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公開番号2025135296
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-18
出願番号2024033061
出願日2024-03-05
発明の名称液体処理システム、情報処理装置および情報処理方法
出願人オルガノ株式会社
代理人個人,個人
主分類C02F 1/00 20230101AFI20250910BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】処理水の水質を連続的に予測する。
【解決手段】第1のポイントにおける液体の水質を第1の水質として断続的に測定する測定器210と、液体処理装置における不純物を除去する性能と第1のポイントから第1のポイントよりも下流に設けられた第2のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と第1のポイントから第2のポイントまでの間の液体の流量との少なくとも1つと、第1の水質と、に基づいて、第2のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する情報処理装置100と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１のポイントにおける液体の水質を第１の水質として断続的に測定する第１の測定器と、
前記第１のポイントから該第１のポイントよりも下流に設けられた第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する情報処理装置と、を有する液体処理システム。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
請求項１に記載の液体処理システムにおいて、
前記第１のポイントと前記第２のポイントとの間に配置され、前記液体から不純物を除去する液体処理装置を有し、
前記情報処理装置は、前記液体処理装置における前記不純物を除去する性能と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する液体処理システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体処理システムにおいて、
前記情報処理装置は、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データの予測に、前記第１のポイントを通過した前記液体が前記第２のポイントに到着するまでの移動時間を用いる液体処理システム。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の液体処理システムにおいて、
前記第２のポイントにおける前記液体の第２の水質を測定する第２の測定器を有し、
前記情報処理装置は、前記第２の測定器が測定した前記第２の水質を用いて、前記予測した水質の連続的な時系列データを補正する液体処理システム。
【請求項５】
請求項４に記載の液体処理システムにおいて、
前記第２の測定器の感度は、前記第１の測定器の感度よりも高い液体処理システム。
【請求項６】
請求項１に記載の液体処理システムにおいて、
前記第１のポイントおよび前記第２のポイントは、当該液体処理システムからユースポイントに前記液体を供給する供給配管に設けられている、液体処理システム。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載の液体処理システムにおいて、
前記第１のポイントは、当該液体処理システムに前記液体を供給する供給配管に設けられ、
前記第２のポイントは、当該液体処理システムからユースポイントに前記液体を供給する供給配管に設けられている、液体処理システム。
【請求項８】
第１のポイントにおける液体の水質を第１の水質として断続的に取得する取得部と、
前記第１のポイントから該第１のポイントよりも下流に設けられた第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する水質予測部と、を有する情報処理装置。
【請求項９】
第１のポイントにおける液体の水質を第１の水質として断続的に取得する処理と、
前記第１のポイントから該第１のポイントよりも下流に設けられた第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する処理と、を行う情報処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体処理システム、情報処理装置および情報処理方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
一般的に、超純水製造設備からユースポイント（例えば、半導体洗浄装置内の使用箇所）へ供給される超純水の水質の検査方法の１つとして、イオン交換体を用いた濃縮法による分析を用いるものが挙げられる。このような濃縮法による分析として、所定の期間、イオン交換体に超純水を通水させて、そのイオン交換体を取り外して回収し、回収したイオン交換体から不純物を溶離させてその濃度を測定することで、超純水の水質を検査する方法が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－１５３８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような技術においては、検査の結果、超純水に含まれていた不純物の濃度が基準値を超えていることが判明しても、その後段には基準値を超えた濃度の超純水がすでに供給されてしまう。そのため、超純水製造設備からその後段に供給される超純水の不純物濃度を連続的に予測することが望まれる。
【０００５】
本発明の目的は、処理水の水質を連続的に予測することができる液体処理システム、情報処理装置および情報処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体処理システムは、
第１のポイントにおける液体の水質を第１の水質として断続的に測定する第１の測定器と、
前記第１のポイントから該第１のポイントよりも下流に設けられた第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する情報処理装置と、を有する。
【０００７】
また、本発明の情報処理装置は、
第１のポイントにおける液体の水質を第１の水質として断続的に取得する取得部と、
前記第１のポイントから該第１のポイントよりも下流に設けられた第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する水質予測部と、を有する。
【０００８】
また、本発明の情報処理方法は、
第１のポイントにおける液体の水質を第１の水質として断続的に取得する処理と、
前記第１のポイントから該第１のポイントよりも下流に設けられた第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する処理と、を行う。
【０００９】
また、本発明のプログラムは、
コンピュータに、
第１のポイントにおける液体の水質を第１の水質として断続的に取得する手順と、
前記第１のポイントから該第１のポイントよりも下流に設けられた第２のポイントまでの間に設けられた制御装置の運転状況と前記第１のポイントから前記第２のポイントまでの間の前記液体の流量との少なくとも１つと、前記第１の水質と、に基づいて、前記第２のポイントにおける液体の水質の連続的な時系列データを予測する手順と、を実行させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、処理水の水質を連続的に予測することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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