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公開番号2025135183
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-18
出願番号2024032865
出願日2024-03-05
発明の名称流体制御装置
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人楓国際特許事務所
主分類F04B 45/047 20060101AFI20250910BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】高い冷却効率を有する小型化の流体制御装置を構成する。
【解決手段】流体制御装置は、ポンプ筐体を備えるポンプとバルブ筐体を備えるバルブとが第1方向に並んで配置される。ポンプは、ポンプ筐体に形成された第1孔と第2孔と、第1孔から第2孔に気体を送出可能な振動体とを備える。バルブは、ポンプ筐体に接続する側の第1バルブ筐体部材に形成された第2孔と、第1バルブ筐体部材に対向して配置された第2バルブ筐体部材に形成された第3孔と、バルブ筐体の第2バルブ筐体部材に形成された排気路とを備える。バルブ筐体の第2バルブ筐体部材は、ポンプ筐体の外形と重ならない部分で構成される突出部を備える。突出部は、排気路の一部を備える。外部へ開口する排気路の外側端面は、第1方向におけるポンプ側に向いている。振動体は、ポンプ筐体から突出する振動体突出部を備える。排気路の外側端面の一部は、ポンプ筐体よりも外側に位置する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ポンプ筐体を備えるポンプとバルブ筐体を備えるバルブとが第１方向に並んで配置される流体制御装置であって、
前記ポンプは、
前記ポンプ筐体に形成された第１孔と、
前記ポンプ筐体に形成された第２孔と、
前記ポンプ筐体に配置され、前記第１孔から前記第２孔へ気体を送出可能な振動体と、
を備え、
前記バルブは、
前記バルブ筐体における前記ポンプ筐体に接続する側の第１バルブ筐体部材に形成された前記第２孔と、
前記バルブ筐体における前記第１バルブ筐体部材に対向して配置された第２バルブ筐体部材に形成された第３孔と、
前記バルブ筐体の前記第２バルブ筐体部材に形成された排気路と、
を備え、
前記第２バルブ筐体部材は、前記第１方向に視て前記ポンプ筐体の外形と重ならない部分で構成される突出部を備え、
前記突出部は、前記排気路の少なくとも一部を備え、
外部へ開口する前記排気路の外側端面は、前記第１方向における前記ポンプ側に向いており、
前記振動体は、前記第１方向に視て前記ポンプ筐体から突出する振動体突出部を備え、
前記第１方向に視て、前記排気路の前記外側端面の少なくとも一部は、前記ポンプ筐体よりも外側に位置する、
流体制御装置。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
前記第１方向に視て、前記排気路の前記外側端面は前記振動体突出部に重ならない、
請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記排気路を複数備え、
前記複数の排気路は、前記第１方向に視た前記バルブ筐体の中心に対して点対称の位置に配置される、
請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記第１方向に視て、前記排気路の前記外側端面は、前記ポンプ筐体に重なる部分を有する、
請求項１に記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記振動体は、圧電体と、金属を材料とする振動体と、の積層構造を備え、
前記振動体は、前記ポンプ筐体に保持され、かつ、前記振動体突出部を備える、
請求項１に記載の流体制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体等の流体を搬送する流体制御装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、流体制御装置が記載されている。特許文献１の流体制御装置は、ポンプ筐体、急速排気バルブ、および、ヒートシンクを備える。急速排気バルブは、吐出孔と排気路を備えている。
【０００３】
ヒートシンクは、ポンプ筐体に物理的に接続する。ヒートシンクの一部は、排気路に対向する位置に配置される。
【０００４】
流体制御装置は、ポンプの駆動時には、急速排気バルブの吐出孔に連通するカフに空気を供給する。流体制御装置は、ポンプの駆動停止時には、急速排気バルブの排気路から、カフにたまった空気を排出する。
【０００５】
排気路から排出された空気は、ヒートシンクに当たり、ヒートシンクを冷却する。ヒートシンクが冷却されることで、ポンプ筐体が冷却される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－２０００６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のような従来の流体制御装置では、ポンプ筐体の冷却にヒートシンクを必要とするので、大型化してしまう。また、ポンプ筐体は、間接的に冷却されるため、高い冷却効率を実現することが難しかった。
【０００８】
したがって、本発明の目的は、高い冷却効率を有する小型化の流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明の一実施形態に係る流体制御装置は、ポンプ筐体を備えるポンプとバルブ筐体を備えるバルブとが第１方向に並んで配置される。ポンプは、ポンプ筐体に形成された第１孔と、ポンプ筐体に形成された第２孔と、ポンプ筐体に配置され、第１孔から第２孔に気体を送出可能な振動体と、を備える。バルブは、バルブ筐体におけるポンプ筐体に接続する側の第１バルブ筐体部材に形成された第２孔と、バルブ筐体における第１バルブ筐体部材に対向して配置された第２バルブ筐体部材に形成された第３孔と、バルブ筐体の第２バルブ筐体部材に形成された排気路と、を備える。
【００１０】
バルブ筐体の第２バルブ筐体部材は、第１方向に視てポンプ筐体の外形と重ならない部分で構成される突出部を備える。突出部は、排気路の少なくとも一部を備える。外部へ開口する排気路の外側端面は、第１方向におけるポンプ側に向いている。振動体は、第１方向に視てポンプ筐体から突出する振動体突出部を備える。第１方向に視て、排気路の外側端面の少なくとも一部は、ポンプ筐体よりも外側に位置する。
（【００１１】以降は省略されています）

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