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公開番号2025122531
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-21
出願番号2024018095
出願日2024-02-08
発明の名称弾性波共振子および弾性波フィルタ装置
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類H03H 9/145 20060101AFI20250814BHJP(基本電子回路)
要約【課題】弾性波共振子の共振周波数よりも低周波側においてリップルが発生することを抑制する。
【解決手段】弾性波共振子10のIDT電極11は、端部11eにおいて、反射器12に最も近い第1領域T1、第1領域T1よりも中央部11d側に位置する第2領域T2、および、第2領域T2よりも中央部11d側に位置する第3領域T3を有する。第1領域T1において、反射器12に最も近い第1電極指f1と第1電極指f1の隣に位置する第2電極指f2との電極指ピッチである第1ピッチp1は、平均IDTピッチPiaよりも小さい。第3領域T3にて隣り合う2つの電極指の電極指ピッチPiである第3ピッチp3は、平均IDTピッチPiaよりも小さい。第2領域T2にて隣り合う2つの電極指の電極指ピッチPiである第2ピッチp2は、第1ピッチp1および第3ピッチp3のいずれよりも大きい。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
圧電性基板と、
前記圧電性基板の主面に形成されたＩＤＴ電極および複数の反射器と、
を備え、
前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板の主面に沿う方向である第１方向および第２方向において、前記第１方向に交差する前記第２方向に延びるように配置された複数の電極指を有し、
前記複数の反射器のそれぞれは、前記第１方向において前記ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の反射電極指を有し、
前記複数の電極指のうち、前記第１方向に隣り合う電極指同士の前記第１方向における中心間距離を電極指ピッチと定義し、
前記複数の反射電極指のうち、前記第１方向に隣り合う反射電極指同士の前記第１方向における中心間距離を反射電極指ピッチと定義し、
前記ＩＤＴ電極の中央部における複数の前記電極指ピッチの平均値を平均ＩＤＴピッチとし、前記反射器における複数の前記反射電極指ピッチの平均値を平均反射器ピッチとした場合に、
前記平均ＩＤＴピッチは、前記平均反射器ピッチよりも小さく、
前記ＩＤＴ電極は、前記中央部とは異なる端部において、前記反射器に最も近い第１領域、前記第１領域よりも前記中央部側に位置する第２領域、および、前記第２領域よりも前記中央部側に位置する第３領域を有し、
前記第１領域において、前記反射器に最も近い第１電極指と前記第１電極指の隣に位置する第２電極指との前記電極指ピッチである第１ピッチは、前記平均ＩＤＴピッチよりも小さく、
前記第２領域にて隣り合う２つの前記電極指の前記電極指ピッチである第２ピッチは、前記第１ピッチよりも大きく、
前記第３領域にて隣り合う２つの前記電極指の前記電極指ピッチである第３ピッチは、前記第２ピッチよりも小さく、かつ、前記平均ＩＤＴピッチよりも小さい
弾性波共振子。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第２ピッチは、前記平均ＩＤＴピッチの０．９９倍以上１．０１倍以下である
請求項１に記載の弾性波共振子。
【請求項３】
さらに、前記第３領域よりも前記中央部側に位置する第４領域、および、前記第４領域よりも前記中央部側に位置する第５領域を有し、
前記第４領域にて隣り合う２つの前記電極指の前記電極指ピッチである第４ピッチは、前記第３ピッチよりも大きく、
前記第５領域にて隣り合う２つの前記電極指の前記電極指ピッチである第５ピッチは、前記第４ピッチよりも小さく、かつ、前記平均ＩＤＴピッチよりも小さい
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項４】
前記ＩＤＴ電極は、前記第１方向に沿って並ぶ３つの前記電極指ピッチにおいて、両外側の２つの前記電極指ピッチの間に位置する内側の１つの電極指ピッチが、前記両外側の２つの前記電極指ピッチよりも小さい値となるピッチ構造を有し、
前記ＩＤＴ電極の前記端部において、複数の前記ピッチ構造を有する
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項５】
前記第１方向に沿って配置された第１弾性波共振子および第２弾性波共振子を備え、
前記第１弾性波共振子および前記第２弾性波共振子のそれぞれは、ＩＤＴ電極および複数の反射器を有し、
前記第１弾性波共振子の前記複数の反射器のうち前記第２弾性波共振子の隣に位置する反射器、および、前記第２弾性波共振子の前記複数の反射器のうち前記第１弾性波共振子の隣に位置する反射器は、１つの反射器で共用され、
前記第１弾性波共振子は、請求項１または２に記載の弾性波共振子によって構成され、
前記第１弾性波共振子の前記平均ＩＤＴピッチは、前記第２弾性波共振子の前記ＩＤＴ電極の前記電極指ピッチよりも小さく、かつ、共用された前記１つの反射器の前記反射電極指ピッチよりも小さい
弾性波フィルタ装置。
【請求項６】
前記弾性波フィルタ装置は、複数の直列腕共振子および複数の並列腕共振子を有するラダー構造を有し、
前記複数の直列腕共振子の少なくとも１つは、前記第１弾性波共振子によって構成され、
前記複数の並列腕共振子の少なくとも１つは、前記第２弾性波共振子によって構成されている
請求項５に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項７】
共用された前記１つの反射器の前記反射電極指ピッチは、前記第２弾性波共振子の前記ＩＤＴ電極の前記電極指ピッチの０．９９倍以上１．０１倍以下である
請求項５に記載の弾性波フィルタ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波共振子、および、弾性波共振子を有する弾性波フィルタ装置に関する。
