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公開番号2025097114
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-30
出願番号2023213214
出願日2023-12-18
発明の名称流体ばね
出願人特許機器株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類F16F 9/04 20060101AFI20250623BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】流体ばねの応答性の向上を可能とする構成を備える流体ばねを提供する。
【解決手段】この制振用流体ばね30は、開口32pを有するベース部33と、ベース部33の開口32pを覆い、縁部まで平板状に設けられたダイヤフラム34と、開口32pとは反対側のダイヤフラム34に接続する押圧部31と、ベース部33とダイヤフラム34とにより規定される流体室32と、ベース部33に設けられ、流体室32の流体を給排するバルブ40と、を備え、バルブ40から流体が流体室32へ流入することにより、ダイヤフラム34が押圧部31側に膨張変形して、押圧部31を開口32pから遠ざかる方向へ移動させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
開口を有する流体室構成部と、
前記流体室構成部の前記開口を覆い、縁部まで平板状に設けられた弾性膜状部と、
前記開口とは反対側の前記弾性膜状部に接続する押圧部と、
前記流体室構成部と前記弾性膜状部とにより規定される流体室と、
前記流体室構成部に設けられ、前記流体室の流体を給排する流体給排部と、
を備え、
前記流体給排部から前記流体が前記流体室へ流入することにより、前記弾性膜状部が前記押圧部の側に膨張変形して、前記押圧部を前記開口から遠ざかる方向へ移動させる、
流体ばね。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
前記流体室構成部は、
壁面部と、
前記壁面部の周囲を取り囲むように設けられる立壁部と、
を有し、
前記壁面部とは反対側の前記立壁部により取り囲まれた領域において、前記開口が規定され、
前記弾性膜状部の前記縁部が、前記立壁部の端部に固定されている、
請求項１に記載の流体ばね。
【請求項３】
前記壁面部は、前記流体を前記流体室へ流入させるためのするばね連通路を含む、
請求項２に記載の流体ばね。
【請求項４】
前記流体室構成部は、
前記流体室の容積を小さくするため、前記壁面部に接するように配置されるスペーサをさらに含み、
前記スペーサには、前記ばね連通路と前記流体室とを連通するための、連通孔が設けられている、
請求項３に記載の流体ばね。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本技術は、たとえば半導体製造装置に用いられる除振装置等において、振動抑制などに用いられる、流体ばねに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
流体ばねを用いた除振装置においては、可動ステージの加速および減速に伴う定盤の揺れをより速く止める性能の向上が求められている。例えば、作業効率向上のために、可動ステージなどの可動部材の移動速度が早くなると、停止したときの衝撃が大きくなる。その衝撃による振動を速く止めるには制振性能を向上させる必要があり、流体バネにより制振を行っている場合には、流体ばねの応答速度を速くする必要がある。
【０００３】
特開２０１４－１７７９６３号公報（特許文献１）に記載の流体ばねの構成によれば、空気室が形成されるように、ピストン部材と枠体との間に流体ばねを構成するダイヤフラムが設けられている。さらに、ピストン部材がその軸方向に移動できるように、ダイヤフラムの周囲には、折り返し部分が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－１７７９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
流体ばねの応答性を向上させるためには、流体ばねの作動時間を短くする方法が挙げられる。流体ばねの作動時間を短くする方法としては、より少ない空気の流入量でダイヤフラムが作動するように、流体ばねの空気室の容積を小さくすることが考えられる。
【０００６】
ここで、特許文献１に開示される折り返し部分が設けられているダイヤフラムを用いた構造では、流体ばねの流体室の容積が所定の小容積となるように空気室を構成する枠体とピストン部材との隙間を狭くして、ダイヤフラムの折り返し部分に充填される空気を削減しようとすると、ピストン部材の位置がずれた場合には枠体との間にダイヤフラムの噛み込みを生じてしまう。そのため、ピストンの位置の調整が難しく、流体ばねの流体室の小型化が困難となる。
【０００７】
本技術の目的は、上記課題を解決するためになされたものであり、ダイヤフラムの折り返し部分の噛み込みを生じることのない流体ばねのを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［１］本技術に係る流体ばねは、開口を有する流体室構成部と、上記流体室構成部の上記開口を覆い、縁部まで平板状に設けられた弾性膜状部と、上記開口とは反対側の上記弾性膜状部に接続する押圧部と、上記流体室構成部と上記弾性膜状部とにより規定される流体室と、上記流体室構成部に設けられ、上記流体室の流体を給排する流体給排部と、を備え、上記流体給排部から上記流体が上記流体室へ流入することにより、上記弾性膜状部が上記押圧部側に膨張変形して、上記押圧部を上記開口から遠ざかる方向へ移動させる。
【０００９】
［２］上記流体室構成部は、壁面部と、上記壁面部の周囲を取り囲むように設けられる立壁部と、を有し、上記壁面部とは反対側の上記立壁部により取り囲まれた領域において、上記開口が規定され、上記弾性膜状部の上記縁部が、上記立壁部の端部に固定されている、［１］に記載の流体ばね。
【００１０】
［３］上記壁面部は、上記流体を上記流体室へ流入させるためのするばね連通路を含む、［２］に記載の流体ばね。
（【００１１】以降は省略されています）

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