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公開番号2025111609
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-30
出願番号2025070748,2023059194
出願日2025-04-22,2017-12-13
発明の名称蒸着マスクの中間製品の製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250723BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】蒸着マスクの輪郭を精度良く検出することができる、蒸着マスクの中間製品の製造方法の提供。
【解決手段】中間製品の製造方法は、金属板を加工し、金属板に、複数の蒸着マスク部分51と、支持部分56と、を形成する加工工程と、蒸着マスク部分を金属板から分離する分離工程と、を備える。蒸着マスク部分は、蒸着マスクの長手方向における蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の長側面26と、蒸着マスク部分の幅方向における蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の短側面27と、を備える。長側面は、第1面側に位置する第1端部と、第2面側に位置するとともに第1端部よりも内側に位置する第2端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第1部分を有する。貫通孔は、第1面側に形成された第1凹部と、第2面側に形成され、孔接続部において第1凹部に接続された第2凹部と、を含む。長側面の第1部分の第1端部が、孔接続部よりも第1面側に位置する。
【選択図】図22A
特許請求の範囲【請求項１】
蒸着マスクの中間製品の製造方法であって、
金属板を加工して、前記金属板に、複数の貫通孔が形成された複数の蒸着マスク部分と、平面視において前記蒸着マスク部分を囲むとともに前記蒸着マスク部分に部分的に接続されている支持部分と、を形成する加工工程と、
前記蒸着マスク部分を前記金属板から分離する分離工程と、を備え、
前記蒸着マスク部分は、
前記貫通孔が形成された第１面及び第２面と、
前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の長手方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の長側面と、
前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の幅方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の短側面と、を備え、
前記長側面は、前記第１面側に位置する第１端部と、前記第２面側に位置するとともに前記第１端部よりも内側に位置する第２端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第１部分を有し、
前記貫通孔は、前記第１面側に形成された第１凹部と、前記第２面側に形成され、孔接続部において前記第１凹部に接続された第２凹部と、を含み、
前記長側面の前記第１部分の前記第１端部が、前記孔接続部よりも前記第１面側に位置する、中間製品の製造方法。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第１端部は、前記第１面と前記長側面とが接続される第１接続部であって、前記第１面と同一平面上に位置する第１接続部に一致している、請求項１に記載の中間製品の製造方法。
【請求項３】
前記第１端部は、前記第１面と前記長側面とが接続される第１接続部であって、前記第１面と同一平面上に位置する第１接続部よりも外側に位置する、請求項１に記載の中間製品の製造方法。
【請求項４】
蒸着マスクの中間製品の製造方法であって、
金属板を加工して、前記金属板に、複数の貫通孔が形成された複数の蒸着マスク部分と、平面視において前記蒸着マスク部分を囲むとともに前記蒸着マスク部分に部分的に接続されている支持部分と、を形成する加工工程と、
前記蒸着マスク部分を前記金属板から分離する分離工程と、を備え、
前記蒸着マスク部分は、
前記貫通孔が形成された第１面及び第２面と、
前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の長手方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の長側面と、
前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の幅方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の短側面と、を備え、
前記長側面は、前記第１面側に位置する第１端部と、前記第２面側に位置するとともに前記第１端部よりも内側に位置する第２端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第１部分と、前記第１部分の前記第１端部に接続されるとともに前記第１面に至る第２部分と、を有し、
前記第１面と前記長側面の前記第２部分とが接続される第１接続部であって、前記第１面と同一平面上に位置する第１接続部と、前記長側面の前記第１部分の前記第１端部との間の、前記第１面の面方向における距離が、３．５μｍ以下である、中間製品の製造方法。
【請求項５】
前記長側面は、前記第１部分と、前記第１部分の前記第１端部に接続されるとともに前記第１面に至る第２部分と、を有し、
前記第１面と前記長側面の前記第２部分とが接続される第１接続部であって、前記第１面と同一平面上に位置する第１接続部と、前記長側面の前記第１部分の前記第１端部との間の、前記第１面の面方向における距離が、３．５μｍ以下である、請求項１又は３に記載の中間製品の製造方法。
【請求項６】
前記第１部分は、前記第１端部と前記第２端部とを通る仮想的な平面又は直線よりも内側に位置する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の中間製品の製造方法。
【請求項７】
前記蒸着マスク部分の厚みは、５０μｍ以下である、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の中間製品の製造方法。