続きを表示（約 2,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＤＴ電極および複数の反射器を備える弾性波共振子が知られている。特許文献１には、ＩＤＴ電極の端部の電極指のピッチを変えることで、弾性波共振子の共振周波数よりも低周波側において発生するリップルを低減する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１８２４６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし特許文献１に記載された弾性波共振子では、弾性波共振子の共振周波数よりも低周波側の一部の帯域においてリップルが発生することがある。
【０００５】
本発明は、弾性波共振子の共振周波数よりも低周波側においてリップルが発生することを抑制できる弾性波共振子等を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る弾性波共振子は、圧電性基板と、前記圧電性基板の主面に形成されたＩＤＴ電極および複数の反射器と、を備え、前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板の主面に沿う方向である第１方向および第２方向において、前記第１方向に交差する前記第２方向に延びるように配置された複数の電極指を有し、前記複数の反射器のそれぞれは、前記第１方向において前記ＩＤＴ電極の両外側に配置され、前記第２方向に延びるように配置された複数の反射電極指を有し、前記複数の電極指のうち、前記第１方向に隣り合う電極指同士の前記第１方向における中心間距離を電極指ピッチと定義し、前記複数の反射電極指のうち、前記第１方向に隣り合う反射電極指同士の前記第１方向における中心間距離を反射電極指ピッチと定義し、前記ＩＤＴ電極の中央部における複数の前記電極指ピッチの平均値を平均ＩＤＴピッチとし、前記反射器における複数の前記反射電極指ピッチの平均値を平均反射器ピッチとした場合に、前記平均ＩＤＴピッチは、前記平均反射器ピッチよりも小さく、前記ＩＤＴ電極は、前記中央部とは異なる端部において、前記反射器に最も近い第１領域、前記第１領域よりも前記中央部側に位置する第２領域、および、前記第２領域よりも前記中央部側に位置する第３領域を有し、前記第１領域において、前記反射器に最も近い第１電極指と前記第１電極指の隣に位置する第２電極指との前記電極指ピッチである第１ピッチは、前記平均ＩＤＴピッチよりも小さく、前記第２領域にて隣り合う２つの前記電極指の前記電極指ピッチである第２ピッチは、前記第１ピッチよりも大きく、前記第３領域にて隣り合う２つの前記電極指の前記電極指ピッチである第３ピッチは、前記第２ピッチよりも小さく、かつ、前記平均ＩＤＴピッチよりも小さい。
【０００７】
本発明の一態様に係る弾性波フィルタ装置は、前記第１方向に沿って配置された第１弾性波共振子および第２弾性波共振子を備え、前記第１弾性波共振子および前記第２弾性波共振子のそれぞれは、ＩＤＴ電極および複数の反射器を有し、前記第１弾性波共振子の前記複数の反射器のうち前記第２弾性波共振子の隣に位置する反射器、および、前記第２弾性波共振子の前記複数の反射器のうち前記第１弾性波共振子の隣に位置する反射器は、１つの反射器で共用され、前記第１弾性波共振子は、請求項１または２に記載の弾性波共振子によって構成され、前記第１弾性波共振子の前記平均ＩＤＴピッチは、前記第２弾性波共振子の前記ＩＤＴ電極の前記電極指ピッチよりも小さく、かつ、共用された前記１つの反射器の前記反射電極指ピッチよりも小さい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る弾性波共振子等によれば、弾性波共振子の共振周波数よりも低周波側においてリップルが発生することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施の形態１に係る弾性波共振子の電極構成を模式的に表す平面図および断面図である。
弾性波共振子に含まれるＩＤＴ電極の第１領域、第２領域および第３領域等を示す図である。
ＩＤＴ電極の電極指ピッチおよび反射器の反射電極指ピッチの一例を示す図である。
ＩＤＴ電極の電極指ピッチおよび反射器の反射電極指ピッチの他の一例を示す図である。
ＩＤＴ電極の電極指ピッチおよび反射器の反射電極指ピッチの他の一例を示す図である。
実施例１、２、３、４の弾性波共振子の電極パラメータを示す図である。
比較例１、参考例および実施例１の弾性波共振子の電極指ピッチを示す図である（ただし平均ＩＤＴピッチに対する平均反射器ピッチの比であるピッチ比を１．０４としたときの例）。
比較例１、参考例および実施例１の弾性波共振子の反射損失を示す図である（ピッチ比を１．０４としたときの例）。
比較例１、参考例および実施例２の弾性波共振子の電極指ピッチを示す図である（ピッチ比を１．０５としたときの例）。
比較例１、参考例および実施例２の弾性波共振子の反射損失を示す図である（ピッチ比を１．０５としたときの例）。
比較例１、参考例および実施例３の弾性波共振子の電極指ピッチを示す図である（ピッチ比を１．０６としたときの例）。
比較例１、参考例および実施例３の弾性波共振子の反射損失を示す図である（ピッチ比を１．０６としたときの例）。
比較例１、参考例および実施例４の弾性波共振子の電極指ピッチを示す図である（ピッチ比を１．１０としたときの例）。
比較例１、参考例および実施例４の弾性波共振子の反射損失を示す図である（ピッチ比を１．１０としたときの例）。
比較例２および実施例４の弾性波共振子の電極指ピッチを示す図である（ピッチ比を１．１０としたときの例）。
比較例２および実施例４の弾性波共振子の反射損失を示す図である（ピッチ比を１．１０としたときの例）。
実施の形態２に係る弾性波フィルタ装置の回路構成を示す図である。
弾性波フィルタ装置に含まれる第１弾性波共振子および第２弾性波共振子のＩＤＴ電極の電極指ピッチ、反射器の反射電極指ピッチの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図表を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施例は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施例で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施例における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさまたは大きさの比は、必ずしも厳密ではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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