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公開番号2025092701
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2025061116,2021090794
出願日2025-04-02,2021-05-31
発明の名称プローバ及び位置合わせ方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20250612BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送アームとウエハチャックとの相対的な位置合わせを精度よく行うことができるプローバ及び位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】ウエハWを搬送する搬送アーム24と、ウエハWを保持するウエハチャック34と、ウエハチャック34と一体に移動可能な針合わせカメラ48と、針合わせカメラ48によって撮影された搬送アーム24の画像データに基づいて、ウエハチャック34と搬送アーム24との相対的な位置関係を算出する算出部54と、位置関係に基づいて、ウエハチャック34及び搬送アーム24の少なくとも一方の位置を補正する制御部58と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハを搬送する搬送アームと、
前記ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと一体に移動可能なカメラと、
前記カメラによって撮影された前記搬送アームの画像データに基づいて、前記ウエハチャックと前記搬送アームとの相対的な位置関係を算出する算出部と、
前記位置関係に基づいて、前記ウエハチャック及び前記搬送アームの少なくとも一方の位置を補正する制御部と、
を備える、プローバ。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
複数のプローブを有するプローブカードを備え、
前記カメラは、前記プローブの先端位置を検出するためのカメラである、
請求項１に記載のプローバ。
【請求項３】
ウエハチャックと一体に移動可能なカメラによって搬送アームを撮影するステップと、
前記カメラによって撮影された前記搬送アームの画像データに基づいて、前記ウエハチャックと前記搬送アームとの相対的な位置関係を算出するステップと、
前記位置関係に基づいて、前記ウエハチャック及び前記搬送アームの少なくとも一方の位置を補正するステップと、
を含む、位置合わせ方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ上に形成された複数の半導体装置（チップ）の電気的特性の検査を行うプローバに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程は、多数の工程を有し、品質保証及び歩留まりの向上のために、各種の製造工程で各種の検査が行われる。例えば、半導体ウエハ上に半導体装置の複数のチップが形成された段階で、各チップの半導体装置の電極パッドをテストヘッドに接続し、テストヘッドから電源及びテスト信号を供給し、半導体装置の出力する信号をテストヘッドで測定して、正常に動作するかを電気的に検査するウエハレベル検査が行われている。
【０００３】
ウエハレベル検査の後、ウエハはフレームに貼り付けられ、ダイサで個別のチップに切断される。切断された各チップは、正常に動作することが確認されたチップのみが次の組み立て工程でパッケージ化され、動作不良のチップは組み立て工程から除かれる。更に、パッケージ化された最終製品は、出荷検査が行われる。
【０００４】
ウエハレベル検査は、ウエハチャックに保持されたウエハ上の各チップの電極パッドにプローブを接触させるプローバを使用して行われる。プローブはテストヘッドの端子に電気的に接続され、テストヘッドからプローブを介して各チップに電源及びテスト信号が供給されると共に各チップからの出力信号をテストヘッドで検出して正常に動作するかを測定する。
【０００５】
ところで、プローバでウエハを検査する場合、検査するウエハをウエハチャックに供給（ロード）し、検査済みのウエハをウエハチャックから回収（アンロード）する必要がある。ウエハの供給および回収はローダ部で行われる。なお、本明細書では、プローバとローダ部とを含めた全体を「プローバ」と称することにする。
【０００６】
一般に、プローバにおけるローダ部は、ウエハカセットが載置されるロードポートと、ウエハチャックとウエハカセットとの間でウエハを搬送するウエハ搬送ユニットとを備えている。ウエハ搬送ユニットは、搬送アームを有しており、搬送アームの先端をウエハカセット内に挿入してウエハを取り出し、ウエハチャックに搬送する。
【０００７】
近年では、複数の測定部を備えたマルチステージ式のプローバが登場してきている。マルチステージ式のプローバでは、各測定部（ステージ）にそれぞれウエハチャックが配置されており、各測定部においてウエハチャックに保持されたウエハの検査を同時に行うことができる。このようにステージ同士が隣り合って連結しているプローバでの搬送アームとウエハチャックの受け渡し調整は、スペースが少なく作業の負担となっている。
【０００８】
このような課題に対し、特許文献１には、ウエハチャックにロードしたウエハをアライメントカメラで外形測定し、ウエハチャックの中心位置とウエハの中心位置の差とを求めることで受け渡し位置を調整するプローバが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開２０１９－１６１１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載されたプローバは、ウエハチャックからウエハがはみ出さない程度に事前に受け渡し位置が調整されていることが前提となっている。このため、装置の組立直後は作業者の目視による受け渡し位置の調整が必要であるという問題がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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