも前記第１旋回軸に近い第１領域と、前記第１インダクタ配線よりも前記第１旋回軸から離れた第２領域とを有し、
前記第１領域および前記第２領域に、前記磁性材料が位置している、請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項３】
前記素体の内部に位置し、前記第１インダクタ配線の前記第１方向に交差する第２方向に交差する側面に接する第１絶縁層を備え、
前記第１突出部の前記第１方向の両端のうち、前記第１インダクタ配線に近い端部が、前記第１絶縁層に接し、
前記第１突出部が延びる方向における前記第１突出部の両端のうち、前記第１本体部から遠い方の端が、前記磁性材料に接している、請求項２に記載のインダクタ部品。
【請求項４】
前記第１導体層は、１．０μｍ未満の前記第１方向の寸法である厚みを有し、
前記第１導体層の前記厚みは、前記第１インダクタ配線の前記厚みの１／１００よりも小さい、請求項１～３のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項５】
前記第１仮想平面に対して平行に隣接する第２仮想平面に設けられた第２導体層と、
前記第２導体層上に設けられ、前記第１導体層および前記第２導体層の間に位置すると共に、前記第１方向に沿った第２旋回軸まわりに延在する第２インダクタ配線と、
前記第２導体層に接し、前記第１方向において、前記第２導体層に対して前記第２インダクタ配線とは反対側に位置する第２層間絶縁層と
を備え、
前記第２導体層が、
前記第２旋回軸まわりに延在する第２本体部と、
前記第２本体部から前記第２旋回軸に接近する方向に延びる第２突出部と
を含み、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第２突出部は、前記本体部との接続部分から前記第２層間絶縁層の端部に向かって最短距離で延びておらず、
前記第１インダクタ配線が、第１入力素子に接続される第１入力部と、出力素子に接続される第１出力部とを有し、
前記第２インダクタ配線が、前記第１入力素子とは異なる第２入力素子に接続される第２入力部と、前記出力素子に接続される第２出力部とを有し、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第１入力部および前記第２入力部は、前記第１方向に交差する第２方向において離れた位置にあり、前記第１出力部および前記第２出力部は相互に隣接している、請求項１～３のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項６】
前記第１導体層が、
前記第１本体部から、前記第１方向に交差する第２方向でかつ前記第１旋回軸から離れる方向、または、前記第２方向でかつ前記第１旋回軸に接近する方向に延びる引き出し部を含み、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記引き出し部が延びる方向に交差する方向における前記引き出し部の大きさを前記引き出し部の幅とし、前記第１インダクタ配線が延びる方向に交差する方向における前記第１インダクタ配線の大きさを前記第１インダクタ配線の幅とすると、
前記引き出し部の幅が、前記第１インダクタ配線の幅よりも大きい、請求項１～３のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項７】
前記素体の前記第１方向に交差する外面に設けられた外部端子と、
前記素体の内部に位置する垂直配線と
を備え、
前記垂直配線は、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第１領域および前記第２領域と重ならない位置に設けられ、前記第１方向に交差する第２方向において前記素体の磁性材料と接触していると共に、前記第１方向に延びて前記第１インダクタ配線および前記外部端子を接続している、請求項２に記載のインダクタ部品。
【請求項８】
前記第１導体層が、
前記第１本体部から、前記第１方向に交差する第２方向でかつ前記第１旋回軸に接近する方向に延びる引き出し部を含み、
前記引き出し部は、
前記第２方向において前記第１旋回軸に対向しかつ前記第１旋回軸から最も離れている前記第１本体部の部分に設けられている、請求項１～３のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項９】
前記第１仮想平面に対して平行に隣接する第２仮想平面に設けられた第２導体層と、
前記第２導体層上に設けられ、前記第１導体層および前記第２導体層の間に位置すると共に、前記第１方向に沿った第２旋回軸まわりに延在する第２インダクタ配線と、
前記第２導体層に接し、前記第１方向において、前記第２導体層に対して前記第２インダクタ配線とは反対側に位置する第２層間絶縁層と
を備え、
前記第２導体層が、
前記第２旋回軸まわりに位置する第２本体部と、
前記第２本体部から前記第２旋回軸に接近する方向に延びる第２突出部と
を含み、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第２突出部は、前記本体部との接続部分から前記第２層間絶縁層の端部に向かって最短距離で延びておらず、
前記第１導体層は、
前記第１本体部から、前記第１方向に交差する第２方向に沿って前記第１旋回軸から離れる方向に延びる第１引き出し部を含み、
前記第２導体層は、
前記第２本体部から、前記第２方向に沿って前記第２旋回軸から離れる方向に延びる第２引き出し部を含む、インダクタ部品であって、
前記第１引き出し部の前記第１方向の両端のうち、前記第１インダクタ配線に近い端部に接する第２絶縁層と、
前記第２引き出し部の前記第１方向の両端のうち、前記第２インダクタ配線に近い端部に接する第３絶縁層と
