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公開番号2025148658
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-08
出願番号2024048889
出願日2024-03-26
発明の名称搬送用ハンドおよび搬送装置
出願人アスザック株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251001BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ある程度大きな反りが生じた搬送対象物についても確実に吸着して保持する。
【解決手段】薄板状の搬送対象物を載置可能な板状に形成されると共に搬送対象物を搬送する搬送装置に取り付け可能に構成されたセラミックス製の搬送用ハンド10であって、搬送対象物が載置される載置面Fに吸気口H20が開口され、かつ吸気口H20に連通させられた吸気路L20が搬送用ハンド10の板厚内に形成されると共に、搬送装置による吸気路L20を介しての吸気口H20からの吸気によって搬送対象物を吸着可能に構成された吸着部20を複数備え、各吸着部20は、搬送装置によって吸気される空気の通過が可能に多孔質セラミックスで形成された吸気量制限用部材30が吸気口H20に配設されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
薄板状の搬送対象物を載置可能な板状に形成されると共に当該搬送対象物を搬送する搬送装置に取り付け可能に構成されたセラミックス製の搬送用ハンドであって、
前記搬送対象物が載置される載置面に吸気口が開口され、かつ当該吸気口に連通させられた吸気路が当該搬送用ハンドの板厚内に形成されると共に、前記搬送装置による当該吸気路を介しての当該吸気口からの吸気によって当該搬送対象物を吸着可能に構成された吸着部を複数備え、
前記吸着部は、前記搬送装置によって吸気される空気の通過が可能に多孔質セラミックスで形成された吸気量制限用部材が前記吸気口に配設されている搬送用ハンド。
続きを表示（約 250 文字）【請求項２】
前記吸着部は、弾性樹脂材料で形成された吸着パッドを備え、
前記吸着パッドは、前記搬送装置によって吸気される空気の通過が可能な小孔が開口されて前記吸気口に装着され、
前記吸気量制限用部材は、前記吸着パッドの前記小孔に配設されている請求項１記載の搬送用ハンド。
【請求項３】
請求項１または２記載の搬送用ハンドを取り付け可能に構成されると共に、前記吸気路に接続される吸気機構を備えて、当該搬送用ハンドによって前記搬送対象物を搬送可能に構成されている搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハなどの薄板状の搬送対象物を載置可能に構成されると共に搬送装置に取り付け可能に構成された搬送用ハンド、およびそのような搬送用ハンドを備えて搬送対象物を搬送可能に構成された搬送装置に関するものである。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献には、薄板状のワークを搬送するのに用いられるワーク搬送用ハンド（以下、単に「搬送用ハンド」ともいう）が開示されている。この搬送用ハンドは、搬送ロボット（搬送装置）のベース部材に固定される支持体と、支持体におけるフォーク部に配設された４つの吸着機構とを備え、ワーク（搬送対象物）を４つの吸着機構によって吸着した状態で搬送することができるように構成されている。また、各吸着機構は、ガイド体による案内に従って支持体のフォーク部に対して昇降可能に配設された昇降体を備え、昇降体は、軟質樹脂材料やゴム材料で形成された吸着パッドを備えている。この場合、吸着パッドの中心部には孔が形成されており、この孔を介して搬送用ハンドとワークとの間の空気が吸引されることでワークを吸着して保持することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－００３０８４号公報（第４－１０頁、第１－８図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の特許文献に開示の搬送ハンドおよび搬送ロボット（搬送装置）には、以下のような解決すべき課題が存在する。具体的には、上記特許文献に開示の搬送用ハンドでは、吸着パッドに開口された孔を介して搬送用ハンドとワーク（搬送対象物）との間の空気が吸引されることで、ワークを吸着して保持した状態でこれを搬送することができるように構成されている。
【０００５】
一方、例えば半導体製造の分野においては、搬送対象物の一例であるシリコンウエハの薄厚化が進んでいる。この場合、半導体の製造プロセスには、シリコンウエハ上に薄膜を形成する工程が多数存在する。また、薄厚のシリコンウエハに薄膜を形成したときには、シリコンウエハおよび塗膜の熱膨張率（熱収縮率）の相違などに起因して、成膜後のシリコンウエハに反りが生じることがある。このため、この種の搬送用ハンド（搬送装置）を使用現場においては、反りが生じた状態の搬送対象物を搬送する必要が生じることがある。
【０００６】
ここで、上記特許文献に開示の搬送用ハンドでは、軟質樹脂材料やゴム材料で形成された吸着パッドが搬送対象物に接した状態でこれを吸着することで保持する構成のため、搬送対象物に生じた反りが小さなものであれば、４つの吸着機構において吸着パッドがそれぞれ弾性変形することで搬送対象物を吸着して保持することができる。しかしながら、搬送対象物に大きな反りが生じているときには、４つの吸着機構のうちの２つ、または３つにおいて吸着パッドに搬送対象物が接した状態となるものの、４つの吸着機構のうちの他の２つ、または他の１つにおいて、吸着パッドと搬送対象物とが大きく離間した状態となる。
【０００７】
かかる状態においては、搬送対象物に対して大きく離間した状態となっている吸着機構において、吸着パッドと搬送対象物との間の空気が吸着パッドの孔から吸引され続ける状態となり、この吸着機構において搬送対象物を吸着することができない。また、搬送対象物に対して大きく離間した状態となっている吸着機構において上記のように空気が吸引される状態が続くことで、搬送対象物に対して接している吸着機構に対して供給されるべき負圧が小さくなるため、搬送対象物に対して接している吸着機構においても、搬送対象物を吸着することができなかったり、吸着力が弱い状態となったりする。
【０００８】
このため、上記特許文献に開示の搬送用ハンド、およびこれを備えた搬送装置では、搬送対象物を保持することができず、搬送開始位置から搬出することができなかったり、搬送対象物を一時的に保持できたとしても、正常に吸着保持されていない搬送対象物が搬送中に落下したりするおそれがある。
【０００９】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、ある程度大きな反りが生じた搬送対象物についても確実に吸着して保持し可能な搬送用ハンドおよび搬送装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の搬送用ハンドは、薄板状の搬送対象物を載置可能な板状に形成されると共に当該搬送対象物を搬送する搬送装置に取り付け可能に構成されたセラミックス製の搬送用ハンドであって、前記搬送対象物が載置される載置面に複数の吸気口が開口され、かつ当該各吸気口に連通させられた吸気路が当該搬送用ハンドの板厚内に形成されると共に、前記搬送装置による当該吸気路を介しての当該各吸気口からの吸気によって当該搬送対象物を吸着して保持可能に構成された吸着部を備え、前記吸着部は、前記搬送装置によって吸気される空気の通過が可能に多孔質セラミックスで形成された吸気量制限用部材が前記吸気口にそれぞれ配設されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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