特許ウォッチ

公開番号2025121244
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-19
出願番号2024016574
出願日2024-02-06
発明の名称金属板の寸法の測定方法及び測定装置並びにマスクの製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250812BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】マスクを構成する金属板のより正確な寸法の測定方法及び測定装置並びにマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】マスクを構成する金属板の寸法の測定方法は、平面視において金属板がステージ81の支持面811に重なるように金属板を配置する配置工程と、金属板を支持面へ引き寄せる電気的な力を発生させる引き寄せ工程と、金属板の寸法を測定する測定工程と、を備えてもよい。
【選択図】図12
特許請求の範囲【請求項１】
金属板の寸法の測定方法であって、
平面視において前記金属板がステージの支持面に重なるように前記金属板を配置する配置工程と、
前記金属板を前記支持面へ引き寄せる電気的な力を発生させる引き寄せ工程と、
前記金属板の寸法を測定する測定工程と、を備える、測定方法。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記金属板は、マスクを構成しており、
前記マスクは、第１方向において対向する第１端部及び第２端部と、前記第１端部と前記第２端部の間に位置し、複数の貫通孔が形成された中間部と、を含む、請求項１に記載の測定方法。
【請求項３】
前記測定工程は、前記第１方向における前記金属板の寸法を測定する第１測定工程と、前記第１方向に直交する第２方向における前記金属板の寸法を測定する第２測定工程と、を含む、請求項２に記載の測定方法。
【請求項４】
前記複数の貫通孔はそれぞれ、５０μｍ以下の寸法を有する、請求項２に記載の測定方法。
【請求項５】
前記金属板は、３０μｍ以下の厚みを有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の測定方法。
【請求項６】
前記電気的な力は、クーロン力又はジョンソン・ラーベック力である、請求項１～４のいずれか一項に記載の測定方法。
【請求項７】
前記ステージは、静電チャックによって構成される、請求項６に記載の測定方法。
【請求項８】
前記引き寄せ工程は、前記金属板を帯電させるチャージ工程と、帯電した前記金属板を、導電体を用いて前記支持面へ引き寄せる工程と、を含む、請求項６に記載の測定方法。
【請求項９】
前記チャージ工程は、前記金属板の上方に位置し、平面視において前記金属板を横断する帯電バーによって実施される、請求項８に記載の測定方法。
【請求項１０】
前記測定工程は、前記金属板の上方に位置するカメラを用いて前記金属板を観察する観察工程を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載の測定方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、金属板の寸法の測定方法及び測定装置並びにマスクの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
スマートフォンやタブレットＰＣ等の電子デバイスにおいて、高精細な表示装置が、市場から求められている。表示装置は、例えば、４００ｐｐｉ以上または８００ｐｐｉ以上等の画素密度を有する。
【０００３】
応答性の良さ、消費電力の低さやコントラストの高さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。画素、電極などの有機ＥＬ表示装置の構成要素を基板の上に形成する方法として、蒸着法が知られている。蒸着法においては、マスク装置が用いられる。マスク装置は、複数の貫通孔を含むマスクと、マスクを支持するフレームと、を備える。複数の貫通孔を通過した材料が基板に付着することにより、画素、電極などを構成する層が基板の上に形成される。基板の上に形成される層の形状及び位置の精度は、マスクの貫通孔の形状及び位置の精度に影響される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開２０１９／０４９６００号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
マスクを構成する金属板は、局所的に反った部分を含むことがある。局所的な反りは、マスクの検査の正確な実施を阻害する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態による金属板の寸法の測定方法は、平面視において前記金属板がステージの支持面に重なるように前記金属板を配置する配置工程と、前記金属板を前記支持面へ引き寄せる電気的な力を発生させる引き寄せ工程と、前記金属板の寸法を測定する測定工程と、を備えてもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、金属板の寸法をより正確に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
有機デバイスの一例を示す断面図である。
有機デバイス群の一例を示す平面図である。
蒸着装置の一例を示す断面図である。
マスク装置の一例を示す平面図である。
マスクの一例を示す平面図である。
マスクの一例を示す断面図である。
母材を圧延する圧延工程の一例を示す図である。
金属板に複数の貫通孔を形成する加工工程を示す図である。
局所的な反りを有するマスクの一例を示す図である。
局所的な反りを有するマスクの一例を示す図である。
局所的な反りを有するマスクの一例を示す図である。
測定装置の一例を示す図である。
引き寄せ装置の一例を示す断面図である。
測定装置の一例を示す図である。
引き寄せ装置の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、「基板」や「基材」や「板」や「シート」や「フィルム」などのある構成の基礎となる物質を意味する用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。
【００１０】
本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許