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公開番号2025136852
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035755
出願日2024-03-08
発明の名称プローブユニットおよびコンタクトプローブ
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01R 1/067 20060101AFI20250911BHJP(測定;試験)
要約【課題】プローブホルダに対する回転を抑制しつつ、コンタクトプローブの強度を確保することができるプローブユニットおよびコンタクトプローブを提供すること。
【解決手段】本発明に係るプローブユニットは、二つのコンタクトプローブからなるプローブ群を複数備えるとともに、コンタクトプローブを保持するプローブホルダを備えるプローブユニットであって、プローブホルダには、複数の前記コンタクトプローブを保持する複数のホルダ孔が形成され、コンタクトプローブは、先端で前記接触対象の一つの電極と接触する先端部と、先端部の基端側から延び、当該コンタクトプローブの長手軸と直交する方向の最大長さが、先端部の最大長さよりも大きいフランジ部と、を有し、フランジ部には、側面の一部に、平面状をなす平面部が設けられ、ホルダ孔は、フランジ部が係止する段付き形状をなすとともに、平面部に当接する壁面を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
長手方向の一方の端部側で接触対象の一つの電極とそれぞれ接触する二つのコンタクトプローブからなるプローブ群を複数備えるとともに、前記コンタクトプローブを保持するプローブホルダを備え、各コンタクトプローブが、他方の端部側で基板の異なる電極とそれぞれ接触するプローブユニットであって、
前記プローブホルダには、複数の前記コンタクトプローブを保持する複数のホルダ孔が形成され、
前記コンタクトプローブは、
先端で前記接触対象の一つの電極と接触する先端部と、
前記先端部の基端側から延び、当該コンタクトプローブの長手軸と直交する方向の最大長さが、前記先端部の最大長さよりも大きいフランジ部と、
を有し、
前記フランジ部には、側面の一部に、平面状をなす平面部が設けられ、
前記ホルダ孔は、前記フランジ部が係止する段付き形状をなすとともに、前記平面部に当接する壁面を有する、
ことを特徴とするプローブユニット。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
前記フランジ部には、前記長手軸に対して互いに反対側に設けられる二つの平面部が設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記フランジ部には、一つの平面部が設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記フランジ部には、前記平面部とは異なる位置であって、前記コンタクトプローブが前記プローブホルダに設置されている状態において、他方のコンタクトプローブに向かい合う第２平面部が設けられる、
ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一つに記載のプローブユニット。
【請求項５】
長手方向の一方の端部側で接触対象の一つの電極とそれぞれ接触するコンタクトプローブであって、
先端で前記接触対象の一つの電極と接触する先端部と、
前記先端部の基端側から延び、当該コンタクトプローブの長手軸と直交する方向の最大長さが、前記先端部の最大長さよりも大きいフランジ部と、
を有し、
前記フランジ部には、側面の一部に、平面状をなす平面部が設けられる、
ことを特徴とするコンタクトプローブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路や液晶パネルなどの検査対象の導通状態検査または動作特性検査に用いられるプローブユニットおよびコンタクトプローブに関するものである。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路や液晶表示装置などの検査対象物の導通状態検査や動作特性検査を行う際には、検査対象と検査用信号を出力する回路基板を有する信号処理装置との間の電気的な接続を図る導電性のコンタクトプローブが用いられる。上述した導通状態検査や動作特性検査の方法の一つとして、４端子測定法がある。この４端子測定法を用いるプローブユニットとして、プローブホルダに保持された一組のコンタクトプローブ（プローブ群）によって、各コンタクトプローブの先端を検査対象に接触させて電気特性を測定する技術が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１０５５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１が開示する技術では、コンタクトプローブがプローブホルダに対して回転することを抑制するため、先端部を平板状にし、平面部をホルダに当接させる構成としている。このため、先端部の体積が他の部分と比して小さく、検査の繰り返し等による耐久性が低下するという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、プローブホルダに対する回転を抑制しつつ、コンタクトプローブの強度を確保することができるプローブユニットおよびコンタクトプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるプローブユニットは、長手方向の一方の端部側で接触対象の一つの電極とそれぞれ接触する二つのコンタクトプローブからなるプローブ群を複数備えるとともに、前記コンタクトプローブを保持するプローブホルダを備え、各コンタクトプローブが、他方の端部側で基板の異なる電極とそれぞれ接触するプローブユニットであって、前記プローブホルダには、複数の前記コンタクトプローブを保持する複数のホルダ孔が形成され、前記コンタクトプローブは、先端で前記接触対象の一つの電極と接触する先端部と、前記先端部の基端側から延び、当該コンタクトプローブの長手軸と直交する方向の最大長さが、前記先端部の最大長さよりも大きいフランジ部と、を有し、前記フランジ部には、側面の一部に、平面状をなす平面部が設けられ、前記ホルダ孔は、前記フランジ部が係止する段付き形状をなすとともに、前記平面部に当接する壁面を有する、ことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明にかかるプローブユニットは、上記の発明において、前記フランジ部には、前記長手軸に対して互いに反対側に設けられる二つの平面部が設けられる、ことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかるプローブユニットは、上記の発明において、前記フランジ部には、一つの平面部が設けられる、ことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかるプローブユニットは、上記の発明において、前記フランジ部には、前記平面部とは異なる位置であって、前記コンタクトプローブが前記プローブホルダに設置されている状態において、他方のコンタクトプローブに向かい合う第２平面部が設けられる、ことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明にかかるコンタクトプローブは、上記の発明において、長手方向の一方の端部側で接触対象の一つの電極とそれぞれ接触するコンタクトプローブであって、先端で前記接触対象の一つの電極と接触する先端部と、前記先端部の基端側から延び、当該コンタクトプローブの長手軸と直交する方向の最大長さが、前記先端部の最大長さよりも大きいフランジ部と、を有し、前記フランジ部には、側面の一部に、平面状をなす平面部が設けられる、ことを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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