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公開番号2025090741
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-17
出願番号2025038969,2021027973
出願日2025-03-12,2021-02-24
発明の名称テープ接合装置及び方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類B65H 19/16 20060101AFI20250610BHJP(運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い)
要約【課題】副資材を用いることなく、2つのダイシングテープの端部同士を簡便に接合可能なテープ接合装置及び方法を提供する。
【解決手段】ダイシングテープの端部同士を接合する接合部は、後行のダイシングテープのテープ本体Bに刺し込み可能な複数の針状部材45aが外周面に立設された上流側剥離ローラ45の回転により後行のダイシングテープのテープ本体をセパレータSから剥離する、先行のダイシングテープのテープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材46aが外周面に立設された下流側剥離ローラ46の回転により先行のダイシングテープのテープ本体をセパレータから剥離する。先行のダイシングテープDT2のセパレータと後行のダイシングテープDT1のセパレータの端部同士を接合し、先行のダイシングテープDT2のテープ本体と後行のダイシングテープDT1のテープ本体の端部同士を接合する接合ユニットと、を備えている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合装置であって、
第１のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第１の剥離手段と、
第２のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第２の剥離手段と、
前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する接合手段と、
を備え、
前記第１の剥離手段及び第２の剥離手段は、前記テープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材が外周面に立設され、回転により前記テープ本体を前記セパレータから剥離させるローラであることを特徴とするテープ接合装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
前記針状部材は、前記ローラの径方向に対して傾斜して設けられていることを特徴とする請求項１に記載のテープ接合装置。
【請求項３】
第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合方法であって、
第１のダイシングテープのテープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材が外周面に立設された第１の剥離ローラを回転させて、前記第１のダイシングテープの端部において前記テープ本体をセパレータから剥離する工程と、
第２のダイシングテープのテープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材が外周面に立設された第２の剥離ローラを回転させて、前記第２のダイシングテープの端部において前記テープ本体をセパレータから剥離する工程と、
前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する工程と、
を含むことを特徴とするテープ接合方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合装置及び方法に関するものである。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。
【０００３】
特許文献１には、一方のシャフト１１に装着されたロールテープ２Ａを使い切っても、他方のシャフト１１に装着されたロールテープ２Ｂを使用可能なテープ貼着装置が記載されている。また、特許文献２には、粘着テープＴとセパレータＳとを接合テープＣＴを介して接合させる粘着テープ接合装置が記載されている。なお、符号は、各特許文献のものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－８１０４号公報
特開２０１４－１３３６１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の装置では、テープ交換時に、各種ローラに巻回して所定軌道を通るようにセットされた使用済みのロールテープを取り除いた上で、新品のロールテープを所定軌道を通るように再びセットしなければならなかった。
【０００６】
また、特許文献２記載の装置では、先行の粘着テープと後行の粘着テープとの接合に副資材である接合テープを用意しなければいけなかった。
【０００７】
そこで、副資材を用いることなく、２つのダイシングテープの端部同士を簡便に接合させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るテープ接合装置は、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合装置であって、第１のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第１の剥離手段と、第２のダイシングテープの端部においてテープ本体をセパレータから剥離する第２の剥離手段と、前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する接合手段と、を備え、前記第１の剥離手段及び第２の剥離手段は、前記テープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材が外周面に立設され、回転により前記テープ本体を前記セパレータから剥離させるローラである。
【０００９】
この構成によれば、副資材を用いることなく、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合することができる。さらに、先行する第１、第２のダイシングテープの何れか一方の端部に後続する第１、第２のダイシングテープの他方の端部を接合させることにより、後行のダイシングテープを各種ローラに巻回させる煩雑なセッティング作業を省略して、第１、第２のダイシングテープの端部同士を簡便に接合することができる。
【００１０】
また、上記目的を達成するために、本発明に係るテープ接合方法は、第１、第２のダイシングテープの端部同士を接合するテープ接合方法であって、第１のダイシングテープのテープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材が外周面に立設された第１の剥離ローラを回転させて、前記第１のダイシングテープの端部において前記テープ本体をセパレータから剥離する工程と、第２のダイシングテープのテープ本体に刺し込み可能な複数の針状部材が外周面に立設された第２の剥離ローラを回転させて、前記第２のダイシングテープの端部において前記テープ本体をセパレータから剥離する工程と、前記第１、第２のダイシングテープのセパレータ同士を接合し、前記第１、第２のダイシングテープのテープ本体同士を接合する工程と、を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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