を備え、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第１引き出し部および前記第２引き出し部は重なる位置にあり、前記第３絶縁層は、前記第２絶縁層と同じ大きさか、または、前記第２絶縁層よりも小さく、前記第２絶縁層は、前記第３絶縁層の全体と重なっている、請求項１～３のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項１０】
前記第１導体層および前記第１インダクタ配線が内部に位置する素体を備え、
前記素体が、前記第１方向に交差する第２方向に交差する側面を有し、
前記第１導体層が、
前記第１本体部から、前記第２方向でかつ前記第１旋回軸から離れる方向に延びる引き出し部を含み、
前記引き出し部の前記第２方向の両端のうち、前記第１本体部から遠い方の先端部が、前記側面から露出し、少なくとも１つの絶縁層に接している、請求項１～３のいずれかに記載のインダクタ部品。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、インダクタ部品に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基板と、基板の主面上にめっき成長で設けられたコイルとを備えるコイル部品を開示する。特許文献１のコイル部品では、基板にコイルをめっき成長させるためのシードパターンが形成されている。シードパターンは、螺旋パターンと、螺旋パターンから基板の外部に向かって延びる導通パターンとを含んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－１０３５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のコイル部品では、導通パターンが、基板の側面に直交する方向に真っ直ぐに延びているため、製造時に、エッチング液により配線が浸食されて溶解する場合がある。製造時に配線が溶解すると、コイル部品の直流抵抗がばらついたり、直流抵抗が増大したりするおそれがある。
【０００５】
本開示は、直流抵抗のばらつきおよび増大を抑制可能なインダクタ部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様のインダクタ部品は、
第１仮想平面に位置する第１導体層と、
前記第１導体層上に設けられ、前記第１仮想平面に対して交差する第１方向に沿った第１旋回軸まわりに延在する第１インダクタ配線と、
前記第１導体層に接し、前記第１方向において、前記第１導体層に対して前記第１インダクタ配線とは反対側に位置する第１層間絶縁層と
を備え、
前記第１導体層は、
前記第１旋回軸まわりに延在する第１本体部と、
前記第１本体部から前記第１旋回軸に接近する方向に延びる第１突出部と
を含み、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第１突出部は、前記本体部との接続部分から前記第１層間絶縁層の端部に向かって最短距離で延びていない。
【発明の効果】
【０００７】
前記態様のインダクタ部品によれば、直流抵抗のばらつきおよび増大を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示の一態様のインダクタ部品を示す平面図。
図１のＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図。
図１のインダクタ部品の第１インダクタ配線および第３インダクタ配線の層を説明するための平面模式図。
図１のインダクタ部品の第２インダクタ配線および第４インダクタ配線の層を説明するための平面模式図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第１の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第２の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第３の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第４の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第５の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第６の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第７の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第８の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第９の図。
図１のインダクタ部品の製造方法の一例を説明するための第１０の図。
図１のインダクタ部品の第１の変形例を示す斜視図。
図１のインダクタ部品の第２の変形例を示す拡大側面図。
図１のインダクタ部品の第３の変形例を示す平面模式図。
図１のインダクタ部品の第４の変形例を示す平面模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の種々の態様について説明する。
【００１０】
第１態様のインダクタ部品は、
第１仮想平面に位置する第１導体層と、
前記第１導体層上に設けられ、前記第１仮想平面に対して交差する第１方向に沿った第１旋回軸まわりに延在する第１インダクタ配線と、
前記第１導体層に接し、前記第１方向において、前記第１導体層に対して前記第１インダクタ配線とは反対側に位置する第１層間絶縁層と
を備え、
前記第１導体層は、
前記第１旋回軸まわりに延在する第１本体部と、
前記第１本体部から前記第１旋回軸に接近する方向に延びる第１突出部と
を含み、
前記第１方向に沿って見た場合に、前記第１突出部は、前記本体部との接続部分から前記第１層間絶縁層の端部に向かって最短距離で延びていない。
（【００１１】以降は省略されています）

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