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公開番号2025104693
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-10
出願番号2023222678
出願日2023-12-28
発明の名称トップリング、研磨装置及びシール部材
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人
主分類B24B 37/30 20120101AFI20250703BHJP(研削;研磨)
要約【課題】
本開示は、両面テープ及び粘着剤を使用することなく、シール部材が固定可能なトップリングを提供する
【解決手段】
本開示に係るトップリングは、トップリングであって、基板を吸着するための多孔質部材を含み、且つ、上溝が形成されている上面、下溝が形成されている下面、及び、前記上面と前記下面との間に延びる側周面、を有する吸引部材組立体と、前記吸引部材組立体を囲む環形状のシール部材と、を備え、前記シール部材は、上下方向において上端部から下端部まで延び、前記吸引部材組立体の前記側周面と接触している側壁と、前記側壁の前記上端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記上溝に嵌っている、第1勘合部と、前記側壁の前記下端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記下溝に嵌っていて、前記第1勘合部と共に吸引部材組立体を挟持している第2勘合部と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
トップリングであって、
基板を吸着するための多孔質部材を含み、且つ、上溝が形成されている上面、下溝が形成されている下面、及び、前記上面と前記下面との間に延びる側周面、を有する吸引部材組立体と、
前記吸引部材組立体を囲む環形状のシール部材と、
を備え、
前記シール部材は、
上下方向において上端部から下端部まで延び、前記吸引部材組立体の前記側周面と接触している側壁と、
前記側壁の前記上端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記上溝に嵌っている、第１勘合部と、
前記側壁の前記下端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記下溝に嵌っていて、前記第１勘合部と共に吸引部材組立体を挟持している第２勘合部と、
を有する、
トップリング。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
請求項１に記載のトップリングであって、
前記吸引部材組立体の上部に位置し、前記吸引部材組立体の前記上面と接触している第１遮蔽部材と、
前記シール部材を囲み、前記側壁と接触している第２遮蔽部材と、
前記第２遮蔽部材を前記第１遮蔽部材に固定するための締結部材と、
を備えるトップリング。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のトップリングであって、
前記シール部材は上下対称に構成されている、
トップリング。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のトップリングであって、
前記シール部材は、前記基板と接触可能に構成されたリップ部を有し、
前記リップ部は、前記側壁の前記下端部から、下方向で且つ前記シール部材の外側の方向に向かって延びる、
トップリング。
【請求項５】
請求項１又は２に記載のトップリングであって、
前記シール部材は、前記基板と接触可能に構成されたリップ部を有し、
前記リップ部は、前記側壁の前記下端部から、下方向で且つ前記シール部材の内側の方向に向かって延びる、
トップリング。
【請求項６】
請求項１又は２に記載のトップリングであって、
前記第１勘合部は、
前記側壁の前記上端部から、前記シール部材の内側に向かって、内側端部まで延びる第１上壁と、
前記第１上壁の前記内側端部から、下方向に向かって、下端部まで延びる第２上壁と、
を有し、
前記第２勘合部は、
前記側壁の前記下端部から、前記シール部材の内側に向かって、内側端部まで延びる第１下壁と、
前記側壁の前記下端部と前記第１下壁の前記内側端部との間の位置から上方向に向かって延びる第２下壁と、
を有する、
トップリング。
【請求項７】
請求項１又は２に記載のトップリングであって、
前記第１勘合部は、
前記側壁の前記上端部から、前記シール部材の内側に向かって、内側端部まで延びる第１上壁と、
前記第１上壁の前記内側端部から、下方向に向かって、下端部まで延びる第２上壁と、
前記第２上壁の前記下端部から、前記側壁に向かって延びる第３上壁と、
を有し、
前記第２勘合部は、
前記側壁の前記下端部から、前記シール部材の内側に向かって、内側端部まで延びる第１下壁と、
前記第１上壁の前記内側端部から、上方向に向かって、上端部まで延びる第２下壁と、
前記第２上壁の前記上端部から、前記側壁に向かって延びる第３下壁と、
を有する、
トップリング。
【請求項８】
請求項７に記載のトップリングであって、
前記シール部材は、前記基板と接触可能に構成されたリップ部を有し、
前記リップ部は、前記第２勘合部の前記第１下壁の前記内側端部から、下方向で且つ前記シール部材の外側に向かう方向に向かって延びる、
トップリング。
【請求項９】
請求項７に記載のトップリングであって、
前記第２勘合部の前記第１下壁が接触する前記吸引部材組立体の面と、前記第２勘合部の前記第２下壁が接触する前記吸引部材組立体の面と、の間に面取り部が形成されている、
トップリング。
【請求項１０】
請求項８に記載のトップリングであって、
前記上下方向における、前記第２勘合部の前記第１下壁が接触する前記吸引部材組立体の面と、前記下面との間の長さは、前記第１下壁の厚みと前記リップ部の厚みとの和よりも長い、
トップリング。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、トップリング、研磨装置及びシール部材に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
基板を研磨するために研磨装置が使用されている。このような研磨装置は、基板を保持するためのトップリングを備えている。そして、トップリングの一例が、特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されているトップリング３０２は、その図３Ａに示されるように、基板を吸着するための多孔質部材３３４と、第２遮蔽部材３３２－２と、シール部材３３６とを備える。そして、第２の遮蔽部材３３２－２は、多孔質部材３３４の周囲に位置し、多孔質部材３３４の側面３３４ｄの一部を遮蔽している。弾性シール部材３３６は、両面テープによって第２の遮蔽部材３３２－２の下面に取付けられている。トップリング３０２はこのような構成を有するため、多孔質部材３３４が基板ＷＦを吸着するときに、弾性シール部材３３６は、基板ＷＦと遮蔽部材３３２－２の間でエアリークが生じることを防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－５７０４７号公報
特開２０２２－５９５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように、特許文献１のトップリング３０２では、弾性シール部材３３６は、両面テープによって第２の遮蔽部材３３２－２に取付けられている。このため、基板ＷＦの研磨時に、両面テープに水が付着し得る。その結果、両面テープの接着力が低下し、弾性シール部材３３６が、第２の遮蔽部材３３２－２から剥がれる虞がある。
【０００５】
さらに、弾性シール部材３３６の交換後に先に使用されていた両面テープが残っている場合、弾性シール部材３３６が、第２の遮蔽部材３３２－２から剥がれやすくなる虞がある。
【０００６】
また、両面テープの代わりに粘着剤が使用された場合にも同様の問題は生じ得る。
【０００７】
そこで、本開示は、両面テープ及び粘着剤を使用することなく、シール部材が固定可能なトップリング、研磨装置及びシール部材を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示に係るトップリングは、トップリングであって、基板を吸着するための多孔質部材を含み、且つ、上溝が形成されている上面、下溝が形成されている下面、及び、前記上面と前記下面との間に延びる側周面、を有する吸引部材組立体と、前記吸引部材組立体を囲む環形状のシール部材と、を備え、前記シール部材は、上下方向において上端部から下端部まで延び、前記吸引部材組立体の前記側周面と接触している側壁と、前記側壁の前記上端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記上溝に嵌っている、第１勘合部と、前記側壁の前記下端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記下溝に嵌っていて、前記第１勘合部と共に吸引部材組立体を挟持している第２勘合部と、を有する、
【０００９】
本開示に係る研磨装置は、上記のトップリングと、研磨パッドを保持可能に構成されている研磨テーブルと、を備える。
【００１０】
本開示に係るシール部材は、トップリングの吸引部材組立体に装着するためのシール部材であって、前記吸引部材組立体は、基板を吸着するための多孔質部材を含み、上溝が形成されている上面、下溝が形成されている下面、及び、前記上面と前記下面との間に延びる側周面、を有し、前記シール部材は、前記吸引部材組立体を囲むように構成されて環形状であり、上下方向において上端部から下端部まで延び、前記吸引部材組立体の前記側周面と接触するように構成されている側壁と、前記側壁の前記上端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記上溝に嵌るように構成されている、第１勘合部と、前記側壁の前記下端部から前記シール部材の内側に向かって延び、前記吸引部材組立体の前記下溝に嵌るように構成されていて、前記第１勘合部と共に吸引部材組立体を挟持するように構成されている第２勘合部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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