【請求項８】
前記第２端部は、前記第２面と前記長側面とが接続される第２接続部であって、前記第２面と同一平面上に位置する第２接続部に一致している、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の中間製品の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、蒸着マスク及の中間製品の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置に対して、高精細であること、例えば画素密度が４００ｐｐｉ以上であることが求められている。また、持ち運び可能なデバイスにおいても、ウルトラフルハイビジョンに対応することへの需要が高まっており、この場合、表示装置の画素密度が例えば８００ｐｐｉ以上であることが求められる。
【０００３】
表示装置の中でも、応答性の良さ、消費電力の低さやコントラストの高さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔が形成された蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板に対して蒸着マスクを密着させ、次に、密着させた蒸着マスクおよび基板を共に蒸着装置に投入し、有機材料を基板に蒸着させる蒸着工程を行う。これによって、蒸着マスクの貫通孔のパターンに対応したパターンで、基板上に、有機材料を含む画素を形成することができる。
【０００４】
蒸着工程において、蒸着マスクは、例えば特許文献１に開示されているように、所定の剛性を有するフレームに固定されている。例えば、蒸着マスクが、一対の長辺及び一対の短辺を含む矩形状の形状を有する場合、蒸着マスクは、長辺の方向に引っ張られた状態でフレームに固定される。これによって、蒸着マスクが撓むことを抑制し、画素の寸法精度や位置精度を高めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第５３８２２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基板に形成される画素の位置精度を決める要因として、基板又はフレームに対する蒸着マスクの位置合わせの精度を挙げることができる。位置合わせの際の蒸着マスクの基準位置としては、例えば、蒸着マスクの外形の輪郭が用いられる。蒸着マスクの輪郭の位置は、例えば、カメラなどを用いて蒸着マスクを撮影することによって検出される。
【０００７】
カメラなどを用いて撮影した画像に基づいて蒸着マスクの輪郭の位置を検出する工程においては、蒸着マスクの領域とその他の領域との境界が画像に明確に表れていることが好ましい。しかしながら、蒸着マスクの輪郭を画定する部分において光の散乱が生じていると、画像において蒸着マスクの領域とその他の領域との境界がぼやけてしまう。
【０００８】
本開示の実施形態は、このような課題を効果的に解決し得る蒸着マスクの中間製品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の第１の実施形態は、蒸着マスクの中間製品の製造方法であって、金属板を加工して、前記金属板に、複数の貫通孔が形成された複数の蒸着マスク部分と、平面視において前記蒸着マスク部分を囲むとともに前記蒸着マスク部分に部分的に接続されている支持部分と、を形成する加工工程と、前記蒸着マスク部分を前記金属板から分離する分離工程と、を備え、前記蒸着マスク部分は、前記貫通孔が形成された第１面及び第２面と、前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の長手方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の長側面と、前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の幅方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の短側面と、を備え、前記長側面は、前記第１面側に位置する第１端部と、前記第２面側に位置するとともに前記第１端部よりも内側に位置する第２端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第１部分を有し、前記貫通孔は、前記第１面側に形成された第１凹部と、前記第２面側に形成され、孔接続部において前記第１凹部に接続された第２凹部と、を含み、前記長側面の前記第１部分の前記第１端部が、前記孔接続部よりも前記第１面側に位置する、中間製品である。前記第１端部は、前記第１面と前記長側面とが接続される第１接続部であって、前記第１面と同一平面上に位置する第１接続部に一致していてもよい。若しくは、前記第１端部は、前記第１面と前記長側面とが接続される第１接続部であって、前記第１面と同一平面上に位置する第１接続部よりも外側に位置していてもよい。
【００１０】
本開示の第２の実施形態は、蒸着マスクの中間製品の製造方法であって、金属板を加工して、前記金属板に、複数の貫通孔が形成された複数の蒸着マスク部分と、平面視において前記蒸着マスク部分を囲むとともに前記蒸着マスク部分に部分的に接続されている支持部分と、を形成する加工工程と、前記蒸着マスク部分を前記金属板から分離する分離工程と、を備え、前記蒸着マスク部分は、前記貫通孔が形成された第１面及び第２面と、前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の長手方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の長側面と、前記第１面及び前記第２面に接続され、前記蒸着マスク部分の幅方向における前記蒸着マスク部分の輪郭を画定する一対の短側面と、を備え、前記長側面は、前記第１面側に位置する第１端部と、前記第２面側に位置するとともに前記第１端部よりも内側に位置する第２端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第１部分を有し、前記第１端部は、前記第１面と前記長側面とが接続される第１接続部であって、前記第１面と同一平面上に位置する第１接続部に一致している、中間製品である。
（【００１１】以降は省略されています）